JPS58147611A - 測定量測定方法及び装置 - Google Patents
測定量測定方法及び装置Info
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- JPS58147611A JPS58147611A JP58018242A JP1824283A JPS58147611A JP S58147611 A JPS58147611 A JP S58147611A JP 58018242 A JP58018242 A JP 58018242A JP 1824283 A JP1824283 A JP 1824283A JP S58147611 A JPS58147611 A JP S58147611A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 23
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 9
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 4
- 238000013139 quantization Methods 0.000 claims description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D2205/00—Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
- G01D2205/90—Two-dimensional encoders, i.e. having one or two codes extending in two directions
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- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景
本発明は、＊数個の検出器を含む表面上にマークを投射
することによって測定量を測定する方法及び装置に関し
、この検出器にマークを量子化する評価回路が直列接続
されている。
することによって測定量を測定する方法及び装置に関し
、この検出器にマークを量子化する評価回路が直列接続
されている。
長さ及び角の測定においては、高精度の水準が追求され
る。この目的に使用される既知の測定装置には、測地線
計器などがあるが、これは、操作者が、たとえば、梅、
陣間又は図形のような光学マークによって形成された目
盛から、又はディジタルディスプレイから、測定量を読
み取るように設計されている。いわゆる測定量の処理は
９個々の読取り法の間で異なる。目盛の読取りは主観的
であるが、装置にかかる費用が低いという利点がある。
る。この目的に使用される既知の測定装置には、測地線
計器などがあるが、これは、操作者が、たとえば、梅、
陣間又は図形のような光学マークによって形成された目
盛から、又はディジタルディスプレイから、測定量を読
み取るように設計されている。いわゆる測定量の処理は
９個々の読取り法の間で異なる。目盛の読取りは主観的
であるが、装置にかかる費用が低いという利点がある。
ディジタルディスプレイからの読取りは瘍かに正確であ
るが装置にかかる費用が高いという欠点がある。既知の
ように、測地線計器、たとえば、経緯儀のようなものは
、小形、簡単かつ軽量な構成を有し、しかもエネルイー
消費が限定されていなければならない。これらの計器は
、また。
るが装置にかかる費用が高いという欠点がある。既知の
ように、測地線計器、たとえば、経緯儀のようなものは
、小形、簡単かつ軽量な構成を有し、しかもエネルイー
消費が限定されていなければならない。これらの計器は
、また。
数年間にわたり保守が不要であり、かつ同一精度水準で
動作可能でなければならない。これらの計器は舒外で使
用されかつきわめて乱暴な取扱いに耐えれうるものでな
ければならない。
動作可能でなければならない。これらの計器は舒外で使
用されかつきわめて乱暴な取扱いに耐えれうるものでな
ければならない。
これらの要求は、たとえば、西独国公開特許出願第２，
２１１，２５５号及び米国特許第５．９７３．１１９号
にそれぞれ記載されているような既知の測定装置によっ
てはかなえられない。
２１１，２５５号及び米国特許第５．９７３．１１９号
にそれぞれ記載されているような既知の測定装置によっ
てはかなえられない。
したがって、たとえば、ｆ＃的測測定装置、先天的に、
