JPS58100703A - 光学式スケ−ル読取装置 - Google Patents
光学式スケ−ル読取装置Info
- Publication number
- JPS58100703A JPS58100703A JP56200596A JP20059681A JPS58100703A JP S58100703 A JPS58100703 A JP S58100703A JP 56200596 A JP56200596 A JP 56200596A JP 20059681 A JP20059681 A JP 20059681A JP S58100703 A JPS58100703 A JP S58100703A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light receiving
- scale
- receiving means
- directions
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、１個の読取ヘッドを用いてＸ、Ｙ２方向の変
位を測定することができる光学式スケール読取装置に関
する０ 従来よシ、光の干渉を利用した光学式スケール読取装置
が知られている。この種の装置は、スケールとしてガラ
ス基板上に反射膜を格子状に蒸着したものを用いるのが
普通である。従来のこの種の装置は、１次元の変位を測
定するもので１）、Ｘ、Ｙ２方向の２次元の変位を測定
する場合は、各方向ごとに独立の光学式スケール読取装
置が用いられていた。
位を測定することができる光学式スケール読取装置に関
する０ 従来よシ、光の干渉を利用した光学式スケール読取装置
が知られている。この種の装置は、スケールとしてガラ
ス基板上に反射膜を格子状に蒸着したものを用いるのが
普通である。従来のこの種の装置は、１次元の変位を測
定するもので１）、Ｘ、Ｙ２方向の２次元の変位を測定
する場合は、各方向ごとに独立の光学式スケール読取装
置が用いられていた。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、Ｘ、
Ｙ２方向に回折するように構成した回折格子よシなるス
ケールを用いて、１個の読取ヘッドでＸ、Ｙ２方向の変
位を測定することができる簡単な構成の光学式スケール
読取装置を実現したものである。以下、図面を参照して
本発明の詳細な説明する。
Ｙ２方向に回折するように構成した回折格子よシなるス
ケールを用いて、１個の読取ヘッドでＸ、Ｙ２方向の変
位を測定することができる簡単な構成の光学式スケール
読取装置を実現したものである。以下、図面を参照して
本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す構成図である。同図
において、１は可干渉性光源である。該光源としては、
例えば半導体レーザが用いられる。
において、１は可干渉性光源である。該光源としては、
例えば半導体レーザが用いられる。
Ｌ工は、光源１の出力光を集光する第１のレンズである
・２は、該レンズの透過光を受ける偏光キューブプリズ
ムでちる。３は、該キューブプリズムの通過光を受ける
１７４波長板である。Ｌ２は、該波長板の透過光を受け
る第２のレンズでおる０４は、Ｘ、Ｙ２方向に格子状を
なす回折格子より構成さと二色ムシ―シ れるスケールである。このようなスケールは、電子ビー
ム露光等を用いて２次元に作製される。
・２は、該レンズの透過光を受ける偏光キューブプリズ
ムでちる。３は、該キューブプリズムの通過光を受ける
１７４波長板である。Ｌ２は、該波長板の透過光を受け
る第２のレンズでおる０４は、Ｘ、Ｙ２方向に格子状を
なす回折格子より構成さと二色ムシ―シ れるスケールである。このようなスケールは、電子ビー
ム露光等を用いて２次元に作製される。
ス、ケール４に入射した光は、反射する際ＫＸ。
Ｙ２方向の多モードの回折光を生じる。この反射回折光
は、再びレンズＬ２． １７４波長板５を経てキューブ
プリズム２に入り、該プリズムで反射される。反射した
光は、結像部人で結像する。１は、ｘ、ｙ両方向００次
、ｂはＹ方向の＋１次、ＣはＸ方向の＋１次、ｄはＹ方
向の一１次、・はＸ方向の一１次それぞれ回折光の結像
点である。５は、結像部Ａ部置かれた０次回新党除去フ
ィルタである。６は、結像部人の後方に生じたＸ、Ｙ２
方向の干渉縞である。
は、再びレンズＬ２． １７４波長板５を経てキューブ
プリズム２に入り、該プリズムで反射される。反射した
光は、結像部人で結像する。１は、ｘ、ｙ両方向００次
、ｂはＹ方向の＋１次、ＣはＸ方向の＋１次、ｄはＹ方
