JPS58103647A - 表面欠陥検査方法 - Google Patents
表面欠陥検査方法Info
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- JPS58103647A JPS58103647A JP20148581A JP20148581A JPS58103647A JP S58103647 A JPS58103647 A JP S58103647A JP 20148581 A JP20148581 A JP 20148581A JP 20148581 A JP20148581 A JP 20148581A JP S58103647 A JPS58103647 A JP S58103647A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は非接触式ｏ’ｓ＊欠陥検査方法Ｋｌｌするもの
で、一定方向に加工筋目を有す為検査面の表面欠陥を容
易に検出すゐことができる検査方法を提唱することかで
龜る。
で、一定方向に加工筋目を有す為検査面の表面欠陥を容
易に検出すゐことができる検査方法を提唱することかで
龜る。
従来、！！面欠陥検査方法としてはスポット光等を検査
対蒙面に当て、その正反射光を受光する７ツインダスポ
ツＦ方式や７ツイングイメ一ジ方式が瓜（知られ、実用
化されている・を九、特殊亀例としてスポット光の代〕
に偏光レーずを用Ｉ／％為とともに受光側に偏光フィル
タを設け、正常面からの反射光を除去し、欠陥部からＯ
散乱光Ｏみ會受光するようにし九方式などが知られてお
〕、前二者は欠陥部による正反射光の減少、第五〇方法
は散乱光の有無によシ欠陥部を検出しようとす為もので
あゐ・しかし、これらの方法によれは、欠陥部以外Ｏ正
常部では反射光量の変化が無いか、有り九としても非常
に小さいことが欠陥部Ｏ検出能力を上げるために必要で
あゐ・すなわち、表真粗さ等の微細な面の傾きによる反
射光の拡ｍＩｔ中散乱は欠陥検出の上て好ｔＬ＜ないた
め、磁気ディスク表面等の非常に平滑ｔｌｌｌＷ（ｌＩ
Ｋ平Ｗ）がその検査対象となりそお）、通常の工作物の
ようにＩＪＩｅｉ以上Ｏ表面粗さを有する％０の検査は
１１１ｍであつえ・さらに前述Ｏ第１および第８の方法
０場合、正反射光を受光す為丸めに光軸の許容範囲が狭
く条件設定が困難と＊Ｄ、第３の方法の場合散乱光を効
率的に集光する九めＯ受光系の構造が複雑になる欠点を
有し、各従来方法とも検査面が曲面の場合には不適合で
あり九。
対蒙面に当て、その正反射光を受光する７ツインダスポ
ツＦ方式や７ツイングイメ一ジ方式が瓜（知られ、実用
化されている・を九、特殊亀例としてスポット光の代〕
に偏光レーずを用Ｉ／％為とともに受光側に偏光フィル
タを設け、正常面からの反射光を除去し、欠陥部からＯ
散乱光Ｏみ會受光するようにし九方式などが知られてお
〕、前二者は欠陥部による正反射光の減少、第五〇方法
は散乱光の有無によシ欠陥部を検出しようとす為もので
あゐ・しかし、これらの方法によれは、欠陥部以外Ｏ正
常部では反射光量の変化が無いか、有り九としても非常
に小さいことが欠陥部Ｏ検出能力を上げるために必要で
あゐ・すなわち、表真粗さ等の微細な面の傾きによる反
射光の拡ｍＩｔ中散乱は欠陥検出の上て好ｔＬ＜ないた
め、磁気ディスク表面等の非常に平滑ｔｌｌｌＷ（ｌＩ
Ｋ平Ｗ）がその検査対象となりそお）、通常の工作物の
ようにＩＪＩｅｉ以上Ｏ表面粗さを有する％０の検査は
１１１ｍであつえ・さらに前述Ｏ第１および第８の方法
０場合、正反射光を受光す為丸めに光軸の許容範囲が狭
く条件設定が困難と＊Ｄ、第３の方法の場合散乱光を効
