JPS58149193A

JPS58149193A - 物体移送装置

Info

Publication number: JPS58149193A
Application number: JP2878482A
Authority: JP
Inventors: 長堀　亘; 健二郎高橋; 福地　拓郎; 井坂　徳男
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1982-02-26
Filing date: 1982-02-26
Publication date: 1983-09-05
Also published as: JPH021635B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は物体移送装置に係シ、特に衝撃および機械的強
度の弱い１体の移送装置に関する。

一般に、加工ステーシ讐ンヘ、上部より被加工物体を自
動的に移送供給する場合は、（１）被加工物体な、フック状のノ・ンガーに懸吊して
移送する方式や、あるいは（２）把持機構により、被加工物体な把持固定して移送
する方式などが採られる。

比較的高い移送位ｌｉ１ａｍおよび移送速度を必要とす
る場合は、第２の方式を採用爆れることが多い。

すなわち、把持機構を有する上下動ヘッド部を下降させ
て被加工物を加工ステーシ曹ンヘ受は渡し、そこで加工
した後、再び被加工物を把持、上昇させ、つソいて、上
下動ヘッド部を旋回または横行させることにより、次の
加工ステーシ磨ンへ被加工物を移送する方式が採られる
。

このような移送方式では、何等かの理由で、正規加エス
テーシ１ン位置以外のところへ移送位置がずれたシ、を
九は、前の被加工物が正規加工ステーシ璽ン位置に残っ
ていたりした場合尋には、次いで移送される被加工物を
把持した上下動ヘッド部が下降する際に、障害物または
残存被加工物に干渉（衝突）シ、これらを押圧すること
になる。

このため、被加工物に損傷を与えたり、上下動ヘッドＳ
まえは加工ステーシ曹ンを破損したシするおそれがある
。

特に、強度の弱い電子部品や、シリコンウェハー勢の脆
いＩＵ＆を移送する場合には、弱い押圧力でも変形、破
損する場合がしばしばである。

このため、加工歩留の低下、および移送装置もしくは加
工ステーシ嘗ン機器自体の破損勢の損失をも九らし、生
産効率を着しく低下させるという欠点を生ずる。

このような欠点の改善策として、従来は、（１）上下動
ヘッド部の下降時において、被加ニー゛１　　　　　　
　の移送位置ずれを検出したシ、を九は残存被加工物勢
の障害物を検出したシする方法、（２）被加工物の把持
部、またはアーム部の押圧力を検出する荷重検出法、（３）下降駆動部において過負荷を検出する方法、など
に：り異常を検知し、下降移送動作を停止させることが
必要であるとされてい友。

しかし、加工ステーシ冒ンが、薬品溶液槽または水処理
槽等のように、洗浄処理を行なうものである場合の被加
工物移送においては、被加工物は槽内にある。

このため、前記（１）の手法による移送位置のずれ、あ
るいは障害物の直接検出が困難な場合が多く、また前記
（２）　、　（３）の手法による荷重検出および過負荷
検出においても、悪雰囲気による影響に対して充分な信
頼度を維持でき、しかも、保守の容易な検出器がないと
いう問題があった。さらにまた、制御および調整が複雑
化する勢の問題があった。

本発明は、前述の賭問題を解決するためのもので、本発
明の目的は、把持した被加工物を加工ステーシ璽ンヘ移
送する際に、被加工物あるいは移送装置、および加エス
テーシ曹ン機番の破損な防止するための、簡素で確実な
過負荷防止機構を有する物体移送装置を提供することに
ある。

前記の目的を達成するために、本発明は、把持機構によ
ｐ把持した物体−被加工物を加工ステーシ冒ンヘ下降移
送中に、障害物に衝突した場合でも、障害物に過大な押
圧力を及ぼすことがないように、把持機構を有する上下
動ヘッド部を、上方向のみへ回動自在に構成したもので
ある。

以下、本発明の一実施例を８１図、第２図、第３図によ
シ説明する。

ＩＩ１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は前記実
施例の一部断面正面図、ｗ４３図は１ｓ２図の右肯面図
である。

被加工物ＩＯを収納する収納容器９を把持するために開
閉する把持機構１および１人を、上下動ヘッド３によっ
て保持石れるアーム２の先端部に配設する。そして、図
示しない開閉機構、例えば空気シリンダー、リンク勢を
上下動ヘッド３の内部に収納する。

一方、上面が平坦な７ランヂ４を、その頂部に有し、矢
印イ、口方向へ、図示しない駆動および案内機構により
上下動され、かつ矢印ホ、へ方向へ水平横行するりフタ
−７を設ける。

１記上下動ヘッド３の底面に、軸６を有する軸受１２を
固定し、また７ランヂ４には、前記軸６を支持する支持
部材５．５Ａを固定する。前記構成によって、上下動ヘ
ッド３を７ランヂ４の上面Ａおよび軸受１２で支持する
。その結果、アーム２および上下動ヘッド３は、軸６を
中心として、鉛直面内において、矢印ハ、二方向へ自在
に回動させられるようになる。

また、１３はフランチ４に取付けられ、上下動ヘッド３
の一部自重を支える押バネ、１１は上下動ヘッド３の位
置検出器である。８は加工ステーシ曹ンに相当するもの
で、こ＼では、被加工物１０を加工処理する薬品、また
は水の槽（以下、処ｍ惜）である。前記処理槽８は、通
常、複数個、リフター７の横行方向と平行に、すなわち
矢印ホ、へ方向に配列される。

