JPS58109200U - マイクロ波放電光源用電源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源用電源装置Info
- Publication number
- JPS58109200U JPS58109200U JP671082U JP671082U JPS58109200U JP S58109200 U JPS58109200 U JP S58109200U JP 671082 U JP671082 U JP 671082U JP 671082 U JP671082 U JP 671082U JP S58109200 U JPS58109200 U JP S58109200U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- supply device
- voltage
- discharge light
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はマイクロ波放電光源装置の構成を示す゛縦断面
図、第２図は従来のマイクロ波放電光源の電源装置の回
路図、第３図はこの考案の一実施例を示す回路図、第４
図は遅延制御器の一実施例を示す回路図、第５図はこの
考案の他の実施例を示す回路図、第６図は第２の制御器
の一実施例を示す回路図である。 図において、１はマグネトロン、３はマイクロ波空胴、
６は放電灯、９はメツシュ板、１２は電源装置、１３は
高圧整流回路、１４は高圧リレー駆動回路、１５は電源
リレー駆動回路、１６は遅延制御器、１７は第２の制御
器、ｃｌ、ｃ２゜Ｃ３はコンデンサ、Ｓ２ａは高圧スイ
ッチ、ＴＭはタイマである。なお図中同一符号はそれぞ
れ同一、又は相当部分を示す。
図、第２図は従来のマイクロ波放電光源の電源装置の回
路図、第３図はこの考案の一実施例を示す回路図、第４
図は遅延制御器の一実施例を示す回路図、第５図はこの
考案の他の実施例を示す回路図、第６図は第２の制御器
の一実施例を示す回路図である。 図において、１はマグネトロン、３はマイクロ波空胴、
６は放電灯、９はメツシュ板、１２は電源装置、１３は
高圧整流回路、１４は高圧リレー駆動回路、１５は電源
リレー駆動回路、１６は遅延制御器、１７は第２の制御
器、ｃｌ、ｃ２゜Ｃ３はコンデンサ、Ｓ２ａは高圧スイ
ッチ、ＴＭはタイマである。なお図中同一符号はそれぞ
れ同一、又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）スタート時から所定時間高出力状態を保ち、タイ
マで設定された時間経過後に定常出力状態に移行するよ
うに高圧整流回路の充電コンチン° サの容量を高圧ス
イッチで切換えるように構成されたものにおいて、起動
時に、上記高圧スイッチを閉路したのち所定時間経過後
に上記高圧整流回路に駆動電圧を印加する遅延制御器を
備えたことを特徴とするマイクロ波放電光源用電源装置
。 - （２）高圧整流回路に印加していた駆動電圧を解除した
時点から所定時間の間、上記高圧整流回路への駆動電圧
の再印加を阻止する第２の制御器を備えた実用新案登録
請求の範囲第１項記載のマイ１クロ波放電光漉用電源装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP671082U JPS58109200U (ja) | 1982-01-21 | 1982-01-21 | マイクロ波放電光源用電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP671082U JPS58109200U (ja) | 1982-01-21 | 1982-01-21 | マイクロ波放電光源用電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58109200U true JPS58109200U (ja) | 1983-07-25 |
Family
ID=30019494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP671082U Pending JPS58109200U (ja) | 1982-01-21 | 1982-01-21 | マイクロ波放電光源用電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58109200U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6118640U (ja) * | 1984-07-09 | 1986-02-03 | 株式会社キ−エンス | アンプ分離型光電スイツチ |
-
1982
- 1982-01-21 JP JP671082U patent/JPS58109200U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6118640U (ja) * | 1984-07-09 | 1986-02-03 | 株式会社キ−エンス | アンプ分離型光電スイツチ |
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