JPS58116122A - 加工装置 - Google Patents
加工装置Info
- Publication number
- JPS58116122A JPS58116122A JP56212851A JP21285181A JPS58116122A JP S58116122 A JPS58116122 A JP S58116122A JP 56212851 A JP56212851 A JP 56212851A JP 21285181 A JP21285181 A JP 21285181A JP S58116122 A JPS58116122 A JP S58116122A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- base
- pace
- wheel
- spindle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は硬脆材料、半導体、金属等をホイールを使用し
て所定の大きさに切断、又はダイシングする装置におい
て、特に駆動機構部及び操作盤を含む電気回路部、流体
回路部で構成された加工装置に関するものである。
て所定の大きさに切断、又はダイシングする装置におい
て、特に駆動機構部及び操作盤を含む電気回路部、流体
回路部で構成された加工装置に関するものである。
すなわち、この分野におけるホイールによる切断、ダイ
シング方法の原理は第１図に示す通り、テーブル１の上
に被加工物２を載置し、テーブル１に対してホイール３
の高さを一定に保ち、ホイール３若しくはテーブル１を
所定の送り速度で移動距離を駆動させる。従ってホイー
ル３の先端のダイヤモンド刃で被加工物２に直線的な切
断溝又は切込み溝を形成する。
シング方法の原理は第１図に示す通り、テーブル１の上
に被加工物２を載置し、テーブル１に対してホイール３
の高さを一定に保ち、ホイール３若しくはテーブル１を
所定の送り速度で移動距離を駆動させる。従ってホイー
ル３の先端のダイヤモンド刃で被加工物２に直線的な切
断溝又は切込み溝を形成する。
従来、この分野における加工装置の構成としては第２図
に示す通り、ベース１１の上に固定台１２が固定されて
いてこの固定台１２の上にはスライドテーブル１３が設
けられ、このスライドテーブル１３には、テーブル１４
が設けられ、被加工物１６を載置している。スライドテ
ーブル１３を送り機構によりモータなどで駆動させるこ
とによって被加工物１６に送りを与え、ホイール１９に
より加工する。この左右送り機構をＸ軸と称している。
に示す通り、ベース１１の上に固定台１２が固定されて
いてこの固定台１２の上にはスライドテーブル１３が設
けられ、このスライドテーブル１３には、テーブル１４
が設けられ、被加工物１６を載置している。スライドテ
ーブル１３を送り機構によりモータなどで駆動させるこ
とによって被加工物１６に送りを与え、ホイール１９に
より加工する。この左右送り機構をＸ軸と称している。
Ｘ軸、後方にはコラム１６が立設されていて、このコラ
ム１６内側にはスピンドルホルダー１７があり、このス
ピンドルホルダー１７にはスピンドル１８が固定されて
いて、その先端にはホイール１９が取付けられている。
ム１６内側にはスピンドルホルダー１７があり、このス
ピンドルホルダー１７にはスピンドル１８が固定されて
いて、その先端にはホイール１９が取付けられている。
スピンドル１８はモータによって駆動される。以上のコ
ラム全体は前後送り機構によりモータなどで前後方向の
駆動を行なう。この前後送り機構をＹ軸と称している。
ラム全体は前後送り機構によりモータなどで前後方向の
駆動を行なう。この前後送り機構をＹ軸と称している。
又、コラム１６内のスピンドルホルダー１７は上下送り
機構によりモータなどで上下方向の駆動を行なう。この
上下送り機構をＺ軸と称している。
機構によりモータなどで上下方向の駆動を行なう。この
上下送り機構をＺ軸と称している。
ベース１１の右側部には操作を行なう操作盤２゜がペー
ス１１上にブラケット２１を介して載置固定されている
と共に、操作盤２ｏに附随する電気配線などもベース１
１上に載置されている。又、ベース１１の左側部には気
体圧力を制御する制御パルプ２３及び圧力検出スイッチ
２４、レギュレータ２２、流量計２６等がペース１１上
に載置されている。
ス１１上にブラケット２１を介して載置固定されている
と共に、操作盤２ｏに附随する電気配線などもベース１
１上に載置されている。又、ベース１１の左側部には気
体圧力を制御する制御パルプ２３及び圧力検出スイッチ
２４、レギュレータ２２、流量計２６等がペース１１上
に載置されている。
しかし、これらの従来の加工装置ではＸ軸、Ｙ軸、２軸
及びスピンドル（主軸）の駆動機構部及び操作回路部、
流体回路部が一体のベース上に載置されている為に、ベ
ース自体が必然的に大きくなり、この為、ベースの加工
をする場合には通常しようとすれば大型の機械が必要と
なったり、又、搬送などの際作業性が悪くなるばかりで
なく、ベースが大きい為に歪等も発生し易７くなり、ベ
ースの加工精度が出しにくいと共に維持しにくいなどの
