JPH1197975A - 表面弾性波フイルタ - Google Patents
表面弾性波フイルタInfo
- Publication number
- JPH1197975A JPH1197975A JP27354297A JP27354297A JPH1197975A JP H1197975 A JPH1197975 A JP H1197975A JP 27354297 A JP27354297 A JP 27354297A JP 27354297 A JP27354297 A JP 27354297A JP H1197975 A JPH1197975 A JP H1197975A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode
- wave filter
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】チップ端面からの反射を有効に防止した周波数
特性のよい表面弾性波フイルタを提供する。 【解決手段】表面弾性波を伝播する圧電基板１の表面に
１対の入力インターデジタル電極２、１対の出力インタ
ーデジタル電極３およびそれらの電極間に配置されたア
ース電極４を設けた表面弾性波フイルタにおいて、１対
の入力インターデジタル電極２および１対の出力インタ
ーデジタル電極３の夫々の一方の電極２ａ、３ａから他
方の電極２ｂ、３ｂの側の方向に向けて周辺部を通るよ
うに延びる導体積層板８、８ａを設けた。
特性のよい表面弾性波フイルタを提供する。 【解決手段】表面弾性波を伝播する圧電基板１の表面に
１対の入力インターデジタル電極２、１対の出力インタ
ーデジタル電極３およびそれらの電極間に配置されたア
ース電極４を設けた表面弾性波フイルタにおいて、１対
の入力インターデジタル電極２および１対の出力インタ
ーデジタル電極３の夫々の一方の電極２ａ、３ａから他
方の電極２ｂ、３ｂの側の方向に向けて周辺部を通るよ
うに延びる導体積層板８、８ａを設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は表面弾性波を利用
した表面弾性波フイルタに係わり、特に、チップ端面か
らの反射波の影響を防止する手段に関する。
した表面弾性波フイルタに係わり、特に、チップ端面か
らの反射波の影響を防止する手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電素子の表面弾性波を利用して所定の
周波数特性を得る表面弾性波フイルタが知られている。
このような従来の表面弾性波フイルタの例を図２に示
す。図に示す圧電基板１は圧電効果を有するいわゆる圧
電素子で作られた基板であり、入力インターデジタル
（対向櫛歯形状）電極２および出力インターデジタル電
極３が積層されている。
周波数特性を得る表面弾性波フイルタが知られている。
このような従来の表面弾性波フイルタの例を図２に示
す。図に示す圧電基板１は圧電効果を有するいわゆる圧
電素子で作られた基板であり、入力インターデジタル
（対向櫛歯形状）電極２および出力インターデジタル電
極３が積層されている。
【０００３】入力インターデジタル電極２はブスバー２
ａから直角に延びる櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…とブスバー
２ｂから直角に延びる櫛歯形状部２ｄ、２ｄ…が一対と
なって対向している。櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…と櫛歯形
状部２ｄ、２ｄ…との交差幅は図に楕円形状のエンブロ
ープで示すように適当に重み付けが施されいわゆるアポ
ダイズ型インターデジタル電極となっている。
ａから直角に延びる櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…とブスバー
２ｂから直角に延びる櫛歯形状部２ｄ、２ｄ…が一対と
なって対向している。櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…と櫛歯形
状部２ｄ、２ｄ…との交差幅は図に楕円形状のエンブロ
ープで示すように適当に重み付けが施されいわゆるアポ
ダイズ型インターデジタル電極となっている。
【０００４】入力インターデジタル電極２と表面弾性波
の通過帯域を介して配置された出力インターデジタル電
極３はブスバー３ａから直角に延びる櫛歯形状部３ｃ、
３ｃ…とブスバー３ｂから直角に延びる櫛歯形状部３
ｄ、３ｄ…が一対となって対向している。櫛歯形状部３
ｃ、３ｃ…と櫛歯形状部３ｄ、３ｄ…との交差幅は一定
であり正規型インターデジタル電極となっている。
の通過帯域を介して配置された出力インターデジタル電
極３はブスバー３ａから直角に延びる櫛歯形状部３ｃ、
３ｃ…とブスバー３ｂから直角に延びる櫛歯形状部３
ｄ、３ｄ…が一対となって対向している。櫛歯形状部３
ｃ、３ｃ…と櫛歯形状部３ｄ、３ｄ…との交差幅は一定
であり正規型インターデジタル電極となっている。
【０００５】入力インターデジタル電極２と出力インタ
ーデジタル電極３の間に直接電磁結合を防ぐ目的でアー
ス電極４が配置されている。さらに、入力インターデジ
タル電極２と出力インターデジタル電極３の外側には弾
性波の反射防止を目的とするダンパー剤５、５が塗布さ
れている。
ーデジタル電極３の間に直接電磁結合を防ぐ目的でアー