向の一１次、・はＸ方向の一１次それぞれ回折光の結像
点である。５は、結像部Ａ部置かれた０次回新党除去フ
ィルタである。６は、結像部人の後方に生じたＸ、Ｙ２
方向の干渉縞である。
７は、干渉縞６をｘ、ｙ両方向に分離し位相角の位置決
めを行うスリットである。８は、スリット７を通過した
干渉縞を受ける受光手段である。
めを行うスリットである。８は、スリット７を通過した
干渉縞を受ける受光手段である。
該受光手段は、８分割された受光素子で構成されている
。受光素子としては、例えばフォトダイオードが用いら
れる。これら受光素子のうち、Ｘ□乃至ｘ４はＸ方向の
変位検出用、Ｙ□乃至Ｙ４はＹ方向の変位検出用にそれ
ぞれ用いられる。そして、これら受光素子は、互いＫ
９０°ずつ位相のずれた信号を出力するように配されて
いる。Ｘ方向の場合を例にとって説明すると、受光素子
Ｘ□を基準にとって、ｘ２は９０°、ｘ３は１８０°、
ｘ４は２７ｏ６それぞれ位相の違う信号を出力する。こ
のことは、Ｙ方向の場合についても全く同様である。
。受光素子としては、例えばフォトダイオードが用いら
れる。これら受光素子のうち、Ｘ□乃至ｘ４はＸ方向の
変位検出用、Ｙ□乃至Ｙ４はＹ方向の変位検出用にそれ
ぞれ用いられる。そして、これら受光素子は、互いＫ
９０°ずつ位相のずれた信号を出力するように配されて
いる。Ｘ方向の場合を例にとって説明すると、受光素子
Ｘ□を基準にとって、ｘ２は９０°、ｘ３は１８０°、
ｘ４は２７ｏ６それぞれ位相の違う信号を出力する。こ
のことは、Ｙ方向の場合についても全く同様である。
Ｕ□は、受光素子ｘ１；ｘ、の出力を受ける差動増幅器
、Ｕ２はＸ２＠ Ｘ４の出力を受付る差動増幅器、Ｕ３
はＹｌ、 Ｙ３の出力を受ける差動増幅器、Ｕ４はＹ２
． Ｙ４の出力を受ける差動増幅器である。９は、差動
増幅器ｔｒ１． Ｕ２の出力を受け、Ｘ方向のスケール
移動量及び移動方向を示す信号を出力する第１の制御回
路、１０は、差動増幅器ＴＪｓ＊ Ｕ４の出力を受け、
Ｙ方向のスケール移動量及び移動方向を示す信号を出力
する第２Ｇ制御回路である。１１は、制御回路９の出力
を受けてスケールのＸ方向の移動距離及び移動方向を表
示する第１の表示器、１２は、制御回路１０の出力を受
けてスケールのＹ方向の移動距離及び移動方向を第２の
表示器である。このように構成された装置の動作を説明
すれば、以下のとおりである。
、Ｕ２はＸ２＠ Ｘ４の出力を受付る差動増幅器、Ｕ３
はＹｌ、 Ｙ３の出力を受ける差動増幅器、Ｕ４はＹ２
． Ｙ４の出力を受ける差動増幅器である。９は、差動
増幅器ｔｒ１． Ｕ２の出力を受け、Ｘ方向のスケール
移動量及び移動方向を示す信号を出力する第１の制御回
路、１０は、差動増幅器ＴＪｓ＊ Ｕ４の出力を受け、
Ｙ方向のスケール移動量及び移動方向を示す信号を出力
する第２Ｇ制御回路である。１１は、制御回路９の出力
を受けてスケールのＸ方向の移動距離及び移動方向を表
示する第１の表示器、１２は、制御回路１０の出力を受
けてスケールのＹ方向の移動距離及び移動方向を第２の
表示器である。このように構成された装置の動作を説明
すれば、以下のとおりである。
光源１から発射された光は、レンズＬ１で集光された後
キューブプリズム２に入射する。キューブプリズムに入
射した光のうち、該プリズムと偏光角が一致した成分の
みがプリズムを通過する。光源１として半導体レーザを
用いると大部分が直線偏光となっているため、殆んど全
ての光がプリズム２を通過することができる◇そして、
キューブプリズム２を通過した光は１７４波長板３に入
る。
キューブプリズム２に入射する。キューブプリズムに入
射した光のうち、該プリズムと偏光角が一致した成分の
みがプリズムを通過する。光源１として半導体レーザを
用いると大部分が直線偏光となっているため、殆んど全
ての光がプリズム２を通過することができる◇そして、
キューブプリズム２を通過した光は１７４波長板３に入
る。
１／４波長板５に入射した光は、該波長板で円偏光とな
る０１１４波長板３を通過した光は、レンズＬ２で集光
され、スケール４に照射される。スケール４に入射した
光は、反射する際Ｘ、Ｙ２方向に多モードの回折光を生
じさせる〇 回折した反射光は、再びレンズＬ２によって集光され、
１１４波長板５に入る。反射光は、１／４波長板５で入
射音−偏光と９０’偏光角の異なる直線偏光となる。従
って、キューブプリズム２に入射した光は今度は全て反
射しＡ部で結像する。Ａ部に生じた多モードの回折光の
うち、ａ点に生じたＸ。
る０１１４波長板３を通過した光は、レンズＬ２で集光
され、スケール４に照射される。スケール４に入射した
光は、反射する際Ｘ、Ｙ２方向に多モードの回折光を生
