JPS58130439A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS58130439A JPS58130439A JP57012735A JP1273582A JPS58130439A JP S58130439 A JPS58130439 A JP S58130439A JP 57012735 A JP57012735 A JP 57012735A JP 1273582 A JP1273582 A JP 1273582A JP S58130439 A JPS58130439 A JP S58130439A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- recording medium
- film
- magnetic recording
- aluminum nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はコバルトクロミウム薄膜磁気記録媒体表面に対
し垂直に配向した窒化アルミニウム薄膜を形成した磁気
記録媒体に関する。
し垂直に配向した窒化アルミニウム薄膜を形成した磁気
記録媒体に関する。
近年ＶＴＲの発表及びコンピューターの大衆化に伴ない
磁気記録テープ、磁気記録ディスクの高１− 密度化が急速に進展している。中でも最も注目されてい
るのは垂直磁化記録と呼ばれる磁気記録方式である。垂
直磁化方式に用いられる記録媒体は第１図に示す如（Ｐ
ＥＴ等のフレキシブルあるいはアルミニウム等のリジッ
ドな基板１上にパーマロイ膜２を約５００ＯＡの厚みに
形成（更にその上にクロミウムを２０アトミツクパーセ
ント含有したコバルトクロミウム合金膜３が形成されて
いる。股上部に形成されているコバルトクロミウム合金
膜３は基板１に対して垂直に磁化しやすい特性を有して
いる。この新しい記録媒体への記録再生は新しい構造の
磁気ヘッドが用いられる。その概要を第２図に示す。コ
バルトクロミウム合金記録媒体４の上部に主磁極５と称
するタンザク状パターンのパーマロイ膜が構成され、そ
の反対側には補助磁極６と称する棒状のフェライトにコ
イルを巻きつけた磁極が配置される。この構造の磁気ヘ
ッドによりコバルトクロミウム合金記録媒体への記録再
生が行なわれる。
磁気記録テープ、磁気記録ディスクの高１− 密度化が急速に進展している。中でも最も注目されてい
るのは垂直磁化記録と呼ばれる磁気記録方式である。垂
直磁化方式に用いられる記録媒体は第１図に示す如（Ｐ
ＥＴ等のフレキシブルあるいはアルミニウム等のリジッ
ドな基板１上にパーマロイ膜２を約５００ＯＡの厚みに
形成（更にその上にクロミウムを２０アトミツクパーセ
ント含有したコバルトクロミウム合金膜３が形成されて
いる。股上部に形成されているコバルトクロミウム合金
膜３は基板１に対して垂直に磁化しやすい特性を有して
いる。この新しい記録媒体への記録再生は新しい構造の
磁気ヘッドが用いられる。その概要を第２図に示す。コ
バルトクロミウム合金記録媒体４の上部に主磁極５と称
するタンザク状パターンのパーマロイ膜が構成され、そ
の反対側には補助磁極６と称する棒状のフェライトにコ
イルを巻きつけた磁極が配置される。この構造の磁気ヘ
ッドによりコバルトクロミウム合金記録媒体への記録再
生が行なわれる。
コバルトクロミウム合金はその結晶構造は六方最密構造
であシ、それを０６０１ Ｔｏｒｒ程度のアルゴ２− ン圧力でスパッタ法によシ薄膜を形成すると基板面に対
し垂直に立った円柱状の構造となり、垂直磁気異方性が
生じる。その様子を第３図に示す。
であシ、それを０６０１ Ｔｏｒｒ程度のアルゴ２− ン圧力でスパッタ法によシ薄膜を形成すると基板面に対
し垂直に立った円柱状の構造となり、垂直磁気異方性が
生じる。その様子を第３図に示す。
Ｃ軸方向に長い円柱状微結晶７が基板８上に立っている
。このα軸が基板の垂直方向に沿っているほど磁気異方
性が高く記録も容易で再生出力も高い。この垂直方向か
らのずれはＸ線回折によシ測定することができロッキン
グカーブと称され△θ、０なる特性で呼ばれている。即
ち第４図に示す如きロッキングカーブで通常コバルトク
ロミウム薄膜は△θ５ｏは５度以下となる。即ち円柱状
微結晶のほとんどがそのα軸の基板垂直方向からの傾き
が５度以内に揃っていることになる。通常ＰＥＴ基板も