ス電極４が配置されている。さらに、入力インターデジ
タル電極２と出力インターデジタル電極３の外側には弾
性波の反射防止を目的とするダンパー剤５、５が塗布さ
れている。
【０００６】圧電基板１が取付けられたパッケージ７の
ボンディングパット７ａ、７ａ…と上記各電極はワイヤ
ー線６、６…を導電性接着剤で接着することにより接続
されている。ボンディングパット７ａ、７ａ…はパッケ
ージ７の両側に設けられている。
ボンディングパット７ａ、７ａ…と上記各電極はワイヤ
ー線６、６…を導電性接着剤で接着することにより接続
されている。ボンディングパット７ａ、７ａ…はパッケ
ージ７の両側に設けられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の表面弾
性波フイルタでは、表面弾性波の端面反射の防止のため
にチップ端面をインターデジタル電極の櫛歯形状部に対
して非平行とし、また、チップ端面部分にシリコンゴム
等のダンパー剤５が塗布されているが、これらの方法で
は、反射を十分に防止できず、そのために特に中心周波
数の高域側の阻止域に悪影響を及ぼしていた。
性波フイルタでは、表面弾性波の端面反射の防止のため
にチップ端面をインターデジタル電極の櫛歯形状部に対
して非平行とし、また、チップ端面部分にシリコンゴム
等のダンパー剤５が塗布されているが、これらの方法で
は、反射を十分に防止できず、そのために特に中心周波
数の高域側の阻止域に悪影響を及ぼしていた。
【０００８】この発明は上記した点に鑑みてなされたも
のであって、その目的とするところは、チップ端面から
の反射を有効に防止した表面弾性波フイルタを提供する
ことにある。
のであって、その目的とするところは、チップ端面から
の反射を有効に防止した表面弾性波フイルタを提供する
ことにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の表面弾性波フ
イルタは、表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に１対
の入力インターデジタル電極、１対の出力インターデジ
タル電極およびそれらの電極間に配置されたアース電極
を設けた表面弾性波フイルタにおいて、前記１対の入力
インターデジタル電極および前記１対の出力インターデ
ジタル電極の夫々の一方の電極から他方の電極の側の方
向に向けて前記アース電極とは反対側の周辺部を通るよ
うに延びる導体積層板を設けたものである。
イルタは、表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に１対
の入力インターデジタル電極、１対の出力インターデジ
タル電極およびそれらの電極間に配置されたアース電極
を設けた表面弾性波フイルタにおいて、前記１対の入力
インターデジタル電極および前記１対の出力インターデ
ジタル電極の夫々の一方の電極から他方の電極の側の方
向に向けて前記アース電極とは反対側の周辺部を通るよ
うに延びる導体積層板を設けたものである。
【００１０】また、前記表面弾性波フイルタにおいて、
前記各導体積層板を前記各インターデジタル電極の櫛歯
形状部に対して斜めに延びるように配置したものであ
る。
前記各導体積層板を前記各インターデジタル電極の櫛歯
形状部に対して斜めに延びるように配置したものであ
る。
【００１１】さらに、前記表面弾性波フイルタにおい
て、前記導体積層板の一方がアース線に接続されるもの
である。
て、前記導体積層板の一方がアース線に接続されるもの
である。
【００１２】
【発明の実施の形態】この発明の実施例である表面弾性
波フイルタを図１に基づいて説明する。図に示す圧電基
板１は圧電効果を有するいわゆる圧電素子で作られた基
板であり、入力インターデジタル（対向櫛歯形状）電極
２および出力インターデジタル電極３が積層されてい
る。
波フイルタを図１に基づいて説明する。図に示す圧電基
板１は圧電効果を有するいわゆる圧電素子で作られた基
板であり、入力インターデジタル（対向櫛歯形状）電極
２および出力インターデジタル電極３が積層されてい
る。
【００１３】入力インターデジタル電極２はブスバー２
ａから直角に延びる櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…とブスバー
２ｂから直角に延びる櫛歯形状部２ｄ、２ｄ…が一対と
なって対向している。櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…と櫛歯形
状部２ｄ、２ｄ…との交差幅は図に楕円形状のエンブロ
ープで示すように適当に重み付けが施されいわゆるアポ
ダイズ型インターデジタル電極となっている。
ａから直角に延びる櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…とブスバー
２ｂから直角に延びる櫛歯形状部２ｄ、２ｄ…が一対と
なって対向している。櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…と櫛歯形
状部２ｄ、２ｄ…との交差幅は図に楕円形状のエンブロ
ープで示すように適当に重み付けが施されいわゆるアポ
ダイズ型インターデジタル電極となっている。
【００１４】入力インターデジタル電極２と表面弾性波
の通過帯域を介して配置された出力インターデジタル電
極３はブスバー３ａから直角に延びる櫛歯形状部３ｃ、
