JPS58142779A - セラミツクヒ−タ− - Google Patents
セラミツクヒ−タ−Info
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- JPS58142779A JPS58142779A JP2402582A JP2402582A JPS58142779A JP S58142779 A JPS58142779 A JP S58142779A JP 2402582 A JP2402582 A JP 2402582A JP 2402582 A JP2402582 A JP 2402582A JP S58142779 A JPS58142779 A JP S58142779A
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- ceramic heater
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Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は耐熱体と発熱体が一体に形成されたセラミック
ヒーターに関する。
ヒーターに関する。
セラミックヒータ−は自動車用気化器、家庭屯ともない
％注の向上金め形した改善も進んできている。
％注の向上金め形した改善も進んできている。
従来、耐熱材と発熱体が一木比されたセラミックヒータ
−は耐熱材としては高純度アルミナ粉末が、発熱体とし
てＶｉＶｖ、ｆＶｌｔ）などの１妬融点金属が川すられ
ている。
−は耐熱材としては高純度アルミナ粉末が、発熱体とし
てＶｉＶｖ、ｆＶｌｔ）などの１妬融点金属が川すられ
ている。
さらに焼成は水素ガス雰囲気下１５０Ｏ℃以上の尚温で
行なわれている。
行なわれている。
しかし匠来のセラミックヒータ−は製造方法や％注に多
くの欠点がある。
くの欠点がある。
上述した通シ尚純度アルミナ粉末の固相焼結を利用した
場合１５００℃というきわめて高温で処理しなければな
らないし、これにともなり発熱体として利用可能な材料
も限定されてしまい、実用上ではタングステン、モリブ
デンなどの尚融点金属しかない。
場合１５００℃というきわめて高温で処理しなければな
らないし、これにともなり発熱体として利用可能な材料
も限定されてしまい、実用上ではタングステン、モリブ
デンなどの尚融点金属しかない。
またセラミックヒータ−の重さが重く、軽量化の要求に
対して十分満足するものではない。また耐熱材と発熱体
との間に熱膨張係故に大きな差があるためにセラミック
ヒータ−のｗｒ続を繰返すことによシ発熱体の劣化が起
こる。
対して十分満足するものではない。また耐熱材と発熱体
との間に熱膨張係故に大きな差があるためにセラミック
ヒータ−のｗｒ続を繰返すことによシ発熱体の劣化が起
こる。
本発明の目的は上述の欠点を改良したものであり、低温
で焼結でき、戦鉦でかつ発熱体の劣化の見られないセラ
ミックヒータ−Ｔｈ（ｌることでめる。
で焼結でき、戦鉦でかつ発熱体の劣化の見られないセラ
ミックヒータ−Ｔｈ（ｌることでめる。
本発明のセラミックヒータ−はアルミナ（Ａｌ ’Ｊｓ
） 。
） 。
およびば化珪素（Ｓｉ（Ｊｔ）の谷倣結晶粒と少なくと
もアルミナ（ＡＩ Ｕｓ ） ＊酸化珪素（Ｓ ｉＯ２
）のうちのいずれか葡言み、かつ２柚以」二の酸化物か
らなる複合酸化物の微結晶粒とこれらの微結晶粒以外の
部分全占めるガラス實からなる構造体の内部に金属酸化
物からなる発熱１４−＠分が形成されていることを％徴
としている。
もアルミナ（ＡＩ Ｕｓ ） ＊酸化珪素（Ｓ ｉＯ２
）のうちのいずれか葡言み、かつ２柚以」二の酸化物か
らなる複合酸化物の微結晶粒とこれらの微結晶粒以外の
部分全占めるガラス實からなる構造体の内部に金属酸化
物からなる発熱１４−＠分が形成されていることを％徴
としている。
本発明で示した構造体はアルミナと結晶化ガラス粒子ケ
焼結することにより、アルミナと珪酸結晶（代表的には
クリストバライトやトリジマイトなど）さらにアルミナ
とガラス成分との複合酸化ｗ結晶との微結晶の連続的ネ
ットワークから出来上がっている。
焼結することにより、アルミナと珪酸結晶（代表的には
クリストバライトやトリジマイトなど）さらにアルミナ
とガラス成分との複合酸化ｗ結晶との微結晶の連続的ネ
ットワークから出来上がっている。
などの結晶化カラスが出いられる。
そしてアルミナとガラス成分との複合酸化物結晶として
はアノーサイト（Ｃａ（Ｊ、Ａ１２０． 、２ＳｉＯ□
）ガーナイト（Ｚｎ（Ｊ、ＡＨ，０，） 、ウィルマイ
ト（２Ｚｎ （Ｊ 。
はアノーサイト（Ｃａ（Ｊ、Ａ１２０． 、２ＳｉＯ□
）ガーナイト（Ｚｎ（Ｊ、ＡＨ，０，） 、ウィルマイ
ト（２Ｚｎ （Ｊ 。
５ｔＯｔ）＋ムーライト（Ａｌ２Ｏ５＋ ｂ ｌＯｔ
） ＋ コープイライト（２”ｇｏ＋ ２ＡｌｔＯｓ
、５ｓｉｏ、 ） ｅβ−スポンジ二メン（Ｌ五％Ａｌ
、 ０． 、４ Ｓ ｉ Ｏ，）などが形成さする可能
性がある。
） ＋ コープイライト（２”ｇｏ＋ ２ＡｌｔＯｓ
、５ｓｉｏ、 ） ｅβ−スポンジ二メン（Ｌ五％Ａｌ
、 ０． 、４ Ｓ ｉ Ｏ，）などが形成さする可能
性がある。
本発明のカラス−セラミック病遺体は次に示す理由によ
りセラミックヒータ−用耐熱材として十分機能をはたす
。カラスの鮎晶化温麗やアルミナとガラス成分との触合