′＃Ｉ密さを有するが１ｍ地線計器の場合には不適当で
ある。しかしながら、増分測定装置は、電源のしゃ断に
影響され易いが、そのわけは、ｍ定量に変化がある場合
の角又は長さの値は連続的。
′＃Ｉ密さを有するが１ｍ地線計器の場合には不適当で
ある。しかしながら、増分測定装置は、電源のしゃ断に
影響され易いが、そのわけは、ｍ定量に変化がある場合
の角又は長さの値は連続的。
すなわち、増分的に測定かつ記憶されなければならない
からである。竣後に、高精度、動的測定装置は、きはめ
て値線でかつ経費がかかり、摩耗に影響されやすい駆動
及び制御装置を有する。したがって、これらの既知の測
定装置は、非常に高価で複雑かつ動作中しばしば高給の
技術要員の保！と世話を受けなければならないか、又は
不正確かつ簡単な構成を持っていないかである。
からである。竣後に、高精度、動的測定装置は、きはめ
て値線でかつ経費がかかり、摩耗に影響されやすい駆動
及び制御装置を有する。したがって、これらの既知の測
定装置は、非常に高価で複雑かつ動作中しばしば高給の
技術要員の保！と世話を受けなければならないか、又は
不正確かつ簡単な構成を持っていないかである。
本発明の簡単な要約
本発明の目的は、既知の測定装置の欠点を除き。
かつ、正確、簡単かつ安価な装置構成、保守と世話を要
しないといった利点を与えることにある。
しないといった利点を与えることにある。
この目的は、上掲の特許請求の範囲第１項に記載された
方法及び第９項に記載された装置によって、解決される
。
方法及び第９項に記載された装置によって、解決される
。
好適実施例の詳細な説明
以下に９本発明の代表的な実施例として、ｆニオメータ
（Ｗ１ｏｍ＠ｔｅｒ ）について説明する。測定は、た
とえば、第１図又は第３図に示されたような符号化測定
回路の長さを測定することによって行われる。目盛３は
光学マーク３１を備え、光源１によって照射され、また
、光学、１２及び／又は２′は具備されていてもいなく
てもよい。この光学マークは、前述したように、様々な
形をとることができる、光学マーク３１は、好ましくは
、透明であるが、しかし、透明な背景に対して不透明で
あってもかまわない。長さ又は角の測定に対しては、光
学マーク３１は、第１図に示された具合に配列される。
（Ｗ１ｏｍ＠ｔｅｒ ）について説明する。測定は、た
とえば、第１図又は第３図に示されたような符号化測定
回路の長さを測定することによって行われる。目盛３は
光学マーク３１を備え、光源１によって照射され、また
、光学、１２及び／又は２′は具備されていてもいなく
てもよい。この光学マークは、前述したように、様々な
形をとることができる、光学マーク３１は、好ましくは
、透明であるが、しかし、透明な背景に対して不透明で
あってもかまわない。長さ又は角の測定に対しては、光
学マーク３１は、第１図に示された具合に配列される。
ｔニオメータの構成に対してはこれらの光学！−りは放
射状に配置されるが、一方。
射状に配置されるが、一方。
長さ測定装置の場合にはこれらは並行である。第１図は
、前記光学マークの異なる６つの使用を示し、これらは
等距離に配置されている。幅の広いマーり１ｓＬは２区
間又は部分の境界をｔＩＡ別表示している。狭いマーク
１ｂ及び申間幅マーク１ｃは相当する区間を符号化する
のに用いられる。線幅を組み合わさせることと様々な２
連符号を使用することによって、最大１２８個の区間を
符号化することができる。この符号化によって測定量を
副分割することが可能である。このことを、第６図に関
連してさらに詳しく説明する。
、前記光学マークの異なる６つの使用を示し、これらは
等距離に配置されている。幅の広いマーり１ｓＬは２区
間又は部分の境界をｔＩＡ別表示している。狭いマーク
１ｂ及び申間幅マーク１ｃは相当する区間を符号化する
のに用いられる。線幅を組み合わさせることと様々な２
連符号を使用することによって、最大１２８個の区間を
符号化することができる。この符号化によって測定量を
副分割することが可能である。このことを、第６図に関
連してさらに詳しく説明する。
第５図の実施例の動作を、以後、第２図を援用してさら
にＩＩＩＩＪｌｌに説明する。光源が目盛３上の光学！
−り３１を光学系２を通して照明すると仮定する。光学
系２′はこの場合存在しない。しかしながら、他の実施
例においては、光学系２を、上側光学系２なしでも使用
できる。光学、１％２，２′のどちらをも欠いた使用も
考えられる。表面４は複数個の光検出器を含み、これら
の検出器は１本の線上に配列されるか又はこの表面上の
幾本かの線上に均等な関係をとって配列される。第２図
