JPS58102440A - ホロ−カソ−ド放電装置 - Google Patents
ホロ−カソ−ド放電装置Info
- Publication number
- JPS58102440A JPS58102440A JP56201100A JP20110081A JPS58102440A JP S58102440 A JPS58102440 A JP S58102440A JP 56201100 A JP56201100 A JP 56201100A JP 20110081 A JP20110081 A JP 20110081A JP S58102440 A JPS58102440 A JP S58102440A
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- hollow cathode
- electrode
- cathode
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-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/022—Details
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、放電起動の容易化を図れるようにしたホロー
カソード放電装置に関する。
カソード放電装置に関する。
発明の技術的背景
周知のように１ホローカソード放電値置は、放電室内に
配置された中空陰極（ホローカソード）と陽極との間で
アーク放電を生じさせてデラズ！を生成させるもので、
イオン源中プラズマ発生装置として広く利用されている
。
配置された中空陰極（ホローカソード）と陽極との間で
アーク放電を生じさせてデラズ！を生成させるもので、
イオン源中プラズマ発生装置として広く利用されている
。
このようなホローカソード電電装置は、通常、第１図に
示すように構成されている。すなわち、図示しない放電
室内に熱電子の放出し品い材料で形成された円筒状の中
空陰極Ｊを設けるとともにこの中空陰極１と同軸的に１
かつ上記中空陰極ＩＫ離間対向させて陽極１を設けてい
る。
示すように構成されている。すなわち、図示しない放電
室内に熱電子の放出し品い材料で形成された円筒状の中
空陰極Ｊを設けるとともにこの中空陰極１と同軸的に１
かつ上記中空陰極ＩＫ離間対向させて陽極１を設けてい
る。
上記中空陰極ｌの外側には、ソレノイド状の加熱ヒータ
１が中空陰極１とは非接触に設値されており、この加熱
ヒータ１０入力端はリード線４を介して加熱用電源ＩＫ
接続されている。さらに１上記加熱ヒータ１の外側には
熱シールド筒Ｃが設電されておシ、この熱Ｖ−ルド筒Ｃ
は、上記中空陰極１の前記陽極２儒端部に固着された絶
縁りンダ１ｔ−介して上記中空陰極１に支持されている
。ｔた上記絶縁リンダｒの陽極１側端面には、上記熱シ
ールド筒Ｃの一部を介して中央部に小径の孔１を有する
円板状の起動電極−が固定されている。まえ、上記中空
陰極１内には上記起動電極＃に対向する関係に内部電極
１１が装置されている。この内部電極１１は上記中空陰
極１と電気的Ｋｌｌ続されている。そして、上記中空陰
極１０反陽極儒に嵌合した導電筒体１２と前記起動電極
＃に電気萄に接続された熱シールド筒６との間に放電制
限抵抗ＩＪおよびスイッチ１４ｔ−介して起動電源１１
が接続されている。さらに、上記内部電極１１と前記陽
極２との間には電流制限抵抗ＩＩＩおよびスイ、チＪＦ
ｆ介してアーク電源Ｊ＃が接続されている。なお、図中
１ｇはガス供給ノ譬イデを示している。
１が中空陰極１とは非接触に設値されており、この加熱
ヒータ１０入力端はリード線４を介して加熱用電源ＩＫ
接続されている。さらに１上記加熱ヒータ１の外側には
熱シールド筒Ｃが設電されておシ、この熱Ｖ−ルド筒Ｃ
は、上記中空陰極１の前記陽極２儒端部に固着された絶
縁りンダ１ｔ−介して上記中空陰極１に支持されている
。ｔた上記絶縁リンダｒの陽極１側端面には、上記熱シ
ールド筒Ｃの一部を介して中央部に小径の孔１を有する
円板状の起動電極−が固定されている。まえ、上記中空
陰極１内には上記起動電極＃に対向する関係に内部電極