率的に集光する九めＯ受光系の構造が複雑になる欠点を
有し、各従来方法とも検査面が曲面の場合には不適合で
あり九。
本発明唸上記問題に＠み、通常の工作物０表両欠陥を検
出する方法を提唱せんとするもので、加工筋目等の特定
方向に表面粗さの規則性を有する面の反射光の空間分布
形状を利用して、正常部分からの正反射成分を受光しな
いように光源、受光素子な・どＱ光゛学系を配置し、拡
散反射成分を受光するよみｉ成することで正常部におけ
る反射光量の炭化を小さくしたものである・ −すなわち、第１図に示すように一方向の筋Ｉ（雪）方
向（Ｘ）を有する被検査工作物（１）の爾に対しくａ）
に示すように！直にスポット光（Ｌ）を照射した正反射
成分の拡が〉（へ）は筋目（２）と直交す為方向に長い
略楕円形状を呈する＠ｔた（・）Ｋ示すように筋！ （
ｊｍ）の方向（Ｘ）と直角にスポット先山）を斜向投光
し九正反射成分の拡がｊｊ （Ｄｓ）はｖｊＷＡ（２）
と直交する方向に長い略楕円形状七ｊｋ−ｊ為畳性を持
つ丸め、（４）の正反射成分の拡がりＣＤｓ＞を受光す
ることで、正常部での反射−光の変化を小さくすること
がで龜る〇 また、欠陥部は不定形で正常部の規則性と具象る丸め、
欠陥部か６ｏ反射光量レベルはあ★〉変わらない・した
がうて、その結果、欠陥部によみ反射光量レベルの炭化
（ｎ）と正常部での反射光量のレベルの変化０１） Ｗ
ＣＸ ｈ ＢＩＨｋ、ｆｉ大１ｋ ＜ ｔｋ ）、欠陥
検出能力が向止す為ことで欠陥検出がｌ１１１１になる
という効果を奏する・ つぎに、本発ｒｌＡＯ１ｌｉ！両欠陥Ｏ検査方法の一実
施例を第８図にし九がりて説明す為拳ζＯ実施例唸加工
筋目（２）を有すゐ千両を検査対象両とす為場合であ〉
、テレビカメラ等の受光素子ＣＢ’）を〒画に一直方向
に配置し九と童、光源（４）からＯ大束（Ｌ）を４ｓ度
斜向上方で、かつ加工筋ＩＩ （りと平行方向から照射
するととで表面粗さによる反射光量の変化（Ｎ）を小さ
くす為ことかで龜ゐ・第３図は加工筋！（１）と直交方
向から光束（′Ｌ）を照射・し斥場合と、面Ｋｆｉ直に
光束（Ｌ）を照射した場合０＠査対象面の表面粗さに対
する反射光量り のレベルＯ変化（Ｎ）を比較するグツ７である・轟該一
定結果によれば、表面粗さ１〜７ＪＩｌｌＩＬｍＸの藺
に対しそ本方法を用いた場合、反射光量ＯＩＩ！ち 化（反射光量の標準偏差／反射光量Ｏ平均）が、０、Ｈ
〜６．０４に対して他の場合では０．０７〜０．１＠
Ｋ 謙”、１ゝ 反射光量の変化が４分のＩ Ｋ ’＆ ３１ 、それだ
け欠陥部の検出が行なわれ易いことを意味してい１脅ｊ
ｌ１４１１は欠陥部（！Ｓ）を有する同一ナツツｋ（１
）を正反射による方法（１）と節回方向の拡散反射によ
ゐ方法（１）および本発明の筋目と直交方向Ｏ拡散反射
による方法（１）−よって検査し、−″ストダツム（４
）によってその反射光量の炭化を針側しえもＯである・
これによれば４ｋＩ＋！ス）グラム（４）のうち、ＣＩ
）および（１）の％のは正常部での反射光量の変化が大
きいが、（１）０場舎はそのＩＬれがはとんど見られず
、欠陥部（ｓ）の検出が非常に容易となることが解る・ を九、上記実施例で＃ｉ加工筋回（幻に対し平行方向に
なるように光束（Ｌ）を４Ｉｍ！斜内方向上方から照射
し、受光素子（８）を加工筋ＩＩ （り爾と一直方向で
受光してい為が、前述し九ように正常面からの正反射成
分を外し、拡散反射成分を受光するよ５に光軸を設定す
れば同様の効果が得られ為ものであるから光軸は多（Ｏ
廁自度をもりて設定することがで自重・膳ましく縮設光
軸もしく線受光軸のどちらか一方を加工筋ＩＣ幻と平行
か±４８１以内に設定するとよい・ つ「・ＩＣｊ１５Ｅａ被検査物がリング状の形状を有す