じさせる〇 回折した反射光は、再びレンズＬ２によって集光され、
１１４波長板５に入る。反射光は、１／４波長板５で入
射音−偏光と９０’偏光角の異なる直線偏光となる。従
って、キューブプリズム２に入射した光は今度は全て反
射しＡ部で結像する。Ａ部に生じた多モードの回折光の
うち、ａ点に生じたＸ。
７両方向の０次回新党はフィルタ５で除去される０従っ
て、結像部Ａの後方に生じた干渉縞６は、Ｘ。
て、結像部Ａの後方に生じた干渉縞６は、Ｘ。
Ｙ２方向について、±１次回折光同志が干渉した干渉縞
となり、図に示すような基盤の目のような干渉縞となる
。
となり、図に示すような基盤の目のような干渉縞となる
。
スリット７は、位相角の位置決めを行うと共に干渉縞を
Ｘ、Ｙ２方拘ごとにそれぞれ分離する。
Ｘ、Ｙ２方拘ごとにそれぞれ分離する。
分離された干渉縞は、ｘ、ｙ両方向ごとに４分割された
受光素子より構成される受光手段８に照射される＠６受
光素子ｘ１〜ｘ４、Ｙ１〜Ｙ４は、そｈぞれ光の明暗に
応じた電気信号を発生させる。
受光素子より構成される受光手段８に照射される＠６受
光素子ｘ１〜ｘ４、Ｙ１〜Ｙ４は、そｈぞれ光の明暗に
応じた電気信号を発生させる。
今、光源１から光が照射されている状態で、スケール４
を任意の方向に移動させたとする０このとき、受光素子
Ｘ工〜ｘ４、Ｙ工〜Ｙ４に入射する光は周期的な明暗を
生じる。各受光素子は、前述したようにそれぞれ９０’
ずつ位相がずれた位置に配されているので、これら受光
素子の出力はそれぞれ９０’ずつ位相のずれた正弦波と
なる。これら受光素子の出力は、それぞれ続く増幅器Ｕ
工〜Ｕ４に入力子る。
を任意の方向に移動させたとする０このとき、受光素子
Ｘ工〜ｘ４、Ｙ工〜Ｙ４に入射する光は周期的な明暗を
生じる。各受光素子は、前述したようにそれぞれ９０’
ずつ位相がずれた位置に配されているので、これら受光
素子の出力はそれぞれ９０’ずつ位相のずれた正弦波と
なる。これら受光素子の出力は、それぞれ続く増幅器Ｕ
工〜Ｕ４に入力子る。
ここで、各受光素子ｘ１〜Ｘ４、Ｙ工〜Ｙ４の出力をｐ
ｘ〜ｐ、ｐ−ｐ とする。
ｘ〜ｐ、ｐ−ｐ とする。
Ｘ４ ＹＩ Ｙ４
増幅器Ｕ１は、受光素子Ｘ工の出力ｐＸ１を負入力端子
に１受光素子ｘ３の出力ＰＸ３を正入力端子に受けて、
（ＰＸ３−ｐＸｌ）Ｋ応じた信号を出方する。一方、増
幅器Ｕ２は、受光素子ｘ２の出力ｐｘ□を負入力端子に
１受光素子Ｘの出力ｐＸ４を正入力端子に受けて、（Ｐ
Ｘ４− ｐＸ□）に応じた信号を出力する。ｐＸｌとＰ
Ｘ３及びＰｘ□とＰＸ４は互いに１８００位相のずれた
関係にあるから、位置信号成分は２倍になシ、直流酸分
はＯＫなるので処理しやすくなる。そして、その出力波
形は図に示すようなものとなる。増幅器Ｕ１゜Ｕ２の出
力は、制御回路９に入力する。
に１受光素子ｘ３の出力ＰＸ３を正入力端子に受けて、
（ＰＸ３−ｐＸｌ）Ｋ応じた信号を出方する。一方、増
幅器Ｕ２は、受光素子ｘ２の出力ｐｘ□を負入力端子に
１受光素子Ｘの出力ｐＸ４を正入力端子に受けて、（Ｐ
Ｘ４− ｐＸ□）に応じた信号を出力する。ｐＸｌとＰ
Ｘ３及びＰｘ□とＰＸ４は互いに１８００位相のずれた
関係にあるから、位置信号成分は２倍になシ、直流酸分
はＯＫなるので処理しやすくなる。そして、その出力波
形は図に示すようなものとなる。増幅器Ｕ１゜Ｕ２の出
力は、制御回路９に入力する。
制御回路９は、入力信号Ｅ１．Ｅ２を波形整形してパル
ス化する。Ｉ！１信号は、スクール４のＸ方向への移動
量に対応したものである。従って、Ｅ工をパルス化して
これをカウントすれば、スケール４のＸ方向の移動量が
求まる。ま＆、Ｘ工とＥ２の位相差を利用するとスケー
ル４の移動方向を知ることができる。制御回路９で演算
処理された、Ｘ方向の移動距離及び移動方向は、表示器
１１で表示される。
ス化する。Ｉ！１信号は、スクール４のＸ方向への移動
量に対応したものである。従って、Ｅ工をパルス化して
これをカウントすれば、スケール４のＸ方向の移動量が
求まる。ま＆、Ｘ工とＥ２の位相差を利用するとスケー
ル４の移動方向を知ることができる。制御回路９で演算
処理された、Ｘ方向の移動距離及び移動方向は、表示器
１１で表示される。
移動方向の表示の仕方としては、右方向を＋、左方向を
−と表示する。或いは、この逆でもよい。
−と表示する。或いは、この逆でもよい。
以上、Ｘ方向についての変位の測定方法について述べた
が、この間の事情はＹ方向についても全く同様であるの
で、説明を省略する。
が、この間の事情はＹ方向についても全く同様であるの
で、説明を省略する。
第２図は、スリット７の各種の形状を示す図である。受