１１が装置されている。この内部電極１１は上記中空陰
極１と電気的Ｋｌｌ続されている。そして、上記中空陰
極１０反陽極儒に嵌合した導電筒体１２と前記起動電極
＃に電気萄に接続された熱シールド筒６との間に放電制
限抵抗ＩＪおよびスイッチ１４ｔ−介して起動電源１１
が接続されている。さらに、上記内部電極１１と前記陽
極２との間には電流制限抵抗ＩＩＩおよびスイ、チＪＦ
ｆ介してアーク電源Ｊ＃が接続されている。なお、図中
１ｇはガス供給ノ譬イデを示している。
仁のような構成のホローカソード放電装置にありて、起
動時には、まず加熱ヒータＪ【付勢して中空陰極ｉＹｔ
加熱し、この中空陰極１がら熱電子を放出させる。中空
陰極ＪＩｉ−十分に加熱した時点で、上記中空陰極１内
に放電に必要な作動ガスをガス供給・量イブ１りを通し
て供給すると同時に１スイ、チ１４を投入して起動電極
−と内部電極１１との間に起動電圧【印加し、両極間で
グロー放電ｔ＠ζさせる。このグロー放電によりて上記
中空陰極１内に上記中空陰極１と陽極１との間のアーク
放電起動に必要な量のシラ）ｅ−ｗが発生した時点で、
スイッチ１ｒ會投入して上記中空陰極１と陽極２との間
にアーク起動電圧上印加し、これＫよってアーク放電へ
と移行させるようにしている。なお、一旦アータ放電が
開始するとスイッチ１４を開放し、起動電圧上除去して
も上記アーク放電が持続する。
動時には、まず加熱ヒータＪ【付勢して中空陰極ｉＹｔ
加熱し、この中空陰極１がら熱電子を放出させる。中空
陰極ＪＩｉ−十分に加熱した時点で、上記中空陰極１内
に放電に必要な作動ガスをガス供給・量イブ１りを通し
て供給すると同時に１スイ、チ１４を投入して起動電極
−と内部電極１１との間に起動電圧【印加し、両極間で
グロー放電ｔ＠ζさせる。このグロー放電によりて上記
中空陰極１内に上記中空陰極１と陽極１との間のアーク
放電起動に必要な量のシラ）ｅ−ｗが発生した時点で、
スイッチ１ｒ會投入して上記中空陰極１と陽極２との間
にアーク起動電圧上印加し、これＫよってアーク放電へ
と移行させるようにしている。なお、一旦アータ放電が
開始するとスイッチ１４を開放し、起動電圧上除去して
も上記アーク放電が持続する。
第２図も従来のホローカソード放電装置を示す断面図で
あり、第１図と同一部分は同一符号で示しである。この
ホローカッ−Ｐ放電装置では、内部電極１１の起動電極
＃に対向する儒に熱電子の放出し易い、すなわち仕事函
数の小さい電極部材２０を固着することＫよりてグロー
放電の容易化を図るようＫしている。
あり、第１図と同一部分は同一符号で示しである。この
ホローカッ−Ｐ放電装置では、内部電極１１の起動電極
＃に対向する儒に熱電子の放出し易い、すなわち仕事函
数の小さい電極部材２０を固着することＫよりてグロー
放電の容易化を図るようＫしている。
背景技術の問題点
しかしながら、これ勢Ｏ放電装置にあっては次のような
問題がありた。す表わち、従来装置にありては、起動の
きっかけｔ作夛出すために中空陰極１から熱電子を放出
させる方式を採用しておシ、この九めに上記中空陰極１
の外１ｉｉｌＫルノイド状の加熱ヒータ１を設置するよ
うにしている。このような構成であると、上記加熱し−
タＳへの通電時にこの加熱し−タ１が熱変形を起こして
中空陰極１あるいは外側の熱シールド簡−に接触し易く
、故障し易い問題があうえ、を圧接触防止の九めに加熱
ヒータ１と中空陰極１および熱シールド筒Ｃとの間隔を
十分に取るようにすると、装置が大型化するの會免れ得
ない問題がありた。さらに１構造が複雑な友め、保守点
検も困難であり九。
問題がありた。す表わち、従来装置にありては、起動の
きっかけｔ作夛出すために中空陰極１から熱電子を放出
させる方式を採用しておシ、この九めに上記中空陰極１
の外１ｉｉｌＫルノイド状の加熱ヒータ１を設置するよ
うにしている。このような構成であると、上記加熱し−
タＳへの通電時にこの加熱し−タ１が熱変形を起こして
中空陰極１あるいは外側の熱シールド簡−に接触し易く
、故障し易い問題があうえ、を圧接触防止の九めに加熱
ヒータ１と中空陰極１および熱シールド筒Ｃとの間隔を
十分に取るようにすると、装置が大型化するの會免れ得
