JPS5810345A - 撮像管偏向電極用金属膜の形成方法 - Google Patents
撮像管偏向電極用金属膜の形成方法Info
- Publication number
- JPS5810345A JPS5810345A JP10701281A JP10701281A JPS5810345A JP S5810345 A JPS5810345 A JP S5810345A JP 10701281 A JP10701281 A JP 10701281A JP 10701281 A JP10701281 A JP 10701281A JP S5810345 A JPS5810345 A JP S5810345A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass tube
- tube
- image pickup
- formation
- metallic film
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は撮像管のガラス管の内面に偏向電極用の金属膜
を厚膜に形成する方法に関する。
を厚膜に形成する方法に関する。
第１図は撮像管の断面構造図である。図において、１は
透光性ガラス基板からなるフェースプレート、２はフェ
ースプレート１の内面に形成された５ｎＯｚなどからな
る透明導電膜、３はその内面に形成された光導電膜で、
これらフェースプレート組立体の周辺は、インジウム４
を介してガラス管５の開口端に封着され、インジウム４
の外周には透明導電膜２から信号を取り出す信号電極６
が設けられている。７はガラス管５に内蔵された電子銃
構体、８はガラス管５の内面に形成された偏向電極であ
り、ガラス管５の内部は気密排気されている。被写体９
から入射した光１０は光学レンズ系１１を介して光導電
膜３上に結像し、被写体９の像に対応する電荷パターン
が光導電膜３に形成される。電子銃構体７から発射され
た電子ビーム１２はガラス管５の外周部に配置された集
束コイル１３．アライメントコイル１４によって作られ
る磁界によって集束され、偏向電極８によって偏向され
て光導電膜３の表面を走査する。この電子ビーム１２の
走査により電荷パターンは電流に変換されて、透明導電
膜２．インジウム４を通して信号電極６から電気信号と
して管外に取り出される。
透光性ガラス基板からなるフェースプレート、２はフェ
ースプレート１の内面に形成された５ｎＯｚなどからな
る透明導電膜、３はその内面に形成された光導電膜で、
これらフェースプレート組立体の周辺は、インジウム４
を介してガラス管５の開口端に封着され、インジウム４
の外周には透明導電膜２から信号を取り出す信号電極６
が設けられている。７はガラス管５に内蔵された電子銃
構体、８はガラス管５の内面に形成された偏向電極であ
り、ガラス管５の内部は気密排気されている。被写体９
から入射した光１０は光学レンズ系１１を介して光導電
膜３上に結像し、被写体９の像に対応する電荷パターン
が光導電膜３に形成される。電子銃構体７から発射され
た電子ビーム１２はガラス管５の外周部に配置された集
束コイル１３．アライメントコイル１４によって作られ
る磁界によって集束され、偏向電極８によって偏向され
て光導電膜３の表面を走査する。この電子ビーム１２の
走査により電荷パターンは電流に変換されて、透明導電
膜２．インジウム４を通して信号電極６から電気信号と
して管外に取り出される。
ここで、偏向電極８は、金属クロム等をガラス管５の内
面に蒸着した後、その蒸着膜をレーザビーム加工法によ
って所定形状に形成したものである。このような金属膜
をガラス管内に真空蒸着するには、ガラス管を先づ加熱
し、約２００℃以上に加熱しながら蒸着を行なわなけれ
ばならない。
面に蒸着した後、その蒸着膜をレーザビーム加工法によ
って所定形状に形成したものである。このような金属膜
をガラス管内に真空蒸着するには、ガラス管を先づ加熱
し、約２００℃以上に加熱しながら蒸着を行なわなけれ
ばならない。
第２図は従来の偏向電極用金属膜の形成方法の説明図で
ある。１５は管軸を縦方向にして配置したガラス管、１
６は蒸着マスク、１７はガラス管１５の内に中心軸にほ
ぼ泊って配置された蒸発源となるクロムメッキタングス
テン線、１８はこのタングステン線１７の両端を支持す
る電流端子、１９はガラス管１５の外方を囲むように配
置されたコイルヒータである。このコイルヒータ１９で
ガラス管１５を加熱し、電１流端子１８間に電流を流し
タングステン線１７を加熱してクロムを蒸発させ蒸着を
行なう。
ある。１５は管軸を縦方向にして配置したガラス管、１
６は蒸着マスク、１７はガラス管１５の内に中心軸にほ
ぼ泊って配置された蒸発源となるクロムメッキタングス
テン線、１８はこのタングステン線１７の両端を支持す
る電流端子、１９はガラス管１５の外方を囲むように配
置されたコイルヒータである。このコイルヒータ１９で
ガラス管１５を加熱し、電１流端子１８間に電流を流し
タングステン線１７を加熱してクロムを蒸発させ蒸着を
行なう。
しかしながら、このような方法によると、コイルヒータ
の内側にガラス管を配置しなければならないために、被
蒸着物であるガラス管の着脱に労力と時間を要し生産能
率が悪いという問題があった。また、蒸発源には蒸着し
ようとする物質（金属クロム等）を予めメッキ等によっ
て被着しておくが、メッキ等で被着する量は限度があり
、蒸着膜の厚さを所定以上にするのは難しく、例えばツ
キを施しておかなければならず、生産上困難となる。
の内側にガラス管を配置しなければならないために、被
蒸着物であるガラス管の着脱に労力と時間を要し生産能
率が悪いという問題があった。また、蒸発源には蒸着し
ようとする物質（金属クロム等）を予めメッキ等によっ
て被着しておくが、メッキ等で被着する量は限度があり
、蒸着膜の厚さを所定以上にするのは難しく、例えばツ
キを施しておかなければならず、生産上困難となる。
