JPS58154482A - レ−ザ加工機 - Google Patents
レ−ザ加工機Info
- Publication number
- JPS58154482A JPS58154482A JP57038468A JP3846882A JPS58154482A JP S58154482 A JPS58154482 A JP S58154482A JP 57038468 A JP57038468 A JP 57038468A JP 3846882 A JP3846882 A JP 3846882A JP S58154482 A JPS58154482 A JP S58154482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- laser
- face
- light guide
- processing machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はオプティカル・ファイバー与党ｄｓｆ用いたレ
ーザ加工機に関するもので、炭酸ガスレーザ（以下ｃｏ
２レーザと記す）出力ビームのオプティカル・ファイバ
ーへの紹合時件の同Ｊ二をはかったし〜ザ加圧戦葡提供
するものである。
ーザ加工機に関するもので、炭酸ガスレーザ（以下ｃｏ
２レーザと記す）出力ビームのオプティカル・ファイバ
ーへの紹合時件の同Ｊ二をはかったし〜ザ加圧戦葡提供
するものである。
オプティカル・ファイバー導光路ケもっＣ０２し＝→ツ
ノ−スは導光路の可撓性の同上による高い操作性と内視
鏡レーザメスへの展開なと将来性の高いレーザメスと云
える。近年ＣＯ２レーザ光を透過する赤外ファイバーの
研究成果が公表されてきたがそのなかでもＫＲＳ−５（
Ｔ７！Ｉ 、 ＴｌＢｒ混晶）は最も高い破壊閾値全示
し、定常使用に対しファイバーよりの射出ビーム強吸２
ｏｖＶ、数秒以内の短時間使用に対しては１００Ｗと￥
し告６れている。
ノ−スは導光路の可撓性の同上による高い操作性と内視
鏡レーザメスへの展開なと将来性の高いレーザメスと云
える。近年ＣＯ２レーザ光を透過する赤外ファイバーの
研究成果が公表されてきたがそのなかでもＫＲＳ−５（
Ｔ７！Ｉ 、 ＴｌＢｒ混晶）は最も高い破壊閾値全示
し、定常使用に対しファイバーよりの射出ビーム強吸２
ｏｖＶ、数秒以内の短時間使用に対しては１００Ｗと￥
し告６れている。
−万ＫＲ８−５ファイバーの欠点は低い透過特性にある
と云える。伝播損失としてはファイバー入射端面と出射
端面ておけるフレネル反射損失とファイバー通過時の吸
収及び散乱損失の二種に大別てれ、特に前者が高い屈折
率の故に太きく（反射率１６．ｔｓ９６／’而）、総合
透過率が約６０％と云う低い値になってしまいレーザエ
ネルキ−の利用効率ケ著るしく低下させてし捷う。
と云える。伝播損失としてはファイバー入射端面と出射
端面ておけるフレネル反射損失とファイバー通過時の吸
収及び散乱損失の二種に大別てれ、特に前者が高い屈折
率の故に太きく（反射率１６．ｔｓ９６／’而）、総合
透過率が約６０％と云う低い値になってしまいレーザエ
ネルキ−の利用効率ケ著るしく低下させてし捷う。
従来のファイバーレーザメスメ永本構成全第１図に示す
。図中、１はレーザ発振器、２はレーザ電源、３はレー
ザ光、４はファイバー結合用しンス、５はオプティカル
・ファイバー導光路、５１はファイバー入射端面、５２
は同出射端面、６は巣晃レンズ、７は手術対象、８は焦
点である。レーザ発振器１からのレーザ光３は直径約１
０ｍｍφ。
。図中、１はレーザ発振器、２はレーザ電源、３はレー
ザ光、４はファイバー結合用しンス、５はオプティカル
・ファイバー導光路、５１はファイバー入射端面、５２
は同出射端面、６は巣晃レンズ、７は手術対象、８は焦
点である。レーザ発振器１からのレーザ光３は直径約１
０ｍｍφ。
拡がり角１〜２ ｍｒａｄであり、結合レンズ４により
ファイバー入射端面５１上に０．３〜Ｏｊ４ｍｍφの径
以下に集光しファイバー５に導入する。この入射端面６
１での反射損失は前記した様にＫＲ８−５とＣＯ２レー
ザ光の組合わせで１６．５９６である。