ない問題がありた。さらに１構造が複雑な友め、保守点
検も困難であり九。
を九、仁のようなホローカノード放電装置ｔイオン発生
源として使用する場合には、イオン発生時のガス効率向
上を図る九めに１できるだけ作動ガスを低流量で供給す
る必要があシ、このためＫｔｊ中空陰極１内が十分低ガ
ス圧力状態下であってもアーク放電に移行できることが
望まれるが、従来の放電装置では低ガス圧下での起動が
困難であった。
源として使用する場合には、イオン発生時のガス効率向
上を図る九めに１できるだけ作動ガスを低流量で供給す
る必要があシ、このためＫｔｊ中空陰極１内が十分低ガ
ス圧力状態下であってもアーク放電に移行できることが
望まれるが、従来の放電装置では低ガス圧下での起動が
困難であった。
発明の目的
本発明は、このような事情に鑑みてなされ九もので、そ
の目的とするところは、小型軽量で、故障が少く、シか
も低ガス圧下であっても放電起動全容易に行なえ、その
う、え電力消費が少くイオン、グッズマ発生効率の向上
化に寄与で自るホローカソード放電装置を提供するとと
にある。
の目的とするところは、小型軽量で、故障が少く、シか
も低ガス圧下であっても放電起動全容易に行なえ、その
う、え電力消費が少くイオン、グッズマ発生効率の向上
化に寄与で自るホローカソード放電装置を提供するとと
にある。
発明の概要
本発明は、起動の１！ｉりかけをっ（る熱電子を中空陰
極とは絶縁して設けられ喪内部電極から放出させるよう
にするととｋよって、熱電子を放出させるための加熱し
一タの小型化、簡素化を図り、さらに１アーク放電に到
るｔでに内部電極と起動電極との間および起動電極と中
空陰極との間の２段階の放電を経てアーク放電に移行さ
せるようにした仁とｔ％黴とする。
極とは絶縁して設けられ喪内部電極から放出させるよう
にするととｋよって、熱電子を放出させるための加熱し
一タの小型化、簡素化を図り、さらに１アーク放電に到
るｔでに内部電極と起動電極との間および起動電極と中
空陰極との間の２段階の放電を経てアーク放電に移行さ
せるようにした仁とｔ％黴とする。
発明の実施例
本発明の実施ＰＩｌｔｗＪ面を参照しながら説明する・
ｊｌＩｓ図は本発明に係るホローカソード放電装置の概
略構成を示す断ｍｓであル、第１１１と同一部分は同一
符号で示してあゐ・し九がって重複する部分の説明は省
略する。
略構成を示す断ｍｓであル、第１１１と同一部分は同一
符号で示してあゐ・し九がって重複する部分の説明は省
略する。
この実施例では、中空陰極１の壁部に作動ガス流入用の
流入口１１Ｙｔ＠方向ＫＩＩ数個設け、中空陰極１と熱
シールド筒Ｃとの間の空間をガス導入路２１として用い
ている。ｔた中空陰極１内でかつ反陽極側の位置に円板
状の内部電極１１を起動電極＃に対向させて配置し、こ
の内部電極１１ｔ−超高温耐熱性の絶縁材である１Ｎ（
がロンナイトライド）で形成された支持体ｚ１を介して
上記中空陰極１の内面に固定している・内部電極１１は
仕事関数の小さい電極材料にて形成されており、中空陰
極１とはスイ。
流入口１１Ｙｔ＠方向ＫＩＩ数個設け、中空陰極１と熱
シールド筒Ｃとの間の空間をガス導入路２１として用い
ている。ｔた中空陰極１内でかつ反陽極側の位置に円板
状の内部電極１１を起動電極＃に対向させて配置し、こ
の内部電極１１ｔ−超高温耐熱性の絶縁材である１Ｎ（
がロンナイトライド）で形成された支持体ｚ１を介して
上記中空陰極１の内面に固定している・内部電極１１は
仕事関数の小さい電極材料にて形成されており、中空陰
極１とはスイ。
チ１４を介して電気的に接続されている。さらに、上記
内部電極１１０反陽極側端面の近傍に上記内部電極１１
を加熱するヒータｚｔｔｔ−配置し、とのヒータ１５ｔ
−上記中空陰極１内に固定された円板状の耐熱性支持板
２−にて支持させている。したがって、本発明装置では
、従来装置に見られる中空陰極加熱用のヒータは存在し
ていない。
内部電極１１０反陽極側端面の近傍に上記内部電極１１
を加熱するヒータｚｔｔｔ−配置し、とのヒータ１５ｔ
−上記中空陰極１内に固定された円板状の耐熱性支持板
２−にて支持させている。したがって、本発明装置では
、従来装置に見られる中空陰極加熱用のヒータは存在し