に示されるように、照明された光学マーク３１は、照明
された光検出器上に光度分布を生じる。第２図は。
にＩＩＩＩＪｌｌに説明する。光源が目盛３上の光学！
−り３１を光学系２を通して照明すると仮定する。光学
系２′はこの場合存在しない。しかしながら、他の実施
例においては、光学系２を、上側光学系２なしでも使用
できる。光学、１％２，２′のどちらをも欠いた使用も
考えられる。表面４は複数個の光検出器を含み、これら
の検出器は１本の線上に配列されるか又はこの表面上の
幾本かの線上に均等な関係をとって配列される。第２図
に示されるように、照明された光学マーク３１は、照明
された光検出器上に光度分布を生じる。第２図は。
（Ｎ）から（Ｎ＋９＞までによって指示された光検出器
の単一の線のみを示す。しかしながら、光検出器（Ｎ）
から（Ｎ＋７）までのみが照明される。
の単一の線のみを示す。しかしながら、光検出器（Ｎ）
から（Ｎ＋７）までのみが照明される。
光度分布は２個々の光検出器の間隔２２と同一の照度と
によって与えられる。個々の光検出器に対する光学マー
り３１の位置は、光度分布２１０重心の位置によって与
えられる。この重心は、アナ及び第、６図の実施例にお
いては、この重心はディジタル的に測定されるが、この
ことは、以下においてさらに詳しく説明される。光度！
の値は、第２図で縦軸にプロットされている。個々の光
検出器は、たとえば、異なる光度工 から工 までを
Ｎ Ｎ＋３ 有する。個々の光検出器のこれらの信号は２表面４上の
配列から整合要素５に送られるが、後掲の実施例におい
てはこの要素は差動増幅器として構成されている。この
関連から２次のようにも云える。すなわち、これらの信
号は第６図に示された２本の線を径由して整合要素５に
順序に送られるか、又はこれに代わって各光検出器４１
が整合要素５に達する固有の１本の線を有するかいずれ
かである。個々の信号は比較器６に達し、比較器６は基
準信号を所与の順序でディジタル・アナログ変換＠７を
径由して受は取り、そしてこの基準信号は、第２図に線
図的に示されたように１個々の光検出器の光度信号と比
較される。同図において。
によって与えられる。個々の光検出器に対する光学マー
り３１の位置は、光度分布２１０重心の位置によって与
えられる。この重心は、アナ及び第、６図の実施例にお
いては、この重心はディジタル的に測定されるが、この
ことは、以下においてさらに詳しく説明される。光度！
の値は、第２図で縦軸にプロットされている。個々の光
検出器は、たとえば、異なる光度工 から工 までを
Ｎ Ｎ＋３ 有する。個々の光検出器のこれらの信号は２表面４上の
配列から整合要素５に送られるが、後掲の実施例におい
てはこの要素は差動増幅器として構成されている。この
関連から２次のようにも云える。すなわち、これらの信
号は第６図に示された２本の線を径由して整合要素５に
順序に送られるか、又はこれに代わって各光検出器４１
が整合要素５に達する固有の１本の線を有するかいずれ
かである。個々の信号は比較器６に達し、比較器６は基
準信号を所与の順序でディジタル・アナログ変換＠７を
径由して受は取り、そしてこの基準信号は、第２図に線
図的に示されたように１個々の光検出器の光度信号と比
較される。同図において。
基準信号２３が光度信号と比較されたと仮定する。
光検出器のうちの１部の光検出器、すなわち。
（Ｎ＋２）から（Ｎ＋６）までが基準信号すなわちしき
い［２３より高い光度信号を有する。この実施例におい
ては、全ての光検出器の光度信号がしきい値２３と比較
される。結果は、１１６１を径由して単安定７リツゾ７
０ツゾ８に送られる。ディジタル・アナログ変換器７か
ら１次の基準信号が。
い［２３より高い光度信号を有する。この実施例におい
ては、全ての光検出器の光度信号がしきい値２３と比較
される。結果は、１１６１を径由して単安定７リツゾ７
０ツゾ８に送られる。ディジタル・アナログ変換器７か
ら１次の基準信号が。
このとき、比較器６に送られて、第２図に示されている
ように、しきい値２４として使用される。
ように、しきい値２４として使用される。
全ての光検出器についての比較は、先行するしきい１［
２３に関して説明されたと同じ具合に行われる。さらに
、しきい値は連続的に形成され、これは、比較器６から
線６１を径由して単安定７リツ７′″７０ツｆ８に送ら
れる信号がもはやなくなるまで行われる。＠６図は、破
線で接続した別の回路を示しており、この回路は比較器
６’ｔデイジタル・アナログ変！Ｉ器７ａ、及び単安定
７リツゾ・７０ツブ８ａを含む。これら６つの要素の動