欠点があった。又装置の機能が附加された場合において
は、ペース上に載置される部品数量が多くなり配置が複
雑又は構造が複雑となって配線、配管の引き廻しが困難
になったりする。その為、組立て及びメンテナンスも難
かしくなり、コストアップとなるなど大きな欠点があっ
た。本発明は上記欠点を解消したもので、第３図に従っ
てその一実施例を説明する。図において、３１はセンタ
ーベースで、このセンターベース３１上にハ固定台３２
が固定され、この固定台３２の上には、左右に駆動する
スライドテーブル３３がある。このスライドテーブルａ
３Ｖ？：、は、テーブル３４が設けられており、このテ
ーブル３４には載置された被加工物３６が取り付けられ
ている。スライドテーブル３３はモータなどによって左
右に駆動される。
及びスピンドル（主軸）の駆動機構部及び操作回路部、
流体回路部が一体のベース上に載置されている為に、ベ
ース自体が必然的に大きくなり、この為、ベースの加工
をする場合には通常しようとすれば大型の機械が必要と
なったり、又、搬送などの際作業性が悪くなるばかりで
なく、ベースが大きい為に歪等も発生し易７くなり、ベ
ースの加工精度が出しにくいと共に維持しにくいなどの
欠点があった。又装置の機能が附加された場合において
は、ペース上に載置される部品数量が多くなり配置が複
雑又は構造が複雑となって配線、配管の引き廻しが困難
になったりする。その為、組立て及びメンテナンスも難
かしくなり、コストアップとなるなど大きな欠点があっ
た。本発明は上記欠点を解消したもので、第３図に従っ
てその一実施例を説明する。図において、３１はセンタ
ーベースで、このセンターベース３１上にハ固定台３２
が固定され、この固定台３２の上には、左右に駆動する
スライドテーブル３３がある。このスライドテーブルａ
３Ｖ？：、は、テーブル３４が設けられており、このテ
ーブル３４には載置された被加工物３６が取り付けられ
ている。スライドテーブル３３はモータなどによって左
右に駆動される。
このテーブル３４の後方にはコラム３６が立設されてい
て、このコラム３６下部には、前後方向に固定レール３
７．３８がセンターベース３１上に固定されている。固
定レール３７．３８を挾持して摺動する摺動部品３９．
４０が取付けられているとともに、該摺動部品３９．４
０はコラム３６に固定され、コラム全体がモータなどに
よって前後送り機構で固定レール３７．３８上を駆動し
て被加工ｖ０３６の所望中の切断割出し、或いは切込み
の割出し又は戻り等の動きとなる。コラム３６内側には
固定ブロックが取付けられていて、スピンドルホルダー
４１は上記固定ブロックを挾むように間隙を設けて加工
されている。上記スピンドルホルダー４１と固定ブロッ
クとの間隙にはスライドベアリングが介されていて上下
方向に上下送り機構でモータなどによって駆動され、被
加工物３６への切断深さ或いは切込み深さ、ホイールの
逃げなどの動きとなる。又、スピンドルホルダー４１に
はスピンドル４２が固定されていて、その先端にはホイ
ール４３が取り付けられている。スピンドル４２は静圧
気体軸受によって軸を浮遊支持しモータによって駆動さ
れる。コラム３６にはブラケット４４が設けられ、この
ブラケット４４には顕微鏡が取付けられている。上記顕
微鏡の鏡筒部４６にはテレビカメラ４６及び照明装置４
７も一体となっていて、これら顕微鏡全体がブラケット
４４に取付けられている。
て、このコラム３６下部には、前後方向に固定レール３
７．３８がセンターベース３１上に固定されている。固
定レール３７．３８を挾持して摺動する摺動部品３９．
４０が取付けられているとともに、該摺動部品３９．４
０はコラム３６に固定され、コラム全体がモータなどに
よって前後送り機構で固定レール３７．３８上を駆動し
て被加工ｖ０３６の所望中の切断割出し、或いは切込み
の割出し又は戻り等の動きとなる。コラム３６内側には
固定ブロックが取付けられていて、スピンドルホルダー
４１は上記固定ブロックを挾むように間隙を設けて加工
されている。上記スピンドルホルダー４１と固定ブロッ
クとの間隙にはスライドベアリングが介されていて上下
方向に上下送り機構でモータなどによって駆動され、被
加工物３６への切断深さ或いは切込み深さ、ホイールの
逃げなどの動きとなる。又、スピンドルホルダー４１に
はスピンドル４２が固定されていて、その先端にはホイ
ール４３が取り付けられている。スピンドル４２は静圧
気体軸受によって軸を浮遊支持しモータによって駆動さ
れる。コラム３６にはブラケット４４が設けられ、この
ブラケット４４には顕微鏡が取付けられている。上記顕
微鏡の鏡筒部４６にはテレビカメラ４６及び照明装置４
７も一体となっていて、これら顕微鏡全体がブラケット
４４に取付けられている。
顕微鏡及びテレビカメラ４６は被加工物３６の切断又は
切込み開始時の位置合わせ、或いは加工した加工物の加
工状態観察、寸法測定等に使用される。ブラケット４４
の下部には、前後動できる駆動機構が設けられ、前後方
向に顕微鏡レンズ４８の位置調整の駆動が行なえる。又
、鏡筒部４５には上下動できる駆動機構が設けられ上下
方向に顕微鏡レンズ４８の焦点の粗調整及び微調整が行
なえる。以上の構成が装置のＸ軸、Ｙ軸、ｚ軸の駆動機