光手段８の形状に応じて種々のものが用いられる＠第５
図は、干渉縞受光手段の変形例を示す図である。同＠に
おいて、第１図と同一のものけ同一の番号を付して示す
０第５図（、）は、受光手段として２次元ＣＯＤイメー
ジ七ンサを用いたものである。図中、２０は第１図で説
明した光源、キエーププリズム、レンズ等で構成される
光学系である。２１は、Ｃ■を用いた２次元イメージセ
ンサである＠該イメージセンナには、Ｘ、Ｙ各方面ご
゛とに駆動用のクロックが印加される。イメージ
センサ２１から取出した出力を処理する手段については
、第１図について説明したと同様である。
光手段８の形状に応じて種々のものが用いられる＠第５
図は、干渉縞受光手段の変形例を示す図である。同＠に
おいて、第１図と同一のものけ同一の番号を付して示す
０第５図（、）は、受光手段として２次元ＣＯＤイメー
ジ七ンサを用いたものである。図中、２０は第１図で説
明した光源、キエーププリズム、レンズ等で構成される
光学系である。２１は、Ｃ■を用いた２次元イメージセ
ンサである＠該イメージセンナには、Ｘ、Ｙ各方面ご
゛とに駆動用のクロックが印加される。イメージ
センサ２１から取出した出力を処理する手段については
、第１図について説明したと同様である。
第３図（ｂ）は、結像部人を通過した干渉縞を、ハーフ
ミ２−を用いてＸ方向とＹ方向九分離して、各方面とと
にスリットと受光手段を設けたものである。図中、３０
はハーフミラ−である。３１．３２は各方向ごとに設け
られたスリブ）、３３．３４は各方向ととに設けられた
受光手段である。何れの方向をＸ方向或いはＹ方向とす
るかは、必要に応じて決めることができる。なお、以上
の説明では、受光手段として各方向ごとに４分割された
受光素子を用いた場合を例にとったが４分割に限る必要
はない。最小２分割のものであれば、目的を達すること
ができる。
ミ２−を用いてＸ方向とＹ方向九分離して、各方面とと
にスリットと受光手段を設けたものである。図中、３０
はハーフミラ−である。３１．３２は各方向ごとに設け
られたスリブ）、３３．３４は各方向ととに設けられた
受光手段である。何れの方向をＸ方向或いはＹ方向とす
るかは、必要に応じて決めることができる。なお、以上
の説明では、受光手段として各方向ごとに４分割された
受光素子を用いた場合を例にとったが４分割に限る必要
はない。最小２分割のものであれば、目的を達すること
ができる。
以上、詳細に説明したように１本発明によればＸ、Ｙ２
方向に回折するように構成した回折格子よりなるスケー
ルを用いて、１個の読取ヘッドでＸ、Ｙ２方向の変位を
測定することのできる光学式スケール読取装置を実現す
ることができる。本発明装置を用いれば、１次元の変位
を測定する際に、移動方向とスケールの方向のずれから
生じるコサイン（ＣＯ８）工２−を補正することができ
る０
方向に回折するように構成した回折格子よりなるスケー
ルを用いて、１個の読取ヘッドでＸ、Ｙ２方向の変位を
測定することのできる光学式スケール読取装置を実現す
ることができる。本発明装置を用いれば、１次元の変位
を測定する際に、移動方向とスケールの方向のずれから
生じるコサイン（ＣＯ８）工２−を補正することができ
る０
第１図は、本発明の一実施例を示す構成図である◎第２
図は、スリットの形状を示す図である＠第３図は、本発
明の他の実施例を示す図である０１・・・光源、２・・
・偏光キ、−ププリズム、３・・・１／４波長板、４・
・・スケール、５・・・フィルタ、６・・・干渉縞、７
・・・スリット、８・・・受光手段、９．１０・・・制
御回路、１１．１２・・・表示器、２０・・・光学系、
２１・・・ＣＯＤイメージ七ンサ（３０・・・ハーフミ
ラ−１３１，３２・・・スリット、３３．３４・・・受
光手段、Ｌｌ、Ｌ２・・・レンズ、Ｕ１〜Ｕ、・・・増
幅器。 （−≧ 代理人 弁理士 小 沢 信 助Ｌ： ” °：
辻＼二／′ 第３図 ２．ｏ （ａ ） （ （ｂ）
図は、スリットの形状を示す図である＠第３図は、本発
明の他の実施例を示す図である０１・・・光源、２・・
・偏光キ、−ププリズム、３・・・１／４波長板、４・
・・スケール、５・・・フィルタ、６・・・干渉縞、７
・・・スリット、８・・・受光手段、９．１０・・・制
御回路、１１．１２・・・表示器、２０・・・光学系、
２１・・・ＣＯＤイメージ七ンサ（３０・・・ハーフミ
ラ−１３１，３２・・・スリット、３３．３４・・・受
光手段、Ｌｌ、Ｌ２・・・レンズ、Ｕ１〜Ｕ、・・・増
幅器。 （−≧ 代理人 弁理士 小 沢 信 助Ｌ： ” °：
辻＼二／′ 第３図 ２．ｏ （ａ ） （ （ｂ）
Claims (1)
- 可干渉性光源を光学系を介して２次元の回折格子よりな