作は。
２３に関して説明されたと同じ具合に行われる。さらに
、しきい値は連続的に形成され、これは、比較器６から
線６１を径由して単安定７リツ７′″７０ツｆ８に送ら
れる信号がもはやなくなるまで行われる。＠６図は、破
線で接続した別の回路を示しており、この回路は比較器
６’ｔデイジタル・アナログ変！Ｉ器７ａ、及び単安定
７リツゾ・７０ツブ８ａを含む。これら６つの要素の動
作は。
先に説明したのと同じである。この別の回路は。
光検出器４１の光度信号を同時に２つの異なるしきい値
と比較可能とするために使用される。ｔａ３図において
、さらに同じ回路をつけ加えることができ、これらの回
路は光検出器の光度信号をさらにはかのしきい値と同時
に比較可能とすることが指摘される。このことによって
、かなり測定時間が短縮される。
と比較可能とするために使用される。ｔａ３図において
、さらに同じ回路をつけ加えることができ、これらの回
路は光検出器の光度信号をさらにはかのしきい値と同時
に比較可能とすることが指摘される。このことによって
、かなり測定時間が短縮される。
比較器６又は６ａ等の出力信号は、光学マーク３１の光
度分布の量子化情報を表示している。単安定７リツノ・
フロップ８，８ａ等において、これらのごく短い信号は
１時間伸長を施されてから線８１を径由して小形計算Ｉ
１９に供給される力ｉ。
度分布の量子化情報を表示している。単安定７リツノ・
フロップ８，８ａ等において、これらのごく短い信号は
１時間伸長を施されてから線８１を径由して小形計算Ｉ
１９に供給される力ｉ。
このことは、光度分布の量子化情報が１つのしきい値に
対して順序的に転送されるように行われる。
対して順序的に転送されるように行われる。
他のしきい値に対する量子化信号を受信した場合の完全
な光度分布２１の重心は、小形計算機９内で計算される
。この光度分布２１の重心は、測定量（たとえば、長さ
又は角の大きさ）の測定値として小形計算機９により認
識される。個々の光検出＃４１の光度信号にとって、小
形計算機９内の異なる係数で以って重み付けをされるこ
とも可能である。たとえば、このことは、第２図の光度
分布２１が中心（たとえば、光検出器（Ｎ＋３）及び（
Ｎ＋４）の場合）においてより大きくなっているという
ことを意味する。
な光度分布２１の重心は、小形計算機９内で計算される
。この光度分布２１の重心は、測定量（たとえば、長さ
又は角の大きさ）の測定値として小形計算機９により認
識される。個々の光検出＃４１の光度信号にとって、小
形計算機９内の異なる係数で以って重み付けをされるこ
とも可能である。たとえば、このことは、第２図の光度
分布２１が中心（たとえば、光検出器（Ｎ＋３）及び（
Ｎ＋４）の場合）においてより大きくなっているという
ことを意味する。
したがって、電子計算機は、光学的マーク３１によって
表される測定量を確定する。しかしながら、第１図の１
Ｃによって指示された光学マークは本実施例において計
算されておりかつこのマークは区間又は部分内に配置さ
れているので、小形計算機９にとっては特定の区間の符
号化を行うことが必要である。第１図に関連して述べた
ように。
表される測定量を確定する。しかしながら、第１図の１
Ｃによって指示された光学マークは本実施例において計
算されておりかつこのマークは区間又は部分内に配置さ
れているので、小形計算機９にとっては特定の区間の符
号化を行うことが必要である。第１図に関連して述べた
ように。
各区間は光学的に差分的なマークｌａ、１ｂ。
ＩＣによって符号化されている。これらのマークは異な
る幅を持つが、しかし等距離的な間隔を有する。これら
のマークの異なる幅は、小形計算機９に区間の情報を供
給し、計算されたばかりの！−り１Ｃがこの区間内にお
いて位置決めされる。
る幅を持つが、しかし等距離的な間隔を有する。これら
のマークの異なる幅は、小形計算機９に区間の情報を供
給し、計算されたばかりの！−り１Ｃがこの区間内にお
いて位置決めされる。
この情報は１重心情報と共に、電子計算機によって［９
１を径由してディスプレイ１０に送られる。
１を径由してディスプレイ１０に送られる。
測定量は、ディスプレイ内に完全に表示される。。
すでに述べたように、この量は、長さ寸法又は角寸法の
どちらかである。個★の区間の符号化に対する他の可能
性は、可変相反間隔を伴った光学同一マークによって与
えられる。
どちらかである。個★の区間の符号化に対する他の可能
性は、可変相反間隔を伴った光学同一マークによって与
えられる。
次に説明するように、小形計算機９は、１！９２を径由