構部及びスピンドルの主軸部、或いは顕微鏡、テレビカ
メラ、照明装置の光学関係部であシ、センターベース３
１上に全て載置されている。次にセンターベース３１の
向かって右側部には右ぺ−スユニット４９にカメラコン
トロールユニット６゜、 が載置されていて、前述の
テレビカメラ４６と電気的に接続されている。更にカメ
ラコントロールユニッ）５０（ｄモニターテレビ６１へ
接続されている。上記モニターテレビ５１を右ペースユ
ニット４９上にブラケットを介して載置されている。
切込み開始時の位置合わせ、或いは加工した加工物の加
工状態観察、寸法測定等に使用される。ブラケット４４
の下部には、前後動できる駆動機構が設けられ、前後方
向に顕微鏡レンズ４８の位置調整の駆動が行なえる。又
、鏡筒部４５には上下動できる駆動機構が設けられ上下
方向に顕微鏡レンズ４８の焦点の粗調整及び微調整が行
なえる。以上の構成が装置のＸ軸、Ｙ軸、ｚ軸の駆動機
構部及びスピンドルの主軸部、或いは顕微鏡、テレビカ
メラ、照明装置の光学関係部であシ、センターベース３
１上に全て載置されている。次にセンターベース３１の
向かって右側部には右ぺ−スユニット４９にカメラコン
トロールユニット６゜、 が載置されていて、前述の
テレビカメラ４６と電気的に接続されている。更にカメ
ラコントロールユニッ）５０（ｄモニターテレビ６１へ
接続されている。上記モニターテレビ５１を右ペースユ
ニット４９上にブラケットを介して載置されている。
モニターテレビ６１は被加工物又は加工物を写し出して
被加工物の切断又は切込み開始時の位置合わせをする時
、あるいは加工した加工物の加工状態観察、寸法測定に
用いられる。又、前述の鏡筒部４６に一体となっている
照明装置４７は右ペースユニット４９に載置されている
電源６２に接続されている。さらに右ベースユニット４
９上には電気配線の接続部６３及びコンセント６４等も
載置されている。６６は操作盤であり、被加工物の切断
位置の位置決め、あるいは切込み位置の位置決め更には
深さの位置決め、加工様式、ホイールの逃げ量などを入
力するものであり、入力された数値などはモニターテレ
ビ６１画面上へ写し出されモニターされる。操作盤６６
もブラケットを介して右ベースユニット４９上に載置さ
れている。
被加工物の切断又は切込み開始時の位置合わせをする時
、あるいは加工した加工物の加工状態観察、寸法測定に
用いられる。又、前述の鏡筒部４６に一体となっている
照明装置４７は右ペースユニット４９に載置されている
電源６２に接続されている。さらに右ベースユニット４
９上には電気配線の接続部６３及びコンセント６４等も
載置されている。６６は操作盤であり、被加工物の切断
位置の位置決め、あるいは切込み位置の位置決め更には
深さの位置決め、加工様式、ホイールの逃げ量などを入
力するものであり、入力された数値などはモニターテレ
ビ６１画面上へ写し出されモニターされる。操作盤６６
もブラケットを介して右ベースユニット４９上に載置さ
れている。
以上が操作盤を含む電気回路部の構成であり、全て右ベ
ースユニット４９上に載置されている。次にセンターペ
ース３１の向かって左側部には流体回路部が載置されて
いて、気体回路部及び液体回路部の部品によって構成さ
れている。テーブル３４上の被加工物３６をチャックす
る為に真空発生装置６６が左ペースユニット６７に載置
されている。
ースユニット４９上に載置されている。次にセンターペ
ース３１の向かって左側部には流体回路部が載置されて
いて、気体回路部及び液体回路部の部品によって構成さ
れている。テーブル３４上の被加工物３６をチャックす
る為に真空発生装置６６が左ペースユニット６７に載置
されている。
これは圧力気体をマニホールド６８を通過させ分岐し、
更に制御バルブ５９を通して真空発生装置５６内を通過
させることによって真空を発生させ、被加工物３６を真
空チャックするものである。真空発生装置６６には圧力
検出スイッチ６ｏを具備させ圧力気体の圧力を検出して
いる。
更に制御バルブ５９を通して真空発生装置５６内を通過
させることによって真空を発生させ、被加工物３６を真
空チャックするものである。真空発生装置６６には圧力
検出スイッチ６ｏを具備させ圧力気体の圧力を検出して
いる。
又、圧力気体とは別にマニホールド６８を通過した圧力
気体は清浄器６１を更に通過して静圧気体軸受のスピン
ドル４２に供給される。これにも圧力検出スイッチ６２
を具備させ圧力気体の圧力を検出している。以上の構成
が気体回路部である。
気体は清浄器６１を更に通過して静圧気体軸受のスピン
ドル４２に供給される。これにも圧力検出スイッチ６２
を具備させ圧力気体の圧力を検出している。以上の構成
が気体回路部である。
液体はマニホールド６８内の圧力気体とは別回路を通り
更に制御バルブ６３を通過し、流量計（図示せず）を通
って加工中の加工点へ供給される。
更に制御バルブ６３を通過し、流量計（図示せず）を通
って加工中の加工点へ供給される。
以上の構成が液体回路部であり、これら流体回路部及び
これに附随する配管も左ペースユニット６７上に全て載
置される。
これに附随する配管も左ペースユニット６７上に全て載
置される。