しくはアルミニウム基板上にスパッタ法で形成したコバ
ルトクロミウム合金薄膜の場合には△θ５゜は３度以下
になる。
。このα軸が基板の垂直方向に沿っているほど磁気異方
性が高く記録も容易で再生出力も高い。この垂直方向か
らのずれはＸ線回折によシ測定することができロッキン
グカーブと称され△θ、０なる特性で呼ばれている。即
ち第４図に示す如きロッキングカーブで通常コバルトク
ロミウム薄膜は△θ５ｏは５度以下となる。即ち円柱状
微結晶のほとんどがそのα軸の基板垂直方向からの傾き
が５度以内に揃っていることになる。通常ＰＥＴ基板も
しくはアルミニウム基板上にスパッタ法で形成したコバ
ルトクロミウム合金薄膜の場合には△θ５゜は３度以下
になる。
通常は更にコバルトクロミウム合金薄膜の下に抗磁力の
小なる磁性膜、例えばパーマロイ等の薄膜を形成して高
密度記録を可能とし、低ノイズ高再生出力を実現してい
る。従って通常例えばＰＥ３− Ｔ等のフレキシブルな基板の上にパーマロイ、コバルト
クロミウム合金の薄膜が約５０００オングストロームづ
つ形成された形となっておシ、記録媒体の表面は金属表
面がむき出しのままと外っている。この様な構造となっ
ている為に従来のＹＦｅ２０３を用いた磁気記録媒体の
表面とは全く異なった現象を示す。特に表面を記録再生
ヘッドが摺動していった場合に従来の磁気記録媒体よシ
も傷がつき易く、長期信頼性に不安がある。本発明はこ
の欠点を除去し信頼性の高い高密度磁気記録媒体を完成
したものである。
小なる磁性膜、例えばパーマロイ等の薄膜を形成して高
密度記録を可能とし、低ノイズ高再生出力を実現してい
る。従って通常例えばＰＥ３− Ｔ等のフレキシブルな基板の上にパーマロイ、コバルト
クロミウム合金の薄膜が約５０００オングストロームづ
つ形成された形となっておシ、記録媒体の表面は金属表
面がむき出しのままと外っている。この様な構造となっ
ている為に従来のＹＦｅ２０３を用いた磁気記録媒体の
表面とは全く異なった現象を示す。特に表面を記録再生
ヘッドが摺動していった場合に従来の磁気記録媒体よシ
も傷がつき易く、長期信頼性に不安がある。本発明はこ
の欠点を除去し信頼性の高い高密度磁気記録媒体を完成
したものである。
以下に図について本発明を説明する。
第５図は本発明の詳細な説明する図である。基板１の上
に小抗磁力磁性膜なるパーマロイ膜２及び垂磁化記録膜
なるコバルトクロミウム合金膜３が形成されていること
は従来の基本構造と同一であるが、本発明では更にその
上に耐摩耗層として窒化アルミニウム薄膜９を形成し、
信頼性を飛躍的に向上せしめた。即ち窒化アルミニウム
ＡＡＮの薄膜を１０００オングストローム程度付着せし
め４− るだけで同一メラック上１００万パルス以上の信頼性を
確保することができた。基板１はアルミニウムの様なリ
ジッドの場合でもＰＥＴやポリイミドの様なフレキシブ
ルの場合でも同様に窒化アルミニウム薄膜形成の効果が
あった。記録媒体の両側には主磁極５と補助磁極６がチ
タパリ等の材質のスライダー１０によシ固定されて記録
媒体との摺動を滑らかなものとする構成となっている。
に小抗磁力磁性膜なるパーマロイ膜２及び垂磁化記録膜
なるコバルトクロミウム合金膜３が形成されていること
は従来の基本構造と同一であるが、本発明では更にその
上に耐摩耗層として窒化アルミニウム薄膜９を形成し、
信頼性を飛躍的に向上せしめた。即ち窒化アルミニウム
ＡＡＮの薄膜を１０００オングストローム程度付着せし
め４− るだけで同一メラック上１００万パルス以上の信頼性を
確保することができた。基板１はアルミニウムの様なリ
ジッドの場合でもＰＥＴやポリイミドの様なフレキシブ
ルの場合でも同様に窒化アルミニウム薄膜形成の効果が
あった。記録媒体の両側には主磁極５と補助磁極６がチ
タパリ等の材質のスライダー１０によシ固定されて記録
媒体との摺動を滑らかなものとする構成となっている。
♀化アルミニウムＡＡＮ９の厚みは厚くする程信頼性は
向上するが、厚くな）すぎると垂直磁化記録膜２と主磁
極５の先端との距離が遠くなシ、再生信号出力が小さく
なυ、ノイズが多くなる等のトラブルが発生するので窒
化アルミニウムＡＡＮの厚みは垂直磁化記録膜２とヘッ
ドの特性を考慮して決定される。第５図においてヘッド
は主磁極５、補助磁極６が相対する構成の基本タイプに
ついて記したが本発明の効果はこの基本タイプを改良し