石場舎の実施例を示すもので、（畠）は千両、（４）は
傾斜量−（・）は曲面を有する鳩舎で表わす９被検査物
の一部を接線方向（加工筋一方向）Ｋ照射し、被検査物
を回転（矢印Ｙ）させることで馬面を検査するヒとがで
きる。また、第６Ｅ杜このよう＆１ンダ状被検査物の鳩
舎の他の実施例を示すものであるが、被検査物の一部を
接線方向（ＪＩｌ工筋１方向）に照射できる光源（４）
を周上７に多数個配設することで、本方法を実施するこ
とが可能とな為・ 以上説明したように本発明表面欠陥検査方法によれば、
通常の加工面の表面＠１（Ｌ−以上）を有する爾Ｏ表面
欠陥を゛、その表面粗さに影＊＊れるととなく検出する
ことができるように＆為とともＫ１１ｌＪ定すゐためＯ
光軸を多様に選ぶことができる丸め、光軸設電が容易に
＊、ｉものであ為・宜た、本発明状拡散反射成分を受光
すゐものであるため特に曲面および傾斜面を有す１対象
物の検査にきわめて有用である等０４Ｉ黴を有する％の
′ｃある・
出する方法を提唱せんとするもので、加工筋目等の特定
方向に表面粗さの規則性を有する面の反射光の空間分布
形状を利用して、正常部分からの正反射成分を受光しな
いように光源、受光素子な・どＱ光゛学系を配置し、拡
散反射成分を受光するよみｉ成することで正常部におけ
る反射光量の炭化を小さくしたものである・ −すなわち、第１図に示すように一方向の筋Ｉ（雪）方
向（Ｘ）を有する被検査工作物（１）の爾に対しくａ）
に示すように！直にスポット光（Ｌ）を照射した正反射
成分の拡が〉（へ）は筋目（２）と直交す為方向に長い
略楕円形状を呈する＠ｔた（・）Ｋ示すように筋！ （
ｊｍ）の方向（Ｘ）と直角にスポット先山）を斜向投光
し九正反射成分の拡がｊｊ （Ｄｓ）はｖｊＷＡ（２）
と直交する方向に長い略楕円形状七ｊｋ−ｊ為畳性を持
つ丸め、（４）の正反射成分の拡がりＣＤｓ＞を受光す
ることで、正常部での反射−光の変化を小さくすること
がで龜る〇 また、欠陥部は不定形で正常部の規則性と具象る丸め、
欠陥部か６ｏ反射光量レベルはあ★〉変わらない・した
がうて、その結果、欠陥部によみ反射光量レベルの炭化
（ｎ）と正常部での反射光量のレベルの変化０１） Ｗ
ＣＸ ｈ ＢＩＨｋ、ｆｉ大１ｋ ＜ ｔｋ ）、欠陥
検出能力が向止す為ことで欠陥検出がｌ１１１１になる
という効果を奏する・ つぎに、本発ｒｌＡＯ１ｌｉ！両欠陥Ｏ検査方法の一実
施例を第８図にし九がりて説明す為拳ζＯ実施例唸加工
筋目（２）を有すゐ千両を検査対象両とす為場合であ〉
、テレビカメラ等の受光素子ＣＢ’）を〒画に一直方向
に配置し九と童、光源（４）からＯ大束（Ｌ）を４ｓ度
斜向上方で、かつ加工筋ＩＩ （りと平行方向から照射
するととで表面粗さによる反射光量の変化（Ｎ）を小さ
くす為ことかで龜ゐ・第３図は加工筋！（１）と直交方
向から光束（′Ｌ）を照射・し斥場合と、面Ｋｆｉ直に
光束（Ｌ）を照射した場合０＠査対象面の表面粗さに対
する反射光量り のレベルＯ変化（Ｎ）を比較するグツ７である・轟該一
定結果によれば、表面粗さ１〜７ＪＩｌｌＩＬｍＸの藺
に対しそ本方法を用いた場合、反射光量ＯＩＩ！ち 化（反射光量の標準偏差／反射光量Ｏ平均）が、０、Ｈ
〜６．０４に対して他の場合では０．０７〜０．１＠
Ｋ 謙”、１ゝ 反射光量の変化が４分のＩ Ｋ ’＆ ３１ 、それだ
け欠陥部の検出が行なわれ易いことを意味してい１脅ｊ
ｌ１４１１は欠陥部（！Ｓ）を有する同一ナツツｋ（１
）を正反射による方法（１）と節回方向の拡散反射によ
ゐ方法（１）および本発明の筋目と直交方向Ｏ拡散反射
による方法（１）−よって検査し、−″ストダツム（４
）によってその反射光量の炭化を針側しえもＯである・