１没化物結晶の生成温度は組成ケ選定することにより７
００℃〜９００℃位の焼結温度に調整することができ、
しかも十分な機械的。
りセラミックヒータ−用耐熱材として十分機能をはたす
。カラスの鮎晶化温麗やアルミナとガラス成分との触合
１没化物結晶の生成温度は組成ケ選定することにより７
００℃〜９００℃位の焼結温度に調整することができ、
しかも十分な機械的。
電気的特１生ケ示す。次に流動性の而で見るならば微結
晶粒子を含有した状態で焼結するために流動比が小さく
発熱体への影響があまりみられない。
晶粒子を含有した状態で焼結するために流動比が小さく
発熱体への影響があまりみられない。
また熱膨張係数を発熱体のそれに合わせることは結晶化
ガラスの組成を選定することによりある相欠に本発明を
実施列によって具体的に〆明する。
ガラスの組成を選定することによりある相欠に本発明を
実施列によって具体的に〆明する。
用いたアルミナ粉末は平均粒径が０．５〔μｍ〕でるる
。址だ結晶化ガラス粉末は重駄比Ｓ １ （Ｊ２ ：
６５．０ ＋Ｈ，Ｃ）ニア、０．ＰｂＵ：１７．０．Ｕ
ａ（Ｊ：６．０．Ｎｄ１（Ｊ：２．０゜ｉ’ｉｏ、 ：
２．０を尚温（約１．４００℃）で溶融故意冷却して
倣粉末形状に加工したものであシ、平均粒径は０．７５
Ｃμｍ〕である。これらの粉末を用いてセラミックのグ
リーンテープヲ装作し、その上に二酸化ルテニウム粉末
と前述した結晶化ガラス粉床とを混合して作ったペース
トケスクリーン印刷法によりＨ１定形状に形成した。次
に、該ペーストパターンのｌｌＴｌ端ＶＣ銀−パラジウ
ム導体を形成して外部引出し用龜極とした。このように
形成したクリーンケーン上に同僚のグリーンテープを複
数枚恵ね合せてから熱圧海を施し、つづいて第１図に示
す温度曲線に促って焼成した。焼成後Ｘ線回折分析から
アルミナ、クリストバライト、アノーサイトの存在が確
認され、電子顕倣鏡でもアルミナ、クリストバライトの
結晶相とアノーサイトの微細結晶が観察された。
。址だ結晶化ガラス粉末は重駄比Ｓ １ （Ｊ２ ：
６５．０ ＋Ｈ，Ｃ）ニア、０．ＰｂＵ：１７．０．Ｕ
ａ（Ｊ：６．０．Ｎｄ１（Ｊ：２．０゜ｉ’ｉｏ、 ：
２．０を尚温（約１．４００℃）で溶融故意冷却して
倣粉末形状に加工したものであシ、平均粒径は０．７５
Ｃμｍ〕である。これらの粉末を用いてセラミックのグ
リーンテープヲ装作し、その上に二酸化ルテニウム粉末
と前述した結晶化ガラス粉床とを混合して作ったペース
トケスクリーン印刷法によりＨ１定形状に形成した。次
に、該ペーストパターンのｌｌＴｌ端ＶＣ銀−パラジウ
ム導体を形成して外部引出し用龜極とした。このように
形成したクリーンケーン上に同僚のグリーンテープを複
数枚恵ね合せてから熱圧海を施し、つづいて第１図に示
す温度曲線に促って焼成した。焼成後Ｘ線回折分析から
アルミナ、クリストバライト、アノーサイトの存在が確
認され、電子顕倣鏡でもアルミナ、クリストバライトの
結晶相とアノーサイトの微細結晶が観察された。
このように作製したセラミックヒータ−に外部収出し線
を収り付け、植々の％注を測定した結果を茨ｒｃ示した
。
を収り付け、植々の％注を測定した結果を茨ｒｃ示した
。
表
プ
この％注は市販品と比較しても優劣か＃ｂ０さらにセラ
ミックヒータ−の寿命試験として電圧印加１．５時間、
電圧未印加０．５時間の条件全８５℃の恒温槽内で繰返
してそのときの抵抗変化率について市販品との比較を行
なっ／ヒ。
ミックヒータ−の寿命試験として電圧印加１．５時間、
電圧未印加０．５時間の条件全８５℃の恒温槽内で繰返
してそのときの抵抗変化率について市販品との比較を行
なっ／ヒ。
第２図にはこの寿命試験の結果を示しである。
図からも明らかなように市販品は３００時間Ｍヲすぎる
とヒーターの抵抗臘がきわめて大きくなり１０００時間
を経過するとほとんど断線状態になってしまう。これに
対して本発明のセラミックヒータ−は抵抗変化も小さく
１０（１０時間経過しても抵抗変化率は＋１０５６’で
あった。
とヒーターの抵抗臘がきわめて大きくなり１０００時間
を経過するとほとんど断線状態になってしまう。これに
対して本発明のセラミックヒータ−は抵抗変化も小さく
１０（１０時間経過しても抵抗変化率は＋１０５６’で
あった。
ηお構造体として芙尻ｉ例と等しいものを用いてセラミ
ックのグリーンテープヲ製作し、その上にＭ、ＩＣｏ、
０．化合吻扮末とセラミックグリーンテープに使用した
結晶化ガラス粉末を混合しで作った得られた。
ックのグリーンテープヲ製作し、その上にＭ、ＩＣｏ、
０．化合吻扮末とセラミックグリーンテープに使用した
結晶化ガラス粉末を混合しで作った得られた。
以上本発明によるセラミックヒータ−は、かなカ低温で
焼結でき、軽鼠であり、かつその寿命は市販品に比べて
載設同上した浚れた％畝を有している。
焼結でき、軽鼠であり、かつその寿命は市販品に比べて
載設同上した浚れた％畝を有している。
第１図は本発明の一実施列の焼成方法台・示す温反曲線
図である。第２図は本発明のセラミックヒータ−と便米
のセラミックヒータ−の寿命試験での抵抗変化率の経時
変化を示す図である。 代理人弁理士内原 晋 鴇１０ ムロ ゝ０ 鍔内（Ｈと） 策ｚＬａ Ｏｇ（）（） １０ｏ。 時間（ＨＶ）
図である。第２図は本発明のセラミックヒータ−と便米
のセラミックヒータ−の寿命試験での抵抗変化率の経時
