JPS58141504A - 薄膜白金温度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は薄膜白金１Ｍ度センサに関する。

、橘密温度センサとして、従来より白金線全碍子等に巻
線しｆｃ白金測温抵抗体か使用さ■てきたが、かかる日
金側編抵抗体ｑま梢密である反面、その横曲上、 ■　形状が大きい ■　振−１誼撃で１波イロしやすく、使用に多大の注意
を払う妃・要があり、°また倣動や傭ｆ撃の引わる個所
に使用できないため、用＊　’ｆｃ　＋ｍ定かあ／）６
■　抵抗値が低いため、一度莢化による腿−が小さく、
１６号増嶋の処理寺が必要ＶＣなるなど多くの欠陥を有
していた。

この欠点を／ｊ（Ｌ、たものが、ｊｌｌ老若くは薄膜の
白金音用いた温度センサである。しかし厚膜白金温度セ
ンサは１換厚の＋ｌ１ｉＩ−がしにくい、ガラスフリッ
ト等地材料と白金の混合の比率ひよび混合の均′ｊ！Ｌ
性の、ｂｌ」御がイ眩しいなどの連山により、稍督匣に
欠けていた。

一方、＃換白金編度センサは ■　形状を小さくすることができる ■　儀励や１耐撃に、１１久１生がある■　抵抗■が旨
く、温度開化による変りが大きく、信号処橿しやすい などの浸析をゼし、号後とも、＃候臼金渇反センサが多
く使用さ打ていくことが予想さａる。この場合、薄・暎
白金編度センサは＝６を品体の白金が安定な金属である
から、使用１固所も酸性算−（などＩｔ食性雰囲気の場
合が多い。

このため、温度センサ全体が胸食性雰囲気にｔｌｌ＃見
られるものでなけｎばならず、このＪ！ｕ山からリード
線は１計良注のある白金線を使用し′Ｃいた。しかし一
定の強度が必要なため、所要の緘伜〃Ｓなければならず
、また長さも必要であるため、白金便用型ｖＬ無視でき
なくなり、編１ｉセンサのＡ造１爪イ曲のかなりの部分
を占めるものになり、ひいては、調度センサの価格を高
くしていた。

本元明はリード線分白金線上のものを使用しないｒｌｋ
Ａ’！センサを安１曲ＶＣ得ることを目的とし、半金ノ
萬瀬に白金全ａ階した構造のリード線を使用し−Ｃその
目的を連成したものであり、これにより、中　形状か小
さい ■　倣動、−Ｉ撃ＶＣ、ｌφを人性ありＱ）抵抗Ｉｌｌ
！高く、編Ｊｆ変化による変瀘が大きく、１ｄ号４坤か
しヤすい ■　Ｉ１良１生奔囲戴で使用８ＪＩ指 ■　価格か安い という薄膜白金の特信全ｆ分に／古川できる編（センサ
を得るに至ったのでめる。

以Ｆ木死明の一実施例會図面に基づいて説明すめ。第１
図、第２図において、５Ｘ１０Ｘ０．６玉のアルミナ！
　＊　（１）ｌ　７Ｃ臼金薄映に□よる抵抗体（２）を
作成し、抵抗体１２）　（１）　＋＋Ｉｎ　Ｊ　ｉｃリ
ード線（３）を接１１ψし、７　ｔＶミナ基板（１）お
よび低抗体（２＋　ｔｌ″横９ように床置換（４）をエ
ポキシｔＭにより作成する。

リード、６　＋ａ）　ｖｉ＋ｆ径８ＵμｒｎのニッケＶ
　襟全、トいオ（ｉ］）とし、その上′Ｉｃ厚さ１０μ
Ｉｎの白金＄　＋６）をｔＪＪ漬してｒｔ”られ、４１
　ｔ＋はＩＬＩＩＩμｍ（Ｌｌ、１＃）である。

アルミナ基板（１）の寸法はこのほかでもＩＩＪ　＋ｔ
＋：である。材Ｉはアルミナ基板、フオＭステライト、
ベリリア等も可能でｊｂる。

芯材（５）はニッケルのほか、銅、鉄等の金属のほか、
数種の金属よりなる合金等でもよく、白金暎（６）の４
今は２μｍμｍ以上１０川 る。

以上＄発明によれば、次の如き利点を有する。

■　１針食性、傾度は従来の白金線と同様のリード線を
仔する薄ｊ俟白金湿度センサを作ることができる。

■　抵抗体とリード機の接続には扉陪を用いるのが一方
法であるが、浴接未件が従来の白金線と同様のリード線
を有する博１所白金ｔＭ度センサを作ることかできる。

■　リード葆材が安価であるため、安価な薄膜白金ｔＭ
　ｑセンサを作ることができる。

【図面の簡単な説明】

＃ｆ，１図は本命用の一部切欠き斜視図、第２図はリー
ド顧の断Ｉ１１］図である。 （３）・・・リード機、（６）・・・芯材、（６）・・
・白金膜代理人　　　株　　本　　表　　弘 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、　重金ノ属線に白金を枝振した１蒋造のり一ド癲を
   有する薄膜白金１１１！度センサ。