して特殊な基準信号をディジタル・アナログ変換ｍｙ又
は７ａに供給する。しかしながら。
して特殊な基準信号をディジタル・アナログ変換ｍｙ又
は７ａに供給する。しかしながら。
光度分布の自動光度整合に対して計算機９からの基準信
号を変調することが可能なことを指摘しておく。このよ
うな光度整合は必要であるのは、動作期間中に光＃１又
は表面４上の光検出器４１の感度のいずれかが非制御的
に変化し得るからである。
号を変調することが可能なことを指摘しておく。このよ
うな光度整合は必要であるのは、動作期間中に光＃１又
は表面４上の光検出器４１の感度のいずれかが非制御的
に変化し得るからである。
光電検出器の感度は時効によって低減済みであって、し
たがって、光度分布２１は、先の場合にそうであったよ
うに、もはやしきい値に達しないと仮定する。小形計算
機９はこのことを実行し、またしきい値を減少し、した
がってこれらが再びしきい値分布２１によってトリガさ
れるか、又は光源１が高照明電流を受は取り、したがっ
て光検出器４１の低減された感度にかかわらず先行しき
い値がトリガされる。異なる光度信号についての前述の
重み付けを光度分布２１が所望の点において加えられる
ように実施することも可能である。したがって、すでに
説明した測定原理の結果として。
たがって、光度分布２１は、先の場合にそうであったよ
うに、もはやしきい値に達しないと仮定する。小形計算
機９はこのことを実行し、またしきい値を減少し、した
がってこれらが再びしきい値分布２１によってトリガさ
れるか、又は光源１が高照明電流を受は取り、したがっ
て光検出器４１の低減された感度にかかわらず先行しき
い値がトリガされる。異なる光度信号についての前述の
重み付けを光度分布２１が所望の点において加えられる
ように実施することも可能である。したがって、すでに
説明した測定原理の結果として。
自動光度整合が常に存在する。このことは、動作期間を
通じて、しきい値２３．２４等の光度分布２１の最大光
度に対する比を最適化する。
通じて、しきい値２３．２４等の光度分布２１の最大光
度に対する比を最適化する。
第４図は１本質的に、第６図と同じ要素を示すが、唯一
の相異は目盛３と光検出器４１の表１１４との間に補償
デバイスが具備されていることである。この補償デバイ
スはビーム変位要素１４と駆動モータ１３を含むもので
あってディジタル・アナログ変換器１１と増幅器１２と
を径由して小形計算機９によって制御される。補償デバ
イスの動作の説明のため、目盛３の上には光学マーク３
１（第４図）又は１＆、１ｂ、１ｃ（第１図）が配列さ
れており、この目盛は測定過程に従って運動するものと
仮定する。光学マーク３１が光源１からの光ビームと交
さすると、このマークが表［１４の光検出器４１上に投
射される。第２図及び第６図に関連してすでに説明され
たように、このことから結局、光度分布２１が後続の評
価回路５，６゜７．８，９内で測定される。光度分布２
１の測定された重心が正確にその零位置にないというこ
とがいま判明したとすると、［９３を径由して、計算機
９が出力信号を出力し、この信号はディジタル・アナロ
グ変換器１１．増幅器１２を径由して電動１ｆｉ１３を
制御するが、この制御はプリズムを適用することのでき
るビーム変位要素１４がどちらかの矢印の向きに再び回
転させられるように。
の相異は目盛３と光検出器４１の表１１４との間に補償
デバイスが具備されていることである。この補償デバイ
スはビーム変位要素１４と駆動モータ１３を含むもので
あってディジタル・アナログ変換器１１と増幅器１２と
を径由して小形計算機９によって制御される。補償デバ
イスの動作の説明のため、目盛３の上には光学マーク３
１（第４図）又は１＆、１ｂ、１ｃ（第１図）が配列さ
れており、この目盛は測定過程に従って運動するものと
仮定する。光学マーク３１が光源１からの光ビームと交
さすると、このマークが表［１４の光検出器４１上に投
射される。第２図及び第６図に関連してすでに説明され
たように、このことから結局、光度分布２１が後続の評
価回路５，６゜７．８，９内で測定される。光度分布２
１の測定された重心が正確にその零位置にないというこ
とがいま判明したとすると、［９３を径由して、計算機
９が出力信号を出力し、この信号はディジタル・アナロ
グ変換器１１．増幅器１２を径由して電動１ｆｉ１３を
制御するが、この制御はプリズムを適用することのでき
るビーム変位要素１４がどちらかの矢印の向きに再び回
転させられるように。
行われる０回転は、光度分布２１がその零位置を再び回