以上本発明のようにセンターペースにはＸ軸。
Ｙ軸、２軸及び主軸の機構部品を載置し、右ペースユニ
ットには操作盤を含む電気回路部を載置させ、左ベース
ユニットには流体回路部を載置させる構造の装置である
為、ユニット毎の組立て及び配線、配管が可能となって
、組立て、メンテナンスが容易となる。又、ユニット毎
であるので並行に作業を進めることができ、ユニット毎
に組立てた後、配線、配管のジヨイントをするだけで装
置として機能操作が可能になる。このことによって作業
時間が大巾に短縮できコストダウンが図れる。
ットには操作盤を含む電気回路部を載置させ、左ベース
ユニットには流体回路部を載置させる構造の装置である
為、ユニット毎の組立て及び配線、配管が可能となって
、組立て、メンテナンスが容易となる。又、ユニット毎
であるので並行に作業を進めることができ、ユニット毎
に組立てた後、配線、配管のジヨイントをするだけで装
置として機能操作が可能になる。このことによって作業
時間が大巾に短縮できコストダウンが図れる。
又、加工精度の必要なペースがセンターペースだけとな
り、小さくなるので、センターペースのみ要なく、又、
搬送などの作業性も向上する。さらにはユニット毎の組
立てにする為に装置全体をコンパクトにまとめることが
できるなど利点がある。
り、小さくなるので、センターペースのみ要なく、又、
搬送などの作業性も向上する。さらにはユニット毎の組
立てにする為に装置全体をコンパクトにまとめることが
できるなど利点がある。
第１図はホイールによる切断、ダイシングの岐雀を示す
概略説明図、第２図は従来の組立法を示す加工装置の全
体斜視図、第３図は本発明の組立方法による加工装置の
全体斜視図である。 １９ 、４３−−−−・・ホイール、３６・・・・・・
コラム。 １５ 、３５−−−−−−被加工物、２０ 、５５−−
−−−−挿作盤。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 ６
概略説明図、第２図は従来の組立法を示す加工装置の全
体斜視図、第３図は本発明の組立方法による加工装置の
全体斜視図である。 １９ 、４３−−−−・・ホイール、３６・・・・・・
コラム。 １５ 、３５−−−−−−被加工物、２０ 、５５−−
−−−−挿作盤。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 ６
Claims (1)
- 回転可能でかつ被加工物を切断するよう設けられたホイ
ールおよび被加工物を固定支持し、かつ平面的に摺動可
能なテーブルを有したセンターベースと、このセンター
ベースに荷重がかからないよう、かつスペースを小さく
するよう前記ホイールあるいはテーブルの駆動機構部あ
るいはこの駆動 −機構部と関連した装置を備え、セン
ターベースと別体に設けられたベースユニットとからな
る加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56212851A JPS58116122A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56212851A JPS58116122A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58116122A true JPS58116122A (ja) | 1983-07-11 |
Family
ID=16629366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56212851A Pending JPS58116122A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58116122A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60145006U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-26 | 株式会社 東京精密 | ダイシングマシン |
| JPS63179705A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | 松下電器産業株式会社 | 研削盤 |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP56212851A patent/JPS58116122A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60145006U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-26 | 株式会社 東京精密 | ダイシングマシン |
| JPS63179705A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | 松下電器産業株式会社 | 研削盤 |
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