ファイバー入射端面５１上に０．３〜Ｏｊ４ｍｍφの径
以下に集光しファイバー５に導入する。この入射端面６
１での反射損失は前記した様にＫＲ８−５とＣＯ２レー
ザ光の組合わせで１６．５９６である。
この反射損失とファイバー射出端面６２における同率の
反射損失は両面に反射防止膜を付することにより減少さ
せることができ、その時総合透過率は約９０９６まで高
めることが理論上可能である。
反射損失は両面に反射防止膜を付することにより減少さ
せることができ、その時総合透過率は約９０９６まで高
めることが理論上可能である。
ところが−Ｆ記した様にファイバー入射端面６１−Ｆで
し〜導光は直径約ｏ、３ｍｍφ捷で集光されるので入射
レーザ光強度が５０ ’Ｗであるとすると反射防止膜上
でのエネルキニ密度は約７０ＫＷ／ｃａと云、°。
し〜導光は直径約ｏ、３ｍｍφ捷で集光されるので入射
レーザ光強度が５０ ’Ｗであるとすると反射防止膜上
でのエネルキニ密度は約７０ＫＷ／ｃａと云、°。
う高い値になってしまい、この程度の耐光強度を持つ反
射防止膜は残念ながら現在は入手できない。
射防止膜は残念ながら現在は入手できない。
レーザ光３ケ直線偏光にしておきファイバー入射端１ｍ
５１でブリ、−スター角入射を行わせれば入射端面６１
での１ゾ射損失は除去することかて゛きる。ところが通
常のレーザメス用オプティカル・ファイバー５では光の
伝播に際して偏光面作持がなσ扛ないので射出端面５２
では＠線側光でなくなってし１い、この面をブリー−ス
ター角に研磨しておいてもフレネル反射損失は依然と１
〜て残存する。
５１でブリ、−スター角入射を行わせれば入射端面６１
での１ゾ射損失は除去することかて゛きる。ところが通
常のレーザメス用オプティカル・ファイバー５では光の
伝播に際して偏光面作持がなσ扛ないので射出端面５２
では＠線側光でなくなってし１い、この面をブリー−ス
ター角に研磨しておいてもフレネル反射損失は依然と１
〜て残存する。
本発明はオプティカル・ファイバーとレーザの組合ぜか
ら成るレーザ加工機においてファイバー入射及び出射端
部の双方をブ’Ｊ ｘ−スター角入射の条件が成立する
様に研磨し、フレネル反射損失全入射端面と射出端面の
双方において防止し、総合透過率全豹９０９６にまで高
め、レーザ利・用効率を大幅に改善したレーザメス全提
供するものである。その基本構成ケ第２図に示す。
ら成るレーザ加工機においてファイバー入射及び出射端
部の双方をブ’Ｊ ｘ−スター角入射の条件が成立する
様に研磨し、フレネル反射損失全入射端面と射出端面の
双方において防止し、総合透過率全豹９０９６にまで高
め、レーザ利・用効率を大幅に改善したレーザメス全提
供するものである。その基本構成ケ第２図に示す。
同図において、１１は面一偏光し−サ発振器、２はレー
ザ用電源、１３は直線偏光レーザ光であり、結合用レン
ズ４によってオプティカル・ファイバー１５の入射端面
５１０上に集光芒れる。同人射端面５１０は入射角がブ
’Ｊ ｘ−スター角になる様に斜めに研磨きれており、
フレネル反射損失がない。１５は単−偏波光型のオプテ
ィカル・ファイバーでありその出射端面５２０も入射端
面６１０と同様にブ’Ｊ ｚ−スター角研ばがなさ扛て
おりフレネル反射損失が除去されている。集光レンズ６
によってファイバー出射光が集光され手術対象Ｔ上の焦
点８に照射きれる。
ザ用電源、１３は直線偏光レーザ光であり、結合用レン
ズ４によってオプティカル・ファイバー１５の入射端面
５１０上に集光芒れる。同人射端面５１０は入射角がブ
’Ｊ ｘ−スター角になる様に斜めに研磨きれており、
フレネル反射損失がない。１５は単−偏波光型のオプテ
ィカル・ファイバーでありその出射端面５２０も入射端
面６１０と同様にブ’Ｊ ｚ−スター角研ばがなさ扛て
おりフレネル反射損失が除去されている。集光レンズ６
によってファイバー出射光が集光され手術対象Ｔ上の焦
点８に照射きれる。
さて単−偏波光オプティカル・ファイバー１５としては
通信及び情報処理の分野で可視および近赤外オプティカ
ル・ファイバーとして近年発表されているものがある。
通信及び情報処理の分野で可視および近赤外オプティカ