ていない。
このように構成されたホローカソード放電装置の放電起
動を行なうｋは次のようＫする。まず加熱電ｆｌｌｉＫ
よりヒータＩＩＫ電流を流し内部電極ＪＪＩ熱電子放出
可能な状１！１ｔで十分加熱する。そして図示しない作
動ガス供給源よ〕ガス導入路ｘｓｔ−通して作動ガスを
中空陰極１内へと導入する。同時にスイッチ１４ｔ−投
入し、熱シールド筒−に電気的に接続された起動電極ｔ
と内部電極１１との間に起動電源ＩＪの出力電圧を印加
する。なお仁の時、スイッチ１４會開放して中空陰極１
と内部電極１１とを電気的に絶縁させておく、シかして
、上記のようにスイッチ１４を投入すると、起動電極−
と内部電極ＩＪとの二つの平板電極間にグロー放電が発
生し、この結果、中空陰極１内にプラズマが生成される
。上記プラズマが十分生成された後、スイッチ２４′ｆ
ｒ閉じて内部電極１１と中空陰極１とｔ等電位とする。
動を行なうｋは次のようＫする。まず加熱電ｆｌｌｉＫ
よりヒータＩＩＫ電流を流し内部電極ＪＪＩ熱電子放出
可能な状１！１ｔで十分加熱する。そして図示しない作
動ガス供給源よ〕ガス導入路ｘｓｔ−通して作動ガスを
中空陰極１内へと導入する。同時にスイッチ１４ｔ−投
入し、熱シールド筒−に電気的に接続された起動電極ｔ
と内部電極１１との間に起動電源ＩＪの出力電圧を印加
する。なお仁の時、スイッチ１４會開放して中空陰極１
と内部電極１１とを電気的に絶縁させておく、シかして
、上記のようにスイッチ１４を投入すると、起動電極−
と内部電極ＩＪとの二つの平板電極間にグロー放電が発
生し、この結果、中空陰極１内にプラズマが生成される
。上記プラズマが十分生成された後、スイッチ２４′ｆ
ｒ閉じて内部電極１１と中空陰極１とｔ等電位とする。
中空陰極１内には十分なプラズマが存在するので、中空
陰極１と起動電極−との間に容易にグロー放電が発生す
る。このグロー放電によ）中空陰極１の内壁は十分加熱
され、中空陰極１と陽極２との間のアーク放電に必要な
初期熱電子とデラズｉが中空陰極１内に供給される。次
に、スイッチ１ｒｔ−投入し、中空陰極１と陽極２との
間にアーク電源１１の出力電圧、つｔ）、７−タ電圧を
印加する。仁の結果、中空陰極ｌと陽極２との間にアー
ク放電、すなわちホローカソード放電が起動する。
陰極１と起動電極−との間に容易にグロー放電が発生す
る。このグロー放電によ）中空陰極１の内壁は十分加熱
され、中空陰極１と陽極２との間のアーク放電に必要な
初期熱電子とデラズｉが中空陰極１内に供給される。次
に、スイッチ１ｒｔ−投入し、中空陰極１と陽極２との
間にアーク電源１１の出力電圧、つｔ）、７−タ電圧を
印加する。仁の結果、中空陰極ｌと陽極２との間にアー
ク放電、すなわちホローカソード放電が起動する。
なお、起動後はスイッチ１４ｔ−開放して起動電圧全除
去してもアーク放電は持続する。
去してもアーク放電は持続する。
このように、起動のきっかけをつくる熱電子発生源とし
て内部電極を用いるようＫしている。
て内部電極を用いるようＫしている。
したがって、従来装置とは違って中空陰＆１【加熱する
大型の加熱ヒータ會必要としないので、中空陰極加熱用
のヒータＳを設けたときに起）易い中空陰極１および熱
シールド簡Ｃへの接触による故障の懸念が解消され、し
かも、装置の小型軽量化を図る仁とができる。を九本発
明によると、ヒータ１５は内部電極１１のみ加熱すれば
十分であるので、従来の中空陰極加熱用と一タ會設は九
ものに比較してヒータによる電力消費を少くでき、装置
の効率的な運転が可能である。
大型の加熱ヒータ會必要としないので、中空陰極加熱用
のヒータＳを設けたときに起）易い中空陰極１および熱
シールド簡Ｃへの接触による故障の懸念が解消され、し
かも、装置の小型軽量化を図る仁とができる。を九本発
明によると、ヒータ１５は内部電極１１のみ加熱すれば
十分であるので、従来の中空陰極加熱用と一タ會設は九
ものに比較してヒータによる電力消費を少くでき、装置
の効率的な運転が可能である。
それに加え、最終のアーク放電に到るまでに内部電極１
１と起動電極ｔとの間および中空陰極１と起動電極−と
の間の２段階の放電を経るので、放電起動を低い作動ガ