復するまで続けられる。この自動補償によって、Ｉｌｌ
定過程中に必ず使用される光学測定マークが表面４上の
同じ零位置をとりこの結果測定確度を高めることが保証
される。
復するまで続けられる。この自動補償によって、Ｉｌｌ
定過程中に必ず使用される光学測定マークが表面４上の
同じ零位置をとりこの結果測定確度を高めることが保証
される。
第１図は１本発明による方法及び装置を説明するための
符号化光学マークを付けた目盛の部分図。 第２図は９本発明による方法及び装置を説明するための
光学マークと光検出器の光度分布グラフ図。 第６図は２本発明による方法及び装置を説明するための
光学マークによって表示された測定意評価回路図。 第４図は、補償デバイスを付けた場合の第３図の回路図
である。 １：光源 ２ 、２’ ：光学系 ３＝目盛 ４：表面 ５８整合要素 ６：比較器 ７：ディジタル・アナログ変換器 ８：単安定フリップ・フロップ ９＝小形計算機 １０冨デイスプレイ １１；ディジタル・アナログ変換器 １４Ｘビーム変位要素 ３１：光学マーク ４１：光検出器。 代理人 浅 村 皓 外４名 １９１ １９２ ｒ １
符号化光学マークを付けた目盛の部分図。 第２図は９本発明による方法及び装置を説明するための
光学マークと光検出器の光度分布グラフ図。 第６図は２本発明による方法及び装置を説明するための
光学マークによって表示された測定意評価回路図。 第４図は、補償デバイスを付けた場合の第３図の回路図
である。 １：光源 ２ 、２’ ：光学系 ３＝目盛 ４：表面 ５８整合要素 ６：比較器 ７：ディジタル・アナログ変換器 ８：単安定フリップ・フロップ ９＝小形計算機 １０冨デイスプレイ １１；ディジタル・アナログ変換器 １４Ｘビーム変位要素 ３１：光学マーク ４１：光検出器。 代理人 浅 村 皓 外４名 １９１ １９２ ｒ １
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） マーク量子化用評価回路が直列に接続されて
いるＩＩＪ１個の光検出器を含む表面上に該マークを投
射することによって測定量を測定する方法であって。 前記マークによる光度分布は前記光検出器の６各に対す
る固定しきい値によって順序に測定されることを包含し
及び前記の方法において重心は前記マークにより前記の
よう１にして得られた二次元又は三次元光度分布から測
定されかつ前記重心の位置は測定量の標準であることを
特徴とする前記の方法。 （２、特許請求の範囲第１項記載の方法において。 測定量はａｍ個の符号化区間に副分割され、各該区間は
前記光検出器を含む表面より小さくかつ該区間の光検出
器の表面に関する相対位置が測定されることを特徴とす
る前記の方法。 （８） 特許請求の範囲第２項記載の方法において。 各該区間は互に等距離をとって配列された差分マークに
よって符号化されていることを特徴とする前記の方法。 （４）特許請求の範囲第２項記載の方法において。 各該区間は様々な相互間隔を有する同一マークによって
符号化されていることを特徴とする前記の方法。 （５）特許請求の範囲第２項記載の方法において。 各該区間は該区間から分離されたマークによって符号化
されていることを特徴とする前記の方法。 （６）特許請求の範囲第１項記載の方法において。 最大光度分布の最大しきい値に対する比が最適化される
ことを特徴とする前記の方法。 （７）特許請求の範囲第１項及び第２項及び第３項記載
の方法において、精度を向上するために平均化が前記マ
ークに関するいくつかの重心について行われることを特
徴とする前記の方法。 （８）特許請求の範囲第１項記載の方法において。 マークによるいくつかの光度分布の重心の間隔が測定さ
れ、特定の所望値と比較され、ディスプレイに表示され
た測定値の校正のために使用されることを特徴とする前
記の方法。 （９） ｍ定量測定装置であって、１つの表面上にお
いて特殊な図形に沿って配列された複数個の光検出器を
具備しており該光検出器はマークにょる該光検出器への
影響に応じて電気信号を発生し及び該電気信号は順序に
小形計算機へ送られ一方各測定過程ごとに固定しきい値
を計算に入れて前記小形計算機が前記！−りによる光度
分布の重心を測定しかつ後続のディスプレイ内に測定量
を表示する出力信号を発生することを包含することを特
徴とする前記の測定量測定装置。 ■ 特許請求の範囲第９項記載の測定量測定装置におい
て、光源と光検出器の配列されている表面との間に少く
とも１つの光学系が存在することを特徴とする前記の測
定量測定装置。 （ロ）特許請求の範囲第１０項記載の測定量測定装置に