ル・ファイバーとして近年発表されているものがある。
パワー伝送用の遠赤外ファイバーにおいては製品元表例
はないがその原理は共通であるので、現在のＣ０２レー
→ノー用フアイバーの構造全修正することによって製作
することができる。その原理はファイバー４１面」二の
直交ｘ、ｙ座標軸に関する偏光波Ｅｘ及びｍｙモードの
軸方向伝播定数βＸ及び〜ケ犬差ケもって異った値にし
て両モード間の変？Ａ全防屯することにある。それには
二種の方法が提某されており、第一はｘ、ｙ方向の屈折
率を異ったものにする複屈折現象全利用することであり
、第二はファイノ・−断面を真円でなくｘ、ｙ方向に異
った拡がりケ持つ特殊な形状にすることである。後者に
おける二三の断面形状ケ第３図、第４図、第５図に示す
。第３図は楕円、第４図は矩形、第６図はひょうたん形
のものであり、これらは何れもｘ、ｙ方向の伝播距離が
異なるのでβＸ及びβｙが分離されるのである０第３図
の楕円断面のもので云えば、楕円率−ｂ ａｌｂ 、 ［１１の時にＸ軸
方向への偏光の程度を示す消光比ｅｙ１２ が−２８ｄＢ 程度のものになる。Ｃ０２レー」）゛光
用遠赤外ＫＲ３−６フアイノ・−はダイスよりの加熱押
１ｆａｊｌ成ｌ″１°１製１乍Ｔ ｂ （Ｄ、、”ｔ’
門３ 図〜第６ 図に示す断面形状のオプティカル・
ファイバーはダイス形状全要望の断面積形状に等しくす
ることによって求めら扛る。
はないがその原理は共通であるので、現在のＣ０２レー
→ノー用フアイバーの構造全修正することによって製作
することができる。その原理はファイバー４１面」二の
直交ｘ、ｙ座標軸に関する偏光波Ｅｘ及びｍｙモードの
軸方向伝播定数βＸ及び〜ケ犬差ケもって異った値にし
て両モード間の変？Ａ全防屯することにある。それには
二種の方法が提某されており、第一はｘ、ｙ方向の屈折
率を異ったものにする複屈折現象全利用することであり
、第二はファイノ・−断面を真円でなくｘ、ｙ方向に異
った拡がりケ持つ特殊な形状にすることである。後者に
おける二三の断面形状ケ第３図、第４図、第５図に示す
。第３図は楕円、第４図は矩形、第６図はひょうたん形
のものであり、これらは何れもｘ、ｙ方向の伝播距離が
異なるのでβＸ及びβｙが分離されるのである０第３図
の楕円断面のもので云えば、楕円率−ｂ ａｌｂ 、 ［１１の時にＸ軸
方向への偏光の程度を示す消光比ｅｙ１２ が−２８ｄＢ 程度のものになる。Ｃ０２レー」）゛光
用遠赤外ＫＲ３−６フアイノ・−はダイスよりの加熱押
１ｆａｊｌ成ｌ″１°１製１乍Ｔ ｂ （Ｄ、、”ｔ’
門３ 図〜第６ 図に示す断面形状のオプティカル・
ファイバーはダイス形状全要望の断面積形状に等しくす
ることによって求めら扛る。
第２の実施例として上記の単一偏光板オプティカル・フ
ァイバーでなくとも通常の真円ファイバーであっても本
発明の目的に合致する使用方法がある。真円ファイバー
ではＥｘ及びＥ７モードの光波はお互に相互変侠全しな
がら伝播して行くので第６図（ａｌ 、 （ｔ）ｌに示
す如く＠線偏光彼全入射きぜても、伝播定数差△β＝β
Ｘ−βｙ（βＸ：）ＥＸモードの軸方向伝播定数、βｙ
： Ｅｙモードの軸方向伝播定数）として （１） 直線偏光 △β２二〇 （３）
（５） 直線偏光 △β２−π （７
）のザイクルで偏光状態が周期変動盆見−Ｕ（第６図ｔ
ｌｌＬｌ参照） △βＺ ＝ ２ ｍπ、・：１１１ｍ：：１，２．・・
・ （８）に相当するｚ ＝ Ｌ毎に入射面に入射
した時の旧線偏光状態が再現δれる０このＩ４−ヒート
長と云い第６図（ｂｌの散乱光強度に示すように偏光方
向の座標軸上から見た散乱光全測定することにより（８
）式を満足するＺｉ求めることができる。第２図に示す
本発明の構成のレーザメスにおいてオプティカル・ファ
イバー長ヲ（８）式から求められる２ｍ π ６β （９） 但しｍ＝１．２．・・・ に選へは単−偏光波型でない通常のオプティカル・ファ
イバー５甲いても出射端■でのプリー−スター角の条件
が満足でれてフレネル反射損失を防止することができる
。この場合も総合透過率９０９６程度ケ達成することが
できる。
ァイバーでなくとも通常の真円ファイバーであっても本