これによれば４ｋＩ＋！ス）グラム（４）のうち、ＣＩ
）および（１）の％のは正常部での反射光量の変化が大
きいが、（１）０場舎はそのＩＬれがはとんど見られず
、欠陥部（ｓ）の検出が非常に容易となることが解る・ を九、上記実施例で＃ｉ加工筋回（幻に対し平行方向に
なるように光束（Ｌ）を４Ｉｍ！斜内方向上方から照射
し、受光素子（８）を加工筋ＩＩ （り爾と一直方向で
受光してい為が、前述し九ように正常面からの正反射成
分を外し、拡散反射成分を受光するよ５に光軸を設定す
れば同様の効果が得られ為ものであるから光軸は多（Ｏ
廁自度をもりて設定することがで自重・膳ましく縮設光
軸もしく線受光軸のどちらか一方を加工筋ＩＣ幻と平行
か±４８１以内に設定するとよい・ つ「・ＩＣｊ１５Ｅａ被検査物がリング状の形状を有す
石場舎の実施例を示すもので、（畠）は千両、（４）は
傾斜量−（・）は曲面を有する鳩舎で表わす９被検査物
の一部を接線方向（加工筋一方向）Ｋ照射し、被検査物
を回転（矢印Ｙ）させることで馬面を検査するヒとがで
きる。また、第６Ｅ杜このよう＆１ンダ状被検査物の鳩
舎の他の実施例を示すものであるが、被検査物の一部を
接線方向（ＪＩｌ工筋１方向）に照射できる光源（４）
を周上７に多数個配設することで、本方法を実施するこ
とが可能とな為・ 以上説明したように本発明表面欠陥検査方法によれば、
通常の加工面の表面＠１（Ｌ−以上）を有する爾Ｏ表面
欠陥を゛、その表面粗さに影＊＊れるととなく検出する
ことができるように＆為とともＫ１１ｌＪ定すゐためＯ
光軸を多様に選ぶことができる丸め、光軸設電が容易に
＊、ｉものであ為・宜た、本発明状拡散反射成分を受光
すゐものであるため特に曲面および傾斜面を有す１対象
物の検査にきわめて有用である等０４Ｉ黴を有する％の
′ｃある・
図面は本発明Ｏ実施例を示すもので、第１図（畠）ない
しく・）は本発明の原理を示す説明図、第８図は平面対
象物の検査実施例を示す説−図、第３図は正反射光と拡
散反射光の表面粗畜と光量の変化を示すダッ７、第４図
（Ｉ）ない’Ｌ （１）は検査結果を示す反射光量グッ
ッ（１）とそのにスＦダッ＾（４）、第５図はリング状
被検査物のＩ！聞大欠陥検査方法示す説明図、嬉ａＨは
同他の方法を示す説明図である。 （１）被検査工作物 （２）加工筋目（１）受光素子
（４）光源 （８）欠陥部第１図 （ａＪ （ｂ）（ｃ） 第２図 第５図 ム （Ｃ） ｍコ） 第６図 手続補正書（自発） 昭和胛年３月δ日 特許庁最富島田春御 殿 １、事件の表示 昭和関年 轡許願第ｊｉｏ１４１１Ｊｓ号２、発明の
１称 表面欠陥検査方法 ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、 代 理 人 〒 ＺＯＳ５、補正命令の
日付 ６、 補正によｑ増加する発明の数 ７、補正の対象 （１）明細書第６頁第稔行目に「筋目方向」とあるのを
「筋目と直交方向」に補正します・（２）明細書第６頁
第Ｕ行目に「方法（Ｉ）」とＴｏるＯを「方法（鳳）Ｊ
Ｋ補正します。 （３）明細書落６頁第ロ行目に「筋目と直交方向」とあ
るのを「ｖＪ目方向」Ｋ補正します・（４）明細書第６
頁第１４行目Ｋ「方法（Ｉ）」とあるのを「方法（１）
Ｊ Ｋｌｌ正します◎図°―の補正 （１）添付−面落４図（ＩＸ、）を別紙のごとく補正し
ます・ 以上 第４図 （ａ）
しく・）は本発明の原理を示す説明図、第８図は平面対
象物の検査実施例を示す説−図、第３図は正反射光と拡
散反射光の表面粗畜と光量の変化を示すダッ７、第４図
（Ｉ）ない’Ｌ （１）は検査結果を示す反射光量グッ
ッ（１）とそのにスＦダッ＾（４）、第５図はリング状