本発明は従来のこのような欠点を解消するもので、その
目的とするところは、ガラス管内面に短時間で十分な厚
さの金属膜を真空蒸着できるような撮像管偏向電極用金
属膜の形成方法を提供することにある。
目的とするところは、ガラス管内面に短時間で十分な厚
さの金属膜を真空蒸着できるような撮像管偏向電極用金
属膜の形成方法を提供することにある。
第３図は本発明の偏向電極用金属膜の形成方法の説明図
である。１５は管軸を横方向にして配置したガラス管、
１６は蒸着マスク、２０はガラス管１５の内に水平に配
置されたタングステンボード、２１はタングステンボー
ト２０の両端を支持する電流端子、２２はタングステン
ボート２０内に設けられたクロム粉末、２３はガラス管
１５を周面で支持しこれを管軸を中心に回転させるロー
ラ、２４はガラス管１５の下方に配置された加熱ヒータ
である。ガラス管１５をローラ２３で回転しながら加熱
ヒータ２４で加熱し、電流端子２１間に電流を流すと、
クロム粉末２２は蒸発してガラス管１５の内面に均一に
、しかも十分な厚さにクロム膜が蒸着される。
である。１５は管軸を横方向にして配置したガラス管、
１６は蒸着マスク、２０はガラス管１５の内に水平に配
置されたタングステンボード、２１はタングステンボー
ト２０の両端を支持する電流端子、２２はタングステン
ボート２０内に設けられたクロム粉末、２３はガラス管
１５を周面で支持しこれを管軸を中心に回転させるロー
ラ、２４はガラス管１５の下方に配置された加熱ヒータ
である。ガラス管１５をローラ２３で回転しながら加熱
ヒータ２４で加熱し、電流端子２１間に電流を流すと、
クロム粉末２２は蒸発してガラス管１５の内面に均一に
、しかも十分な厚さにクロム膜が蒸着される。
この方法によると、割れ易いガラス管は横方向に安定な
状態で取付けられ、加熱ヒータは一度取付けられたらそ
のまま連続して使用でき、また蒸発源の物質は容易に補
給することができる。さらに、ガラス管は従来のように
加熱ヒータの内に入れる必要はなく、ロータ上にのせる
だけでよいので作業が簡単になる。
状態で取付けられ、加熱ヒータは一度取付けられたらそ
のまま連続して使用でき、また蒸発源の物質は容易に補
給することができる。さらに、ガラス管は従来のように
加熱ヒータの内に入れる必要はなく、ロータ上にのせる
だけでよいので作業が簡単になる。
このように本発明によると、蒸着作業の時間が短縮され
て生産性が増し、またガラス管内に金属膜を十分な厚さ
に均一に真空蒸着できるという効果がある。
て生産性が増し、またガラス管内に金属膜を十分な厚さ
に均一に真空蒸着できるという効果がある。
第１図は撮像管の断面構造図、第２図は従来の金属膜の
形成方法の説明図、第３図は本発明の金属膜の形成方法
の説明図である。 ｓ、ｉｓ−・・０ガラス管、４工８・φ・・偏向電極、
１６＠・・・蒸着マスク、２０・・＋＋９タングステン
ボート、２１・争・・電流端子、２２・・―・クロム粉
末、２３・・・・ローラ、２４・・・ψ加熱ヒータ。
形成方法の説明図、第３図は本発明の金属膜の形成方法
の説明図である。 ｓ、ｉｓ−・・０ガラス管、４工８・φ・・偏向電極、
１６＠・・・蒸着マスク、２０・・＋＋９タングステン
ボート、２１・争・・電流端子、２２・・―・クロム粉
末、２３・・・・ローラ、２４・・・ψ加熱ヒータ。
Claims (1)
- 管軸を横方向にして配置したガラス管の内部に金属粉末
蒸発源を設け、ガラス管を回転させながら外部から加熱
し、ガラス管の内面に金属膜を蒸着するようにした撮像
管偏向電極用金属膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10701281A JPS5810345A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 撮像管偏向電極用金属膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10701281A JPS5810345A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 撮像管偏向電極用金属膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5810345A true JPS5810345A (ja) | 1983-01-20 |
Family
ID=14448257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10701281A Pending JPS5810345A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 撮像管偏向電極用金属膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5810345A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61257836A (ja) * | 1985-05-02 | 1986-11-15 | フエラ−ク アクチエンゲゼルシヤフト | 給紙機構の給紙部へ印刷物のようなシート状製品を供給する方法及び装置 |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP10701281A patent/JPS5810345A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61257836A (ja) * | 1985-05-02 | 1986-11-15 | フエラ−ク アクチエンゲゼルシヤフト | 給紙機構の給紙部へ印刷物のようなシート状製品を供給する方法及び装置 |
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