発明の目的に合致する使用方法がある。真円ファイバー
ではＥｘ及びＥ７モードの光波はお互に相互変侠全しな
がら伝播して行くので第６図（ａｌ 、 （ｔ）ｌに示
す如く＠線偏光彼全入射きぜても、伝播定数差△β＝β
Ｘ−βｙ（βＸ：）ＥＸモードの軸方向伝播定数、βｙ
： Ｅｙモードの軸方向伝播定数）として （１） 直線偏光 △β２二〇 （３）
（５） 直線偏光 △β２−π （７
）のザイクルで偏光状態が周期変動盆見−Ｕ（第６図ｔ
ｌｌＬｌ参照） △βＺ ＝ ２ ｍπ、・：１１１ｍ：：１，２．・・
・ （８）に相当するｚ ＝ Ｌ毎に入射面に入射
した時の旧線偏光状態が再現δれる０このＩ４−ヒート
長と云い第６図（ｂｌの散乱光強度に示すように偏光方
向の座標軸上から見た散乱光全測定することにより（８
）式を満足するＺｉ求めることができる。第２図に示す
本発明の構成のレーザメスにおいてオプティカル・ファ
イバー長ヲ（８）式から求められる２ｍ π ６β （９） 但しｍ＝１．２．・・・ に選へは単−偏光波型でない通常のオプティカル・ファ
イバー５甲いても出射端■でのプリー−スター角の条件
が満足でれてフレネル反射損失を防止することができる
。この場合も総合透過率９０９６程度ケ達成することが
できる。
第３の実施例を第７図に示す。この実施例におけるオプ
ティカル・ファイバー５も単−偏波光型でない通常のフ
ァイバーである。Ｌノ−サは第２図の場合と同様直線偏
光レーザ１１であり、オプティカル・ファイバー６の入
射端面５１０も、第２図と同様ブＩＪ、−スター角入射
の条件が満足さ扛るよう斜面研Ｍがなされている。従っ
て入射端面６１０でのフレネル反射損失はない。オプテ
ィカル・ファイバー５甲を伝播する時吸収及び散乱に０ よる損失約１０９６が発生し出射端面５３０に至る。
ティカル・ファイバー５も単−偏波光型でない通常のフ
ァイバーである。Ｌノ−サは第２図の場合と同様直線偏
光レーザ１１であり、オプティカル・ファイバー６の入
射端面５１０も、第２図と同様ブＩＪ、−スター角入射
の条件が満足さ扛るよう斜面研Ｍがなされている。従っ
て入射端面６１０でのフレネル反射損失はない。オプテ
ィカル・ファイバー５甲を伝播する時吸収及び散乱に０ よる損失約１０９６が発生し出射端面５３０に至る。
この出射端面５３０が素材表向の１捷の垂直研磨面であ
ればここでフレネル反射損失約１５％が発生するので総
合透過率は約７５９６になる。こγＬでも第１図に示し
た従来のレーザメスの総合透過率６ｏ％よりは改善をれ
ている。捷た第７図に示した実施例ではオプティカル−
ファイバ出射端面５３０には反射防市膜５３０が設けら
扛ている。
ればここでフレネル反射損失約１５％が発生するので総
合透過率は約７５９６になる。こγＬでも第１図に示し
た従来のレーザメスの総合透過率６ｏ％よりは改善をれ
ている。捷た第７図に示した実施例ではオプティカル−
ファイバ出射端面５３０には反射防市膜５３０が設けら
扛ている。
この場合はフレネル反射損失は防１１−できるので総合
透過率は９０９６ ’ｆｒ：達成することができる。Ｗ
射防止膜はファイバ一端面における高い光エネルキー密
度に耐え難いことを前記したが、出射端面６３０は入射
端面よりも約１０９６光強度が低ドしているので破壊の
確率は低いものになるので、たとえば誘電体多層膜等を
蒸着方法により形成すれば良い。
透過率は９０９６ ’ｆｒ：達成することができる。Ｗ
射防止膜はファイバ一端面における高い光エネルキー密
度に耐え難いことを前記したが、出射端面６３０は入射
端面よりも約１０９６光強度が低ドしているので破壊の
確率は低いものになるので、たとえば誘電体多層膜等を
蒸着方法により形成すれば良い。
以上述べたように本発明によればＣ０２レーザ光をオプ
ティカル・ファイバーに結合する時に宿命的に発生する
高いフレネル反射損失全防止しオプティカルファイバー
総合透過率を約り０％捷で高めることができるので、Ｃ
Ｏ２レーザ光會オプティカル・ファイバー導光路に組合
わせて用いる１ノ〜サメス或いは加工装置におけるＩ／
−ザエネルキー利用効率全改良することができる。
ティカル・ファイバーに結合する時に宿命的に発生する