ス圧力で、容易にしかも確実に行うことが可能である・
したがって、十分高いガス効率を得ることができイオン
、グッズマ発生効率の高い装置を得る仁とができる。
１と起動電極ｔとの間および中空陰極１と起動電極−と
の間の２段階の放電を経るので、放電起動を低い作動ガ
ス圧力で、容易にしかも確実に行うことが可能である・
したがって、十分高いガス効率を得ることができイオン
、グッズマ発生効率の高い装置を得る仁とができる。
また、実施例のように内部電極１１ｔ−仕事函数の小さ
い電極部材で形成することＫよって、初期ダロー放電管
さらに容易に行表わせることができる。なお、内部電極
としては、必ずしも円板状に限定されるものではない・ 発明の詳細 な説明したように１本発明によれば、放電起動のきっか
けをつくる熱電子を内部電極から放出させるようＫして
いるので、熱電子管放出させるための加熱し一夕の小型
化、簡素化、装置としての信頼性向上化を図ることがで
き、しかも、アーク放電に到るまでに内部電極と起動電
極との間および起動電極と中空陰極との間の２段階の放
電ｉｓてアーク放電に移行させることが°できるので低
ガス圧下における放電起動の容易化を図ることができ、
イオン、プラノ１０発生効率を向上させることができる
。
い電極部材で形成することＫよって、初期ダロー放電管
さらに容易に行表わせることができる。なお、内部電極
としては、必ずしも円板状に限定されるものではない・ 発明の詳細 な説明したように１本発明によれば、放電起動のきっか
けをつくる熱電子を内部電極から放出させるようＫして
いるので、熱電子管放出させるための加熱し一夕の小型
化、簡素化、装置としての信頼性向上化を図ることがで
き、しかも、アーク放電に到るまでに内部電極と起動電
極との間および起動電極と中空陰極との間の２段階の放
電ｉｓてアーク放電に移行させることが°できるので低
ガス圧下における放電起動の容易化を図ることができ、
イオン、プラノ１０発生効率を向上させることができる
。
第１および第２図はそれぞれ従来のホローカソード放電
装置の概略構成を示す断面図、第３図は本発明の一実施
例に係るホローカソード放電装置の概略構成管示す断面
図である。 １・・・中空陰極（ホローカソード）、１・・・陽極、
１・・・加熱ヒータ、６・−熱シールド筒、夕・−・起
動電極、１１−・内部電極、ｚｌ・・・流入口、ＩＪ・
・・支持体、２５・・・ヒータ、２ｄ・・・耐熱性支持
板。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図
装置の概略構成を示す断面図、第３図は本発明の一実施
例に係るホローカソード放電装置の概略構成管示す断面
図である。 １・・・中空陰極（ホローカソード）、１・・・陽極、
１・・・加熱ヒータ、６・−熱シールド筒、夕・−・起
動電極、１１−・内部電極、ｚｌ・・・流入口、ＩＪ・
・・支持体、２５・・・ヒータ、２ｄ・・・耐熱性支持
板。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 放電室内に中空陰極と陽極とを離間対向配置するととも
に上記中空陰極内を通して上記陽極側へ向けて作動ガス
を通流させている状態で上記中空陰極と上記陽極とＯ関
にアーク放電管性なわせるようＫし九ホ四−カノード放
電装置において、前記中空陰極の前記陽１儒に位置する
開口部に上記中空陰極とは絶縁されて設けられえガス流
量制限機能を有する起動電極と、前記中空陰極内に上記
中空陰極とは絶縁されかつ前記起動電極に対向して設置
られた内部電極と、この内部電極を加熱するヒータとを
備え、放電起動時に、前記と一タを付勢して前記内部電
極を加熱している条件下で上記内部電極と前記起動電極
との間でグロー放電を行なわせた後、前記中空陰極と前
記起動電極との間でグロー放電を行なわせ、続いて上記
中空陰極と前記陽極との関でアーク放電を行なわせるよ
