JPS58102151A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS58102151A JPS58102151A JP56200817A JP20081781A JPS58102151A JP S58102151 A JPS58102151 A JP S58102151A JP 56200817 A JP56200817 A JP 56200817A JP 20081781 A JP20081781 A JP 20081781A JP S58102151 A JPS58102151 A JP S58102151A
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- JP
- Japan
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- sample
- ultrasonic
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- scanning
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- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000009987 spinning Methods 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02854—Length, thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波顕ａｍに関するもので、特にその走査装
置の改良に関するものである◎従来の超音波顕緻−の走
査は、ボイスコイルによる往復移動と、モータによる直
１［＃動との組合わせにより、試料上を超音波の微小ス
ポットを第１図に−Ｎｔ示Ｔように”＋Ｖ力方向移動さ
せてラスター走査するものである。すなわち１１１１図
において、試料１の上方にトランスジューサおよび音響
レンズより成る超音波送受翼子ａｔ配置し、躯鋪軸８を
介してフウドスピー力と同じ構成よす成るボイスコイル
４すなわちＸ方向部ｌＩｌ装置と連結し、超音波送受素
子ｊｌをＸ方向に高速往復移動をさせるようにする。ま
た、試料Ｉｔ保持する試料台６に設けたｙ方向移動機構
（例えばリード・スクリュー等による機構）によりｙ方
向に低Ｍ−動させて超音波による二次元走査を行なって
いる。
置の改良に関するものである◎従来の超音波顕緻−の走
査は、ボイスコイルによる往復移動と、モータによる直
１［＃動との組合わせにより、試料上を超音波の微小ス
ポットを第１図に−Ｎｔ示Ｔように”＋Ｖ力方向移動さ
せてラスター走査するものである。すなわち１１１１図
において、試料１の上方にトランスジューサおよび音響
レンズより成る超音波送受翼子ａｔ配置し、躯鋪軸８を
介してフウドスピー力と同じ構成よす成るボイスコイル
４すなわちＸ方向部ｌＩｌ装置と連結し、超音波送受素
子ｊｌをＸ方向に高速往復移動をさせるようにする。ま
た、試料Ｉｔ保持する試料台６に設けたｙ方向移動機構
（例えばリード・スクリュー等による機構）によりｙ方
向に低Ｍ−動させて超音波による二次元走査を行なって
いる。
しかし、ボイスコイル４の往復移動の速度は、正弦波状
になっていて、試料１上の走査においては往復移動の両
端に近づくほど超音波微小スポットの走査速度が遅くな
る。従って、走査においてリニアリティが無いために、
画像を得るため用いるスキャンコンバータ、あるいはＯ
Ｒ丁等の表示装置への位置を示す信号の処理が繁雑にな
る。また、ボイスコイル番の往復移動は、駆動電源の変
動に大きく影響されやすく安定性に欠けている。その振
動も上下方向に「ぶれ」が生じやすく、大撮幅がとれず
、かつ、周囲に対し振動を与えるという間■があり、な
によりも走査が低速度であるため、走査時間が長くなる
という欠点がある。
になっていて、試料１上の走査においては往復移動の両
端に近づくほど超音波微小スポットの走査速度が遅くな
る。従って、走査においてリニアリティが無いために、
画像を得るため用いるスキャンコンバータ、あるいはＯ
Ｒ丁等の表示装置への位置を示す信号の処理が繁雑にな
る。また、ボイスコイル番の往復移動は、駆動電源の変
動に大きく影響されやすく安定性に欠けている。その振
動も上下方向に「ぶれ」が生じやすく、大撮幅がとれず
、かつ、周囲に対し振動を与えるという間■があり、な
によりも走査が低速度であるため、走査時間が長くなる
という欠点がある。
本発明は上記の欠点を解消し、超音波験ａ−に関し、試
料面をスパイラル状に走査を行なうこと１により、走査
時間ｔ＠縮し得る超音波顕微−を提供することを目的と
するものである。
料面をスパイラル状に走査を行なうこと１により、走査
時間ｔ＠縮し得る超音波顕微−を提供することを目的と
するものである。
本発明は超音波送受素子を試料面と平行に直線量するよ
う構成したことを特徴とするものである。
