JPS58111934U - メタルマスクホルダ - Google Patents

メタルマスクホルダ

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Publication number
JPS58111934U
JPS58111934U JP648482U JP648482U JPS58111934U JP S58111934 U JPS58111934 U JP S58111934U JP 648482 U JP648482 U JP 648482U JP 648482 U JP648482 U JP 648482U JP S58111934 U JPS58111934 U JP S58111934U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal mask
mask holder
pedestal
wafer
holding frame
Prior art date
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Pending
Application number
JP648482U
Other languages
English (en)
Inventor
幸一 藤原
重行 鶴見
善明 竹内
柳川　文彦
天明　二郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Publication of JPS58111934U publication Critical patent/JPS58111934U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のメタルマスクホルダを示す断面図−１第
２図は本考案メタルマスクホルダの一実施例を示す断面
図、第３図は同じくその斜視図、第４図はハンダ材料を
真空蒸着法により幅１００μｍ１長さ４０票、厚さ２０
μｍのパターンでＳｉウェハ上に蒸着した場合における
パターン線幅の分布を従来のものと比較した特性曲線で
ある。 １・・・メタルマスク、２・・・蒸着基板、４・・・メ
タルマスクホルダの押え枠、５・・・メタルマスクホル
ダの受台。 第３図 第４図゛

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. Ｓｉウェハ等の蒸着基板を密着して支持する受台と押え
    枠よりなるメタルマスクホルダにおいて受台の表面をか
    まぼこ状若しくは球面状に僅かの曲率をもたせた凸面に
    形成せしめたことを特徴とするメタルマスクホルダ。
JP648482U 1982-01-22 1982-01-22 メタルマスクホルダ Pending JPS58111934U (ja)

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JP648482U JPS58111934U (ja) 1982-01-22 1982-01-22 メタルマスクホルダ

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Publication Number Publication Date
JPS58111934U true JPS58111934U (ja) 1983-07-30

Family

ID=30019262

Family Applications (1)

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JP648482U Pending JPS58111934U (ja) 1982-01-22 1982-01-22 メタルマスクホルダ

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5089277A (ja) * 1973-12-12 1975-07-17

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5089277A (ja) * 1973-12-12 1975-07-17

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