うにしてなることを特徴とするホローカソード放電装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56201100A JPS5853460B2 (ja) | 1981-12-14 | 1981-12-14 | ホロ−カソ−ド放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56201100A JPS5853460B2 (ja) | 1981-12-14 | 1981-12-14 | ホロ−カソ−ド放電装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58102440A true JPS58102440A (ja) | 1983-06-18 |
| JPS5853460B2 JPS5853460B2 (ja) | 1983-11-29 |
Family
ID=16435391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56201100A Expired JPS5853460B2 (ja) | 1981-12-14 | 1981-12-14 | ホロ−カソ−ド放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5853460B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2640807A1 (fr) * | 1988-12-21 | 1990-06-22 | Beljuk Sergei | Cathode creuse pour source electronique et ionique a plasma |
| GB2387963A (en) * | 2001-12-31 | 2003-10-29 | Applied Materials Inc | Ion sources |
| WO2003075305A3 (en) * | 2002-03-06 | 2003-11-27 | Applied Materials Inc | Indirectly heated button cathode for an ion source |
| US6878946B2 (en) | 2002-09-30 | 2005-04-12 | Applied Materials, Inc. | Indirectly heated button cathode for an ion source |
| GB2409928A (en) * | 2004-01-09 | 2005-07-13 | Applied Materials Inc | Improvements relating to ion implantation and instabilities |
| JP2015045038A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | 株式会社不二越 | 圧力勾配型プラズマガン |
-
1981
- 1981-12-14 JP JP56201100A patent/JPS5853460B2/ja not_active Expired
Cited By (11)
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| GB2387963B (en) * | 2001-12-31 | 2004-09-29 | Applied Materials Inc | Ion sources |
| US7586101B2 (en) | 2001-12-31 | 2009-09-08 | Applied Materials, Inc. | Ion sources for ion implantation apparatus |
| WO2003075305A3 (en) * | 2002-03-06 | 2003-11-27 | Applied Materials Inc | Indirectly heated button cathode for an ion source |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5853460B2 (ja) | 1983-11-29 |
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