う構成したことを特徴とするものである。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第８図は本発明の超音波顕微−の走査装置の一実施例の
一部を切欠いて示す線図的斜視図であるｄ試料台１】の
上方に回転ドラム１８（ｇ設け、モータ］８と駆動軸１
４で連結する。回転ドラム１Ｓ内には超音波送受素子を
配置したホルダー１１を設け、このホルダー１５をＸ方
向に直線往復移動させるため、ラム１６のプランジャー
に′連結する６ラム１６は回転ドラム１ｓに固定されて
いる。ガイド婢１丁はホルダー１ｉのＸ方向への［１１
往復Ｉｇ＃する際の案内をする溝で、回転ドラム１８内
に設けられている。次にこの走査装置の動作を説明する
。モータ１８の電源をオンにするとその回転はその駆動
軸１４ｆ：経て回転ドラム１ｍを矢印方向にＭし、同時
にラム１６の電ａｔオンＬ、、＊ル４ｆ−１５をＸ方向
へ直線往復移動させる。
一部を切欠いて示す線図的斜視図であるｄ試料台１】の
上方に回転ドラム１８（ｇ設け、モータ］８と駆動軸１
４で連結する。回転ドラム１Ｓ内には超音波送受素子を
配置したホルダー１１を設け、このホルダー１５をＸ方
向に直線往復移動させるため、ラム１６のプランジャー
に′連結する６ラム１６は回転ドラム１ｓに固定されて
いる。ガイド婢１丁はホルダー１ｉのＸ方向への［１１
往復Ｉｇ＃する際の案内をする溝で、回転ドラム１８内
に設けられている。次にこの走査装置の動作を説明する
。モータ１８の電源をオンにするとその回転はその駆動
軸１４ｆ：経て回転ドラム１ｍを矢印方向にＭし、同時
にラム１６の電ａｔオンＬ、、＊ル４ｆ−１５をＸ方向
へ直線往復移動させる。
この回転ドラム１２の回転とホルダー１ｓの直線往復移
動の組合せで、試料台１１の試料を超音波微小スゲット
でスパイラル状に走査するようにする。なお、図示はし
ていないが、回転ドラム］２内には小形の高周波発生器
と、検出信号の受信回路とを配置して、これら回路への
電源供給は、駆動軸１４に沿って外部より送出し、内部
においてブラシを介して受けるものとする・ 第８図は本発明の超音波顕微鏡の走査装置の電気系の一
実施例を示すブロック８図である。説明を簡明にするた
め第８図と同一部分には同一の符号を付す。 ＩＩＩ
８図に図示はしていないが、回転ドラム１２内に配置し
た小形の高周波発生器１８により超音波送受素子１駆動
して超音波を試料に投射し、その反射波を超音波送受素
子を介して回転ドラム１８の内部に設けた受信−ｊｌ１
９で受信して輝度信号２を得、これを送信回路ＩＩＯか
ら送信し、外部に設けた受信回路８１を介して同じく外
部に設けた信号処理回路２２で受信する。また、ホルダ
ー１６の移動距盾丁なわち回転ドラム】Ｓの回転中心か
ら超音波送受素子の中心までの距離を表わす距離信号ｒ
ｔ図示しない検出回路により検出して、これｔ！１度信
ｆｉｇと同様に送信回路１１から送信し受信回路Ｓ】を
介して信号処理回路８８で受信する。信号処理回路ｓｇ
は回転ドラムｌＳ内の送信回路から送出された上記輝度
信号ｚ１距喝信号ｒと、１ｇ１転ド？ム１＄ｌのＩＩ＠
ｉ角度！表わす１ｇ１転角度信号０とを処理して表示装
置１８に表示する。例えば表示装置として陰極線管を用
いる場合には、その電子ビームをスパイラル状に偏向す
ることができる〇 以上の説明から明らかなように、本発明による！超音波
ｍｓ−によれば、試料の走査をスパイラル状に行なうの
で、従来の走査方法電より走査に要する時間が少ない。
動の組合せで、試料台１１の試料を超音波微小スゲット
でスパイラル状に走査するようにする。なお、図示はし
ていないが、回転ドラム］２内には小形の高周波発生器
と、検出信号の受信回路とを配置して、これら回路への
電源供給は、駆動軸１４に沿って外部より送出し、内部
においてブラシを介して受けるものとする・ 第８図は本発明の超音波顕微鏡の走査装置の電気系の一
実施例を示すブロック８図である。説明を簡明にするた
め第８図と同一部分には同一の符号を付す。 ＩＩＩ
８図に図示はしていないが、回転ドラム１２内に配置し
た小形の高周波発生器１８により超音波送受素子１駆動
して超音波を試料に投射し、その反射波を超音波送受素
子を介して回転ドラム１８の内部に設けた受信−ｊｌ１
９で受信して輝度信号２を得、これを送信回路ＩＩＯか
ら送信し、外部に設けた受信回路８１を介して同じく外
部に設けた信号処理回路２２で受信する。また、ホルダ
ー１６の移動距盾丁なわち回転ドラム】Ｓの回転中心か
ら超音波送受素子の中心までの距離を表わす距離信号ｒ
ｔ図示しない検出回路により検出して、これｔ！１度信
ｆｉｇと同様に送信回路１１から送信し受信回路Ｓ】を
介して信号処理回路８８で受信する。信号処理回路ｓｇ
は回転ドラムｌＳ内の送信回路から送出された上記輝度
信号ｚ１距喝信号ｒと、１ｇ１転ド？ム１＄ｌのＩＩ＠
ｉ角度！表わす１ｇ１転角度信号０とを処理して表示装
置１８に表示する。例えば表示装置として陰極線管を用
いる場合には、その電子ビームをスパイラル状に偏向す
ることができる〇 以上の説明から明らかなように、本発明による！超音波
ｍｓ−によれば、試料の走査をスパイラル状に行なうの