３ｃ…とブスバー３ｂから直角に延びる櫛歯形状部３
ｄ、３ｄ…が一対となって対向している。櫛歯形状部３
ｃ、３ｃ…と櫛歯形状部３ｄ、３ｄ…との交差幅は一定
であり正規型インターデジタル電極となっている。
の通過帯域を介して配置された出力インターデジタル電
極３はブスバー３ａから直角に延びる櫛歯形状部３ｃ、
３ｃ…とブスバー３ｂから直角に延びる櫛歯形状部３
ｄ、３ｄ…が一対となって対向している。櫛歯形状部３
ｃ、３ｃ…と櫛歯形状部３ｄ、３ｄ…との交差幅は一定
であり正規型インターデジタル電極となっている。
【００１５】入力インターデジタル電極２と出力インタ
ーデジタル電極３の間に直接電磁結合を防ぐ目的でアー
ス電極４が配置されている。このアース電極４は入力イ
ンターデジタル電極２と出力インターデジタル電極３と
の間の多重反射を避けるために櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…
および櫛歯形状部２ｄ、２ｄ…に対して非平行としてい
る。
ーデジタル電極３の間に直接電磁結合を防ぐ目的でアー
ス電極４が配置されている。このアース電極４は入力イ
ンターデジタル電極２と出力インターデジタル電極３と
の間の多重反射を避けるために櫛歯形状部２ｃ、２ｃ…
および櫛歯形状部２ｄ、２ｄ…に対して非平行としてい
る。
【００１６】入力インターデジタル電極２の一方のブス
バー２ａから他方のブスバー２ｂの側に向けて周辺部を
通るように延びる導体積層板８が斜めに設けられてい
る。また出力インターデジタル電極３の一方のブスバー
３ａから他方のブスバー３ｂの側に向けて周辺部を通る
ように延びる導体積層板８ａが斜めに設けられている。
バー２ａから他方のブスバー２ｂの側に向けて周辺部を
通るように延びる導体積層板８が斜めに設けられてい
る。また出力インターデジタル電極３の一方のブスバー
３ａから他方のブスバー３ｂの側に向けて周辺部を通る
ように延びる導体積層板８ａが斜めに設けられている。
【００１７】圧電基板１が取付けられたパッケージ７の
一方の側に設けられたボンディングパット７ａ、７ａ…
と各電極およびは導体積層板８、８ａはワイヤー線６、
６…を導電性接着剤で接着することにより接続されてい
る。導体積層板８と接続されたワイヤー線６はアース線
に接続される。
一方の側に設けられたボンディングパット７ａ、７ａ…
と各電極およびは導体積層板８、８ａはワイヤー線６、
６…を導電性接着剤で接着することにより接続されてい
る。導体積層板８と接続されたワイヤー線６はアース線
に接続される。
【００１８】さらに、反射防止を目的とするダンパー剤
５、５は入力インターデジタル電極２と出力インターデ
ジタル電極３の外側に導体積層板８、８ａを覆うように
塗布されている。また、チップ端面は斜めにカットして
いる。このような圧電基板１はパッケージ８に導電接着
剤等でダイボンドされている。
５、５は入力インターデジタル電極２と出力インターデ
ジタル電極３の外側に導体積層板８、８ａを覆うように
塗布されている。また、チップ端面は斜めにカットして
いる。このような圧電基板１はパッケージ８に導電接着
剤等でダイボンドされている。
【００１９】実施例は以上のように構成されているが発
明はこれに限られず、例えば、導体積層板８、８ａの反
射防止効果が十分である場合は、チップ端面を直角にカ
ットしてもよい。この場合はウェハー当たりのチップ取
り数が増えてチップの材料費を節約できる。
明はこれに限られず、例えば、導体積層板８、８ａの反
射防止効果が十分である場合は、チップ端面を直角にカ
ットしてもよい。この場合はウェハー当たりのチップ取
り数が増えてチップの材料費を節約できる。
【００２０】
【発明の効果】この発明の表面弾性波フイルタによれ
ば、圧電基板の不要波をなくし帯域内外の特性が改善さ
れる。特に、インターデジタル電極から発生した表面弾
性波のチップ端面からの反射防止に優れた効果を奏す
る。そして、導体積層板の一方をアースに接続すること
により反射防止に相乗効果をもたらす。
ば、圧電基板の不要波をなくし帯域内外の特性が改善さ
れる。特に、インターデジタル電極から発生した表面弾
性波のチップ端面からの反射防止に優れた効果を奏す
る。そして、導体積層板の一方をアースに接続すること
により反射防止に相乗効果をもたらす。
【図１】この発明の実施例である表面弾性波フイルタの
概略構成を示す平面図である。
概略構成を示す平面図である。
【図２】従来の表面弾性波フイルタの例を示す平面図で
ある。
ある。
１ 圧電基板 ２ 入力インターデジタル電極、２ａ、２ｂ ブスバ
ー、 ２ｃ、２ｄ 櫛歯形状部 ３ 出力インターデジタル電極、３ａ、３ｂ ブスバ
ー、３ｃ、３ｄ 櫛歯形状部 ４ アース電極 ５ ダンパー剤 ６ ワイヤー線 ７ パッケージ、７ａ ボンディングパット ８ 導体積層板
ー、 ２ｃ、２ｄ 櫛歯形状部 ３ 出力インターデジタル電極、３ａ、３ｂ ブスバ
ー、３ｃ、３ｄ 櫛歯形状部 ４ アース電極 ５ ダンパー剤 ６ ワイヤー線 ７ パッケージ、７ａ ボンディングパット ８ 導体積層板
Claims (3)
- 【請求項１】 表面弾性波を伝播する圧電基板の表面に
１対の入力インターデジタル電極、１対の出力インター
デジタル電極およびそれらの電極間に配置されたアース
電極を設けた表面弾性波フイルタにおいて、前記１対の
入力インターデジタル電極および前記１対の出力インタ
ーデジタル電極の夫々の一方の電極から他方の電極の側
