JPS58148934U - 集積回路測定装置 - Google Patents

集積回路測定装置

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JPS58148934U
JPS58148934U JP4575582U JP4575582U JPS58148934U JP S58148934 U JPS58148934 U JP S58148934U JP 4575582 U JP4575582 U JP 4575582U JP 4575582 U JP4575582 U JP 4575582U JP S58148934 U JPS58148934 U JP S58148934U
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JP
Japan
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integrated circuit
attached
measurement equipment
circuit measurement
spode
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Application number
JP4575582U
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Inventor
恒夫 飯塚
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPS58148934U publication Critical patent/JPS58148934U/ja
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の集積回路測定装置の斜視図、第２図は第
１図の装置の概略側断面図、第３図は第１図の装置のイ
ンサートリングの側断面歯、第４図と第５図はそれぞれ
本考案にかかる集積回路測定装置の分解側断面図と側断
面図である。 １・・・・・・ウェハ、２・・・・・・テストヘッド、
３・・・・・・接続コード、４・・・・・・顕微鏡、５
・・・・・・インサートリング、６・・・・・・インサ
ートリング取り付プレート、７・・・・・・パーフォー
マンスポード、８・・・・・・プローブカード、９・・
・・・・ステージ、１０・・・・・・プローブニードル
、１１・・・・・・コンタクトカード、１２・・・・・
・配線、１３・・・・・・カードソケット、１４・・・
・・・端子。 ス、 し〜 町」に１３−’− ｉす己へ−８

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェハに形成された半導体デバイスの試験に用い
    る集積回路測定装置に於いて、前記デバイスの電極パッ
    ドと接触するプローブニードルが装着されたプローブカ
    ードは、該プローブカードを取り付けたカードソケット
    を介してパーフォーマンスポードに取り付けられ、該パ
    ーフォーマンスポードは試験機に接続されたテストヘッ
    ドに取り付けられてなることを特徴とする集積回路測定
    装置。
JP4575582U 1982-03-31 1982-03-31 集積回路測定装置 Pending JPS58148934U (ja)

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JP4575582U JPS58148934U (ja) 1982-03-31 1982-03-31 集積回路測定装置

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JPS58148934U true JPS58148934U (ja) 1983-10-06

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