で、従来の走査方法電より走査に要する時間が少ない。
また、走査は回転移動と直纏往償＃動の組合わせである
から、走査が安定していて、走査＊Ｗの外部に振動を与
えることかなく、。
から、走査が安定していて、走査＊Ｗの外部に振動を与
えることかなく、。
かつ、その構成から走査面積を大きくとれる０また、走
査の位置を与える信号が回転角度０と距離変位置ｒなの
でこれ等の信号の処理が容易である。
査の位置を与える信号が回転角度０と距離変位置ｒなの
でこれ等の信号の処理が容易である。
なお、本発明は前述の実施例に限定されるものでなく、
幾多の変形や変更が可能である。例えば、回転ドラム１
２内の回路からの送信を電波によらず、回転ドラム】２
の外周に導電リングを設け、これをブラシにて導通な得
る有線の送信に代えることも可能である。また、直線往
復移動はラム１６の代りにボイスコイルを用いてもよい
。
幾多の変形や変更が可能である。例えば、回転ドラム１
２内の回路からの送信を電波によらず、回転ドラム】２
の外周に導電リングを設け、これをブラシにて導通な得
る有線の送信に代えることも可能である。また、直線往
復移動はラム１６の代りにボイスコイルを用いてもよい
。
【図面の簡単な説明】
１１１Ｉ図は従来の超音波顕微鏡の走査装置の一例の構
成を示す線図的斜視図、 ＩＩＩ図は本発明の超音波顕微鏡の走査位置の一実施例
の−！ｌＳｔ切欠いて示す４１図的斜視図、＄１８１ｉ
！５は本発明の超音波顕微鏡の走査装置の電気系の一実
施例を示すブロック１ｍ閣である。 １１・・・試料台、 １ｍ・・・回転ドラム、
１８・・・モータ、 １４・・・駆動軸、１６
・・・ホルダー、 １６・・・ラム、１フ・・・
ガイド溝、 １Ｂ・・・高周波発生器、１９・・
・受信回路、 ＳＯ・・・送信回路、３１・・・受
信回路、 ｚト・・信号処理回路、ｓ８・・・表示
装置。 特軒出鎖人 オリンパス光学工業株式金社第１図
成を示す線図的斜視図、 ＩＩＩ図は本発明の超音波顕微鏡の走査位置の一実施例
の−！ｌＳｔ切欠いて示す４１図的斜視図、＄１８１ｉ
！５は本発明の超音波顕微鏡の走査装置の電気系の一実
施例を示すブロック１ｍ閣である。 １１・・・試料台、 １ｍ・・・回転ドラム、
１８・・・モータ、 １４・・・駆動軸、１６
・・・ホルダー、 １６・・・ラム、１フ・・・
ガイド溝、 １Ｂ・・・高周波発生器、１９・・
・受信回路、 ＳＯ・・・送信回路、３１・・・受
信回路、 ｚト・・信号処理回路、ｓ８・・・表示
装置。 特軒出鎖人 オリンパス光学工業株式金社第１図
Claims (1)
- Ｌ 超音波送受素子を試料面と平行に直線移動させる手
段と、この直ＩＩＭ移動手Ｓｔを一回転させる手段とを
具え、前記両手段を同時に駆動して試料向をスパイラル
状に走査するよう構成したことを特徴とする超音波−微
一。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200817A JPS58102151A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56200817A JPS58102151A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58102151A true JPS58102151A (ja) | 1983-06-17 |
| JPH0138264B2 JPH0138264B2 (ja) | 1989-08-11 |
Family
ID=16430685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56200817A Granted JPS58102151A (ja) | 1981-12-15 | 1981-12-15 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58102151A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5359488A (en) * | 1976-11-09 | 1978-05-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Inspector |
-
1981
- 1981-12-15 JP JP56200817A patent/JPS58102151A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5359488A (en) * | 1976-11-09 | 1978-05-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Inspector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0138264B2 (ja) | 1989-08-11 |
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