高いフレネル反射損失全防止しオプティカルファイバー
総合透過率を約り０％捷で高めることができるので、Ｃ
Ｏ２レーザ光會オプティカル・ファイバー導光路に組合
わせて用いる１ノ〜サメス或いは加工装置におけるＩ／
−ザエネルキー利用効率全改良することができる。
第１図は従来技術によるオプティカル・ファイバー導光
路方式し−サ加圧機の基本構成を示す概念図、第２図は
本発明の第一の実施例である単−偏波光型オプティカル
・ファイバー導光路レーザ加工機の基本構成全量す概念
図、第３図、第４図及び第５図は単−偏波光型オプティ
カル・ファイバーの断面形状図を示す図、第６図（２Ｌ
）は単−偏波光型でない通常オプティカル・ファイバー
Ｋ ＠ｉ＃偏光ｖを入射させた時の伝送に伴う偏光状態
の変化の様子を示す図、同（ｂｌはその時の散乱光強度
の変化の様子をそ扛ぞ扛示す図、第７図は本発明の第二
の実施例の基本構成を示￥佛念図である。 、・・・・・ルーサ共振器、２・・・−・商用電源、３
・−・・・レーザビーム、４・・・・・・結合用レンズ
、５・・・・オプティカル・ファイバー導光路、６１・
・・ 垂直研磨のま＼の入射端面、５２・・・・・・同
出射端面、６１０・・・・・・ブ１．−スター角入射用
に研磨さｎた入射端面、５２０−・・・・同出射端面、
５３ｏ・・・・・・反射防止膜付出射端面、６・・・・
集光用レンズ、７・・・・・被照射物、８・・・・・・
焦点、１１・・・・・・＠線側光レーザ、１３・・・・
・・＠線側光し−→）光、１６・・・・・・単−偏波光
型オブティ力ルーファイノ１゜ 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名゛、 □ 第１図 第２図 ／／ 第６図 イ之オ「す”シ（（Δβ２ン 第７図 １
路方式し−サ加圧機の基本構成を示す概念図、第２図は
本発明の第一の実施例である単−偏波光型オプティカル
・ファイバー導光路レーザ加工機の基本構成全量す概念
図、第３図、第４図及び第５図は単−偏波光型オプティ
カル・ファイバーの断面形状図を示す図、第６図（２Ｌ
）は単−偏波光型でない通常オプティカル・ファイバー
Ｋ ＠ｉ＃偏光ｖを入射させた時の伝送に伴う偏光状態
の変化の様子を示す図、同（ｂｌはその時の散乱光強度
の変化の様子をそ扛ぞ扛示す図、第７図は本発明の第二
の実施例の基本構成を示￥佛念図である。 、・・・・・ルーサ共振器、２・・・−・商用電源、３
・−・・・レーザビーム、４・・・・・・結合用レンズ
、５・・・・オプティカル・ファイバー導光路、６１・
・・ 垂直研磨のま＼の入射端面、５２・・・・・・同
出射端面、６１０・・・・・・ブ１．−スター角入射用
に研磨さｎた入射端面、５２０−・・・・同出射端面、
５３ｏ・・・・・・反射防止膜付出射端面、６・・・・
集光用レンズ、７・・・・・被照射物、８・・・・・・
焦点、１１・・・・・・＠線側光レーザ、１３・・・・
・・＠線側光し−→）光、１６・・・・・・単−偏波光
型オブティ力ルーファイノ１゜ 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名゛、 □ 第１図 第２図 ／／ 第６図 イ之オ「す”シ（（Δβ２ン 第７図 １
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＋１１ 直線偏光波全出射するレーザ発振器からの出
力ビームをオプティカル・ファイバ導光Ｅｆｔ介して被
照射物に導くように構成σ扛、前記オプティカル・ファ
イバ導光路の入射端面がブリュースタ角に設定きｎでい
ること全特徴とするレーザ加工機。 （２） オプティカル・ファイバ導光路の出射面に反
射防止膜が形成σれていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のレーザ加工機。 （３） オプティカル・ファイバ導光路長が、出射端
面において面１ｄ偏光性が再現される長さ全■し、前記
出射端面がブリュースタ角に設定されていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ加工機。 （４） オプティカル・ファイバ導光路が面線偏光保