被検査物のＩ！聞大欠陥検査方法示す説明図、嬉ａＨは
同他の方法を示す説明図である。 （１）被検査工作物 （２）加工筋目（１）受光素子
（４）光源 （８）欠陥部第１図 （ａＪ （ｂ）（ｃ） 第２図 第５図 ム （Ｃ） ｍコ） 第６図 手続補正書（自発） 昭和胛年３月δ日 特許庁最富島田春御 殿 １、事件の表示 昭和関年 轡許願第ｊｉｏ１４１１Ｊｓ号２、発明の
１称 表面欠陥検査方法 ３、 補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、 代 理 人 〒 ＺＯＳ５、補正命令の
日付 ６、 補正によｑ増加する発明の数 ７、補正の対象 （１）明細書第６頁第稔行目に「筋目方向」とあるのを
「筋目と直交方向」に補正します・（２）明細書第６頁
第Ｕ行目に「方法（Ｉ）」とＴｏるＯを「方法（鳳）Ｊ
Ｋ補正します。 （３）明細書落６頁第ロ行目に「筋目と直交方向」とあ
るのを「ｖＪ目方向」Ｋ補正します・（４）明細書第６
頁第１４行目Ｋ「方法（Ｉ）」とあるのを「方法（１）
Ｊ Ｋｌｌ正します◎図°―の補正 （１）添付−面落４図（ＩＸ、）を別紙のごとく補正し
ます・ 以上 第４図 （ａ）
Claims (1)
- 加工筋目等の規則性を有す１表面粗さを含む検査対象面
に対し、その加工筋目方向と平行な方向に光源から投光
し、該投光の対象面からの拡散光を受光するように構成
した光源、レンズおよび受光素子勢からなる光学系を用
いた線画欠陥検査方法０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20148581A JPS58103647A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 表面欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20148581A JPS58103647A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 表面欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58103647A true JPS58103647A (ja) | 1983-06-20 |
Family
ID=16441839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20148581A Pending JPS58103647A (ja) | 1981-12-16 | 1981-12-16 | 表面欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58103647A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56118646A (en) * | 1980-02-25 | 1981-09-17 | Hitachi Ltd | Flaw inspecting apparatus |
-
1981
- 1981-12-16 JP JP20148581A patent/JPS58103647A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56118646A (en) * | 1980-02-25 | 1981-09-17 | Hitachi Ltd | Flaw inspecting apparatus |
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