の方向に向けて前記アース電極とは反対側の周辺部を通
るように延びる導体積層板を設けたことを特徴とする表
面弾性波フイルタ。 - 【請求項２】 前記各導体積層板を前記各インターデジ
タル電極の櫛歯形状部に対して斜めに延びるように配置
した請求項１の表面弾性波フイルタ。 - 【請求項３】 前記導体積層板の一方がアース線に接続
される請求項１または２の表面弾性波フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27354297A JPH1197975A (ja) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | 表面弾性波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27354297A JPH1197975A (ja) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | 表面弾性波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1197975A true JPH1197975A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17529288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27354297A Pending JPH1197975A (ja) | 1997-09-19 | 1997-09-19 | 表面弾性波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1197975A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451081B1 (ko) * | 2002-05-15 | 2004-10-02 | 엘지이노텍 주식회사 | 표면 탄성파 필터의 잡음 방지 구조 |
-
1997
- 1997-09-19 JP JP27354297A patent/JPH1197975A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451081B1 (ko) * | 2002-05-15 | 2004-10-02 | 엘지이노텍 주식회사 | 표면 탄성파 필터의 잡음 방지 구조 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2123638A (en) | Surface acoustic wave device | |
| JP3419465B2 (ja) | ツイン・ジュアルモード・フィルタ | |
| JPS5854681B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| US4599532A (en) | Surface acoustic wave device with anti-reflection electrode structure | |
| KR950035058A (ko) | 표면파(saw)장치 | |
| US4604594A (en) | Surface wave filter having photoresist damping material thereon and method for manufacturing the same | |
| WO2023054697A1 (ja) | 弾性波装置および弾性波装置の製造方法 | |
| US6566980B2 (en) | Die layout for SAW devices and associated methods | |
| JPH0652853B2 (ja) | 反射器型高周波狭帯域多重モ−ド・フイルタの電極構造 | |
| JPS61245613A (ja) | 電気的表面弾性波フイルタ | |
| JPH11251867A (ja) | 表面弾性波フイルタおよびその製造方法 | |
| US6670739B2 (en) | Surface acoustic wave apparatus | |
| JPS5931246B2 (ja) | ヒヨウメンハソシ | |
| JPH10215143A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS60185419A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0452006B2 (ja) | ||
| JPH055695Y2 (ja) | ||
| JPS60256214A (ja) | 弾性波装置 | |
| JP2504769Y2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH054340Y2 (ja) | ||
| KR960006459B1 (ko) | 표면 탄성파 필터 | |
| JPS59139714A (ja) | 表面波素子 | |
| JPH026669Y2 (ja) | ||
| JPH07231240A (ja) | 弾性表面波フィルタ装置 | |
| JPH10163801A (ja) | 弾性表面波素子およびその製造方法 |