JPS581151U - 光学的レ−ザ−ラ−マンマイクロプロ−ブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る装置の概念図、第２１図は本装置
の主要要素をブロック表示によって示す斜視図、第３図
は第２図を更に詳しく説明した図、第４図は試料を照射
する装置の一部を拡大し、詳しく水子縦断面図、第５Ａ
図は試料ａ）を概念的に示す図、第５Ｂ図は第５Ａ図の
試料に含まれている成分の一般的なラーマンスペクトル
の図、第５（Ｊｌは周波数νａについて調べられた試料
の全体像を示す図、第５Ｄ図は周波数νｂについて調べ
られた全体像を示す図、第５Ｅ図は周波数νＣについて
調べられた全体像を示す図、第５Ｆ図は周波数νｄにつ
いて調べられた全体像を示す図、第５Ｇ図は周波数νａ
、　　ｂについて調べられた全体像を示す図、第６図は
試料ｂ）を概念的に示す図であり、該試料はＸＹ点にお
いてレーザービームによって局部的に照射される。第６
Ａ図は第６図の試料照射から得られた従来のスペクトル
を示し、第６Ｂ図は第６図の試料照射から得られたマル
チチャンネル像およびスペクトルを示す図である。 １・・・・・・レーザー光源、２・・・・・・試料照射
装置、３・・・・・・顕微鏡、４・・・・・・光移送シ
ステム、５・・・・・・モノクロメータ−１６・・・・
・・光アウトシステム、７・・・・・・電子検出手段、
８・・・・・・入射レーザービーム、９・・・・・・試
料、１０．　３５．　３９．　４３．　５４．　６２・
・・・・・ビーム、１１・・・・・・調節スクリーン、
１２・・・・・・分離プリズム、１３，１５，１６．１
７．２Ｂ。 ３７．３Ｂ、４０，４１，５１，５２，５７゜５８．６
４．６９・・・・・・ミラー、１４・・・・・・投影レ
ンズ、１８・・・・・・反射く−ム、１９・・・・・・
支持体、２０゜２１・・・・・・ローラー、２２・・・
・・・プーリ、２３・・・・・・フランジ、２４．２５
・・・・・・支持部材、２６．２７・・・・・・ネジ：
　２９・・・・・・外側チューブ、３０．３１・・・・
・・レンズ（コンデンサー）、３２・・・・・・フレー
ム、３３・・・・・・レンズ、３４・・・・・・ミラー
、４２・・・・・・コンデンサー、４４，４５，４６，
４７．７０・・・・・・レンズ、４８・・・・・・可動
ミラー、５０・・・・・・移送レンズ、５３・・・・・
・フォーカスレンズ、５５．７２・・・・・・スリット
、５６．６０・・・・・・回折格子、５９・・・・・・
中間スリット、６１・・・・・・スリットおよび移送レ
ンズ、　　　　。 ６３・・・・・・可動レンズ、６５．７３・・・・・・
光電増倍管、６６・・・・・・像増感管、６７・・・・
・・像移送レンズ、６８・・・・・・カメラ、７１・・
・・・・可動ミラー。 −補正　昭５’１８．５ −　　図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第２２頁第９行の「スペクトルを示す図である。 」を［スペクトルを示す図、第７図は試料Ｃ）を雫念的
に示す図であり、レーザー（−ムはｍｎ線に沿って焦点
を合せられ、第７Ａ図は第７図の試料のｍｎ線に沿った
成分の分布状態の強度を示す図である。−」と補正する
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 （１）　　レーザー光源から発せられるレーザー放射線
   で試料を照射するための手段と、該試料の拡大像を供給
   する光学的システムと、前記試料によって再放射される
   光の波長を選択する手段およびその選択された光を検出
   する手段とを備えたレーザーラーマンマイクロプローブ
   において、（ａ）　　下記（１）の各顕微鏡写真像また
   は（１１）のラーマンスペクトルの何れかを得るために
   操作可能な可動光学的要素と、 （ｂ）　　モノチャンネルタイプの選択された光を検出
   する手段、特に光電増倍管と、マルチチャンネルタイプ
   の選択された光を検出する手段、特に像増感手段 とを備えて成ることを特徴とするラーマンマイクロプロ
   ーブ。 記 （１）前記顕微鏡写真像は多原子種の試料となって分布
   した地図を提供するもので、該試料はたとえ分子、結晶
   またはイオンでも、ラーマン、ストークスまたは反スト
   ークススペクトル内に前記原子種の放射特性を分離して
   得られしかも試料のすべての点が同時に照射されるもの
   であり、または、 （１１）前記ラーマンスペクトルは、前記試料の像内。 の非常に小さな、局部的に選ばれた地域にある　　　　
   ′ものである。 （２）　　（ａ）　　パルス状若しくは連続レーザー放
   射線光源と、 （ｂ）　　試料照射状態の数千−ドを、全体的照射が線
   状照射か若し−くは点状照射が可能な光学的装置と、 （Ｃ）　　試料の拡大像を提供し、かつ反射により若し
   くは透過により明るい雰囲気中であっても暗い雰囲気中
   であってもその像を観察するいくつかの可能性を有する
   光学的システムと、 （ｄ）　　選択された光学的要素の配置換えにより、モ
   ノクロメータ−の入口スリットの上に若しくはモノクロ
   メータ−の回折格子の上のどちらかに倣を作り直す光移
   送システムと、 （ｅ）　　中面スリットのレベルに位置された適切な光
   学的システムの媒体を介して光学的に共役している表面
   を有する少なくとも２つの凹面状ホログラフ回折格子を
   備えたモノクロメータ−と、（ｆ）　　選択された光学
   的要素の配置を換えることにより、第２回折格子の表面
   の像か若しくはモノクロメータ−の出口スリットの像の
   どちらかを像増感管の光陰極上に形成する光アウトシス
   テムと、 （ｇ）　　光電増倍管と、像増感管と、′カメラとを備
   えて成り、試料の像か又はそのスペクトルを見ることを
   可能にし、かつその強度曲線を記録することを可能にす
   る電子検出手段 との組み合わせを備えて成る実用新案登録請求の範囲第
   （１）項に記載したラーマンマイクロプローブ。 （３）波長選択手段が、 （ａ）　　特有なラーマン放射線を分離し、（ｂ）　　
   少なくとも１０−１０に等しい除去率で、波長が変わる
   ことなく発散したレーザー放射線を除去するように作動
   する、 実用新案登録請求の範囲第（１）項〜第（２）項のいず
   れかに記載したラーマンマイクロプローブ。 （４）レーザービームによって試料を照射する装置を備
   え、該装置は （ａ）　　レーザー光源から発せられる入射レーザービ
   ームを遮る位置に配置された第１傾斜ミラーと、（ｂ）
   　　第１ミラーによって反射されたレーザービームを遮
   るように位置された第２ミラーであって、この第２ミラ
   ーによって反射されたレーザービームを顕微鏡に導くべ
   く傾斜して設けられると共にその反射ビームを入射ビー
   ムに、対してこれら両傾斜ミラー間の距離と等しい距離
   だけ横方向に移動させる第２ミラーと、 （Ｃ）　　試料の照射を一様にするために、入射レーザ
   ービームと同軸的に配置された、２つのミラーを備えつ
   けるための回転支持体とを備えて成る実用新案登録請求
   の範囲第（１）項〜第（３）項のいづれかに記載したラ
   ーマンマイクロプローブ。