るスケールに照射し、照射した光が反射または透過する
際に生じる多モードの回折光のうちの特定モードの回折
光同志が干渉する際に生じる干渉縞を１つの受光手段、
またはＸ、Ｙ各方向ごとに設けられた受光手段で受け、
これら受光手段の出力を演算処理して、Ｘ方向及びＹ方
向ごとにスケールの移動距離及び移動量に対応した信号
を出力するようにしたことを特徴とする光学式スケール
読取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200596A JPS58100703A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200596A JPS58100703A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58100703A true JPS58100703A (ja) | 1983-06-15 |
| JPS6213603B2 JPS6213603B2 (ja) | 1987-03-27 |
Family
ID=16426979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56200596A Granted JPS58100703A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 光学式スケ−ル読取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58100703A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6433613U (ja) * | 1987-08-20 | 1989-03-02 | ||
| JPH01272917A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-31 | Mitsutoyo Corp | 反射式ｘｙエンコーダ |
| JPH01291194A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | Ｘ−ｙテーブル |
| JPH01291101A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | Ｎ次元エンコーダ |
| US7134343B2 (en) * | 2003-07-25 | 2006-11-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Opto-acoustoelectric device and methods for analyzing mechanical vibration and sound |
| JP2020512563A (ja) * | 2017-03-31 | 2020-04-23 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 走査型プローブ顕微鏡のための装置および方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4991260A (ja) * | 1972-12-19 | 1974-08-31 |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP56200596A patent/JPS58100703A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4991260A (ja) * | 1972-12-19 | 1974-08-31 |
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| JPS6433613U (ja) * | 1987-08-20 | 1989-03-02 | ||
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| JPH01291194A (ja) * | 1988-05-18 | 1989-11-22 | Tokyo Electron Ltd | Ｘ−ｙテーブル |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6213603B2 (ja) | 1987-03-27 |
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