存型であり、出射端面がグリー−スタ角に設定されてい
ること全特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ
加工機。 （５） オプティカル・ファイバ導光路が直線偏光保
存型であり、前記ファイバ纏光路断面が楕円。 矩形、ひょうたん形であること全特徴とする特許請求の
範囲第４項記載のレーザ効ロエ機。 （６）レーザ元振器力）らの出力ビームを結合レンズケ
用いてオプティカル・ファイバに導入させたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項乃至第５項のいずれかに記
載のレー→ノ°加工機。 （７） オプティカル−ファイバ出射端面からの射出
ビームを集光レンズケ介して被照射物上に照射すること
全特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第５項のいずれ
かに記載のレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57038468A JPS58154482A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | レ−ザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57038468A JPS58154482A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | レ−ザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58154482A true JPS58154482A (ja) | 1983-09-13 |
| JPS6249152B2 JPS6249152B2 (ja) | 1987-10-17 |
Family
ID=12526070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57038468A Granted JPS58154482A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | レ−ザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58154482A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05261303A (ja) * | 1992-03-23 | 1993-10-12 | Hitachi Zosen Corp | 加熱昇温脱離法 |
| WO2011010330A1 (en) * | 2009-07-21 | 2011-01-27 | Datalogic Automation S.R.L. | Laser system for processing materials with means for focussing and anticipating said focussing of the laser beam; method of obtaining a laser beam at the exit of an optical fibre with predetermined variance |
-
1982
- 1982-03-10 JP JP57038468A patent/JPS58154482A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05261303A (ja) * | 1992-03-23 | 1993-10-12 | Hitachi Zosen Corp | 加熱昇温脱離法 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6249152B2 (ja) | 1987-10-17 |
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