おいて、光度分布の零位置生成用デバイスは目盛と光検
出器の配列されている前記表面との間に配設されること
を特徴とする前記の測定ｆＩ１１！定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH785/82A CH658514A5 (de) | 1982-02-09 | 1982-02-09 | Verfahren und vorrichtung zur erfassung einer messgroesse. |
| CH785/82-4 | 1982-02-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58147611A true JPS58147611A (ja) | 1983-09-02 |
| JPH0534606B2 JPH0534606B2 (ja) | 1993-05-24 |
Family
ID=4195128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58018242A Granted JPS58147611A (ja) | 1982-02-09 | 1983-02-08 | 測定量測定方法及び装置 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4668862A (ja) |
| EP (1) | EP0085951B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58147611A (ja) |
| AT (1) | ATE52331T1 (ja) |
| AU (1) | AU565807B2 (ja) |
| CA (1) | CA1213369A (ja) |
| CH (1) | CH658514A5 (ja) |
| DE (1) | DE3381499D1 (ja) |
| FR (1) | FR2521287A3 (ja) |
| ZA (1) | ZA83480B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1982-02-09 CH CH785/82A patent/CH658514A5/de not_active IP Right Cessation
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- 1983-01-25 AU AU10749/83A patent/AU565807B2/en not_active Expired
- 1983-01-27 CA CA000420361A patent/CA1213369A/en not_active Expired
- 1983-02-03 DE DE8383101014T patent/DE3381499D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1983-02-03 EP EP83101014A patent/EP0085951B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1983-02-03 AT AT83101014T patent/ATE52331T1/de not_active IP Right Cessation
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| US4668862A (en) | 1987-05-26 |
| CA1213369A (en) | 1986-10-28 |
| AU565807B2 (en) | 1987-10-01 |
| ZA83480B (en) | 1983-10-26 |
| EP0085951A2 (de) | 1983-08-17 |
| CH658514A5 (de) | 1986-11-14 |
| FR2521287A3 (fr) | 1983-08-12 |
| EP0085951B1 (de) | 1990-04-25 |
| DE3381499D1 (de) | 1990-05-31 |
| AU1074983A (en) | 1983-08-18 |
| EP0085951A3 (en) | 1986-07-16 |
| JPH0534606B2 (ja) | 1993-05-24 |
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