なお、前記複数の処理槽８、上下動ヘッド３、およびそ
の駆動機構勢は排気ダクトを有する図示しない全体ケー
シングの中に配設されている。

本発明は、以上の如く構成されており、通常の作動にお
いては、把持機構１．ＩＡで把持した収納容器９を、処
理槽８の中央上部へ横行移送した後、上下動ヘッド３を
矢印イ方向へ下降させ、前記収納容し９を処理槽内に定
１する。

処理完了費は、上下動ヘッド３を、再び矢印口方向へ上
昇させ友後、矢印ホ首九はへ方向へ移送し、図示しない
次の処１ＩＩｌｌで順次同様処理を行なう。なお、前述
の緒作動は、図示しない制御装置により自動的に制御さ
れるものである。

つぎに、（１）制御装置の電気的１＊は機械的故障などにより、
収納１１１６９を把持し九上下動ヘッド３が、処理槽８
に対する玉鎖位置以外で横行停止した場合、または（２）上下動ヘッド３が正規位置に横行停止した場合で
あっても、旭通榴８内に他の収納容器が残存していた場
合勢における本実施例の動作について説明する。

リフター７および上下動ヘッド３が矢印イの方向へ下降
すると、前記（１）の場合には、収納容器９が処理槽８
やその他の障害物に衝突し、また前記（２）の場合には
、収納容器同士が衝突することになる。

このような場合、アーム２および上下動ヘッド３は、収
納容器９および把持機構１．ＩＡを介して、第２図に矢
印トで示す方向の反力を受ける。その結果、二点鎖線で
示す如く、リフター７が下降するにつれて、アー７−２
および上下動ヘッド３が軸６を中心として矢印ハ方向へ
回動し、アーム２が起き上がる。

このため、収納容器による障害物への過大な押圧力を逃
がし、収納容器同士または収納容器と処理槽などの相互
の破損を防止することができる。

すなわち、上下動ヘッド３およびリフター７を、図示し
ない駆動機構によシ強制下降させているときに、収納容
器９が何勢かの障害物に衝突した場合には、アーム２が
、自動的に、軸６を中心にして時計方向に回動し始める
。そして、下限位置でリフター７が下降を停止するまで
、アーム２は前記矢印凸方向への回動を続ける。

このため、収納容器および障害物に加わる押圧力は、軸
６を回動中心とする回動部の押し上げに要する反力のみ
となる。

そして、前記の押圧力は、アーム２および上下動ヘッド
３などの回動部の自重を一部支持する押バネ１３を設け
たり、または、上下動ヘッド３に、軸６に対して反アー
ム側に位置するように図示しないバランスウェイトを付
加したシすることによシ、任意Ｋｌｉ整することができ
る。

なお、アーム２の最大回動角を規制する場合、または異
常を早期に素早く検知したい場合などには、位置検出器
１１によシ任意の回動量を検知させ、強制下降作動を即
時に停止させるようにすることができる。

この場合の位置検出器１１は、７ランヂ４の上面Ａから
の、上下動ヘッド３の底面の（なるべくは、変位の大き
い側での）浮き上が９量を検出できるものであればよく
、構造簡素な防滴形リミットスイッチ等の利用が可能で
ある。

なお、本実施例によれば、任意の横行位置で、上下動ヘ
ッド３が最下点に下降し、アーム２が最大角まで起上っ
た際にも、回動部自体の周辺機器への干渉等の影畳がな
い場合には、位置検出器１１が万一故障により作動しな
くとも破損番故につながることはない。それ故に、この
ような場合には、位置検出器１１を省略することができ
る。

収納容器９を処理槽８内に定置し、被加工物１０を処理
加工した後、次の処理槽へ移送するため、図示しない駆
動装置によシ、リフター７を矢印口の方向へ上昇させた
場合、上下動ヘッド３は、軸６を中心とした矢印二方向
へのモーメントを受ける。

しかし、この場合、上下動ヘッド３の底面は、７ランヂ
４の上面Ａで受けられているため、アーム２が反時計方
向に、過度に回動することはなく、収納容器１１を確実
に強制上昇させることができる。

以上の駁明から明らかなように、本発明によれば、把持
した被加工物を上下動移送する際に１万一、移送制御異
常が生じても、前述の簡素な過負衝防止機構を採用する
ととＫよジ、被加工物、または移送および加工処１１！
１ＩＩＩｉ器への損傷を確実に防止できるので、加工歩
留の向上および機器損傷による損失防止な図ることがで
き、生産効率を向上させる効果がある。

【図面の簡単な説明】

謝１図は本発明による一実施例な示す斜視図、第２図は
菖１図の実施例の一部断面正面図、第３図は謳２図の右
＠面図である。１．１ム・・・把持機構、２・アーム、３・・・上下動
ヘッド、４・・フランチ、６・軸、７−・リフター、８
・処理槽、９・収納１１器、１０・・・皺加工物、１１
位置検出器、１３・・押バネ代珊人弁珊士　平　木　道　人

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被移送物体な把持、懸吊し、上昇および下降する
物体移送装置において、上昇、下降運動をするり７ター
と、前記リフターの上部に、鉛直面内で回動できるよう
に取付けられ、その先端に被移送物体の把持機構を備え
られたアームと、前記アームが下向きに予定角度以上回
動するのを阻止する手段とを具備したことを特徴とする
物体移送装置。
（２）被移送物体な把持、懸吊し、上昇および下降する
物体移送装置において、上昇、下降運動をするりフタ−
と、前記リフターの上部に、鉛直面内で回動できるよう
に取付けられ、その先端に被移送物体の把持機構を備え
られたアームと、前記アームが下向きに予定角度以上回
動するのを阻止する手段と、前記アームが上向きに予定
角度以上起上つ九ことを検知する手段と、前記検知手段
の出力に応じて前記リフターの下降動作を停止させる手
段とを具備したことを特徴とする物体移送装置。