変化を示す図である。 代理人弁理士内原 晋 鴇１０ ムロ ゝ０ 鍔内（Ｈと） 策ｚＬａ Ｏｇ（）（） １０ｏ。 時間（ＨＶ）
Claims (1)
- アルミナ（ＡｂＯｓ）および酸化珪素（Ｓｈｕ２）の各
倣結晶粒と少なくともアルミナ（Ａｔｅ Ｕｓ ） 、
酸化珪素（”ｔ０２）のうちのいずれかを含与、かつ
２棟以上の酸１ヒ物からなる複合酸化物の倣結晶粒とこ
れらの倣結晶粒以外の部分を占めるガジス實からなる構
造体の内部に金属酸化物からなる発熱体部分が形成され
ていることヶ４１′ｆ＋敵とするセラミックヒータ−。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402582A JPS58142779A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | セラミツクヒ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402582A JPS58142779A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | セラミツクヒ−タ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58142779A true JPS58142779A (ja) | 1983-08-24 |
Family
ID=12126981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2402582A Pending JPS58142779A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | セラミツクヒ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58142779A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5554839A (en) * | 1993-03-12 | 1996-09-10 | Nippondenso Co., Ltd. | Ceramic heater |
| JP2001307671A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-11-02 | Fujitsu Ltd | 電極用材料、荷電粒子線装置用電極及びその製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5098911A (ja) * | 1974-01-02 | 1975-08-06 | ||
| JPS5533741A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-10 | Murata Manufacturing Co | Method of manufacturing heater |
| JPS5585459A (en) * | 1978-12-22 | 1980-06-27 | Tokyo Shibaura Electric Co | Sintered body |
| JPS5717474A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-29 | Nippon Electric Co | Multilayer ceramic substrate |
-
1982
- 1982-02-17 JP JP2402582A patent/JPS58142779A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5098911A (ja) * | 1974-01-02 | 1975-08-06 | ||
| JPS5533741A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-10 | Murata Manufacturing Co | Method of manufacturing heater |
| JPS5585459A (en) * | 1978-12-22 | 1980-06-27 | Tokyo Shibaura Electric Co | Sintered body |
| JPS5717474A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-29 | Nippon Electric Co | Multilayer ceramic substrate |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5554839A (en) * | 1993-03-12 | 1996-09-10 | Nippondenso Co., Ltd. | Ceramic heater |
| JP2001307671A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-11-02 | Fujitsu Ltd | 電極用材料、荷電粒子線装置用電極及びその製造方法 |
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