た種類のものや従来のリングタイプに対しても同様な効
果を示すことはいうまでもない。
向上するが、厚くな）すぎると垂直磁化記録膜２と主磁
極５の先端との距離が遠くなシ、再生信号出力が小さく
なυ、ノイズが多くなる等のトラブルが発生するので窒
化アルミニウムＡＡＮの厚みは垂直磁化記録膜２とヘッ
ドの特性を考慮して決定される。第５図においてヘッド
は主磁極５、補助磁極６が相対する構成の基本タイプに
ついて記したが本発明の効果はこの基本タイプを改良し
た種類のものや従来のリングタイプに対しても同様な効
果を示すことはいうまでもない。
窒化アルミニウムＡ７Ｎはその結晶構造は先に５−
第３図、第４図で示したコバルトクロミウム薄膜の結晶
構造と全く同じｈｃｐ構造であシ、シかもα軸の原子間
距離はコバルトクロミウム薄膜が２６５２オングストロ
ームであるのに対し窒化アルミニウム薄膜のそれは３．
１１と非常に近い、従って窒化アルミニウム薄膜形成の
条件を制御することによりコバルトクロミウム膜の上に
エピタキシャル成長させることが可能である。即ち窒化
アルミニウム薄膜がコバルトクロミウム薄膜表面に対し
て垂直に配向する。その時の△θｌ、ｏはコバルトクロ
ミウム薄膜のそれと同様の値をとる。この様な配向性の
ある窒化アルミニウムＡＡＮ薄膜を形成することによ）
耐摩耗性は良くなシ、配向性のない場合の倍以上の信頼
性を確保することができた。とれらの空化アルミニウム
Ａ７１３Ｎの形成はイオンブレーティング、マグネ・ト
ロンスパッタ等で行なわれるが、配向性の良い膜はマグ
ネトロンスパッタによシ得られた、記録媒体において小
抗磁力磁性体膜はパーマロイ以外の材質でも本発明の効
果は変らず、全く小抗磁力磁性薄膜のない場合において
６一 も同様である。以下に実施例について本発明を説明する
。
構造と全く同じｈｃｐ構造であシ、シかもα軸の原子間
距離はコバルトクロミウム薄膜が２６５２オングストロ
ームであるのに対し窒化アルミニウム薄膜のそれは３．
１１と非常に近い、従って窒化アルミニウム薄膜形成の
条件を制御することによりコバルトクロミウム膜の上に
エピタキシャル成長させることが可能である。即ち窒化
アルミニウム薄膜がコバルトクロミウム薄膜表面に対し
て垂直に配向する。その時の△θｌ、ｏはコバルトクロ
ミウム薄膜のそれと同様の値をとる。この様な配向性の
ある窒化アルミニウムＡＡＮ薄膜を形成することによ）
耐摩耗性は良くなシ、配向性のない場合の倍以上の信頼
性を確保することができた。とれらの空化アルミニウム
Ａ７１３Ｎの形成はイオンブレーティング、マグネ・ト
ロンスパッタ等で行なわれるが、配向性の良い膜はマグ
ネトロンスパッタによシ得られた、記録媒体において小
抗磁力磁性体膜はパーマロイ以外の材質でも本発明の効
果は変らず、全く小抗磁力磁性薄膜のない場合において
６一 も同様である。以下に実施例について本発明を説明する
。
実施例１
５０ミクロン厚のＰＦｉＴ基板上にパーマロイ膜５００
０オングストローム、コバルトクロミウム合金ＭＩＩｉ
５０００オングストロームを形成し、更にアルミニウム
ターゲットの下に永久磁石を配したマグネトロンスパッ
タによシ、アルゴン分圧５Ｘ Ｉｒｌ−３ＴＯｒｒ、窒
素分圧５ Ｘ １（１−”Ｔｏｒｒによシ窒化アルミニ
ウム薄膜を５００オングストローム形成シた。窒化アル
ミニウムの△θ５ｏば４度であった。この記録媒体でヘ
ッドを装着したところ通常１（１万パス位で信号出力が
低下するところを２００万パスを越えても信号出力の低
下は認められなかった。
０オングストローム、コバルトクロミウム合金ＭＩＩｉ
５０００オングストロームを形成し、更にアルミニウム
ターゲットの下に永久磁石を配したマグネトロンスパッ
タによシ、アルゴン分圧５Ｘ Ｉｒｌ−３ＴＯｒｒ、窒
素分圧５ Ｘ １（１−”Ｔｏｒｒによシ窒化アルミニ
ウム薄膜を５００オングストローム形成シた。窒化アル
ミニウムの△θ５ｏば４度であった。この記録媒体でヘ
ッドを装着したところ通常１（１万パス位で信号出力が
低下するところを２００万パスを越えても信号出力の低
下は認められなかった。
第１図は従来の垂直磁化記録媒体を説明する図である。
第２図は主磁極と補助磁極を有する磁気ヘッドを説明す
る図である。第３図はコバルトクロミウム合金薄膜の結
