JPS58144833U - ランプ位置調整機構 - Google Patents

ランプ位置調整機構

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Publication number
JPS58144833U
JPS58144833U JP4175082U JP4175082U JPS58144833U JP S58144833 U JPS58144833 U JP S58144833U JP 4175082 U JP4175082 U JP 4175082U JP 4175082 U JP4175082 U JP 4175082U JP S58144833 U JPS58144833 U JP S58144833U
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JP
Japan
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position adjustment
adjustment mechanism
lamp position
lamp
utility
Prior art date
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Pending
Application number
JP4175082U
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English (en)
Inventor
田和　邁
利光 三浦
隆 佐藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS58144833U publication Critical patent/JPS58144833U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はランプ位置調整機構従来タイプの外観斜視図、
第２図は同従来タイプの構成図、第３図は同本考案に足
るタイプの外観斜視図、第４図は同本考案によるタイプ
の構成図、第５図は第３図のＡ−Ａ’断面図、第６図は
第３図のＢ−Ｂ’断面図である。 １・・・ランプハウス、２・・・固定ベース、３・・・
Ｙテーブル、５・・・Ｘテーブル、１１・・・ランプ、
１４・・・排気孔付主軸、１５・・・ＸＹテーブル、１
７・・・フリーローラ（１）、２０・・・Ｘ偏心カム、
２９・・・断熱スペーサ、３０・・・フリーローラ（２
）。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　集光鏡又は集光レンズでランプからの光を集光し、
    一定面積を一様な照度で照明する露光用ランプハウスに
    於けるランプ位置調整機構で、一平面的でＸ方向、Ｙ方
    向及びその合成方向いずれにも移動可能な構造のＸＹテ
    ーブルにより構成されたことを特徴とするランプ位置調
    整機構。 ２　実用新案登録請求の範囲第１．項記載において、機
    構全体が露光用照明光源に対１７、断熱構造に取り付け
    られていることを特徴とするランプ位置調整機構。
JP4175082U 1982-03-26 1982-03-26 ランプ位置調整機構 Pending JPS58144833U (ja)

Priority Applications (1)

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JP4175082U JPS58144833U (ja) 1982-03-26 1982-03-26 ランプ位置調整機構

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JP4175082U JPS58144833U (ja) 1982-03-26 1982-03-26 ランプ位置調整機構

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Publication Number Publication Date
JPS58144833U true JPS58144833U (ja) 1983-09-29

Family

ID=30052926

Family Applications (1)

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JP4175082U Pending JPS58144833U (ja) 1982-03-26 1982-03-26 ランプ位置調整機構

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