晶構造を説明する図である。 ７− 第４図はロッキングカーブを説明する図である。 第５図は本発明を説明する図である。 １・・Ｍ板 ２・・パーマロイ膜３・・垂直磁
化膜 ４・・磁気記録媒体５・・主磁極 ６・
・補助磁極 ７・・円柱状微結晶 ８・・基板 ９・・窒化アルミニウム薄膜 Ｈｌ・・スライダー 以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎 ８− 寥１唱 茶２１ 寥 ｌ
る図である。第３図はコバルトクロミウム合金薄膜の結
晶構造を説明する図である。 ７− 第４図はロッキングカーブを説明する図である。 第５図は本発明を説明する図である。 １・・Ｍ板 ２・・パーマロイ膜３・・垂直磁
化膜 ４・・磁気記録媒体５・・主磁極 ６・
・補助磁極 ７・・円柱状微結晶 ８・・基板 ９・・窒化アルミニウム薄膜 Ｈｌ・・スライダー 以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎 ８− 寥１唱 茶２１ 寥 ｌ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【１）コバルトとクロミウムの合金を主体成分とする薄
膜磁気記録媒体において該コバルトクロミウム薄膜の表
面に窒化アルミニウム薄膜を形成したことを特徴とする
磁気記録媒体。 （２）窒化アルミニウム薄膜の結晶の（軸方向がコバル
トクロミウム合金薄膜表面に対し垂直に配向しているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57012735A JPS58130439A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57012735A JPS58130439A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58130439A true JPS58130439A (ja) | 1983-08-03 |
Family
ID=11813686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57012735A Pending JPS58130439A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58130439A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4729924A (en) * | 1984-12-21 | 1988-03-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metallic thin film magnetic recording medium having a hard protective layer |
| US4803130A (en) * | 1984-12-21 | 1989-02-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Reactive sputtering process for recording media |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP57012735A patent/JPS58130439A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4729924A (en) * | 1984-12-21 | 1988-03-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Metallic thin film magnetic recording medium having a hard protective layer |
| US4803130A (en) * | 1984-12-21 | 1989-02-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Reactive sputtering process for recording media |
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