JPS58166785A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS58166785A JPS58166785A JP4890382A JP4890382A JPS58166785A JP S58166785 A JPS58166785 A JP S58166785A JP 4890382 A JP4890382 A JP 4890382A JP 4890382 A JP4890382 A JP 4890382A JP S58166785 A JPS58166785 A JP S58166785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- gas
- cooling medium
- laser device
- discharge tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ装置に係り、特に放電管とこの放電管を
支持する架台とを有するレーザ装置に関するものである
。
支持する架台とを有するレーザ装置に関するものである
。
レーザ装置の従来的が第１図および第２図に示されてい
る。レーザ装置はレーザ光を発生する放電管ｌと、この
放電管ｌを支持する架台２およびこの架台２を支持する
支持台３とから構成されている。このように構成された
レーザ装置の放電管ＩＫは、レーザ光を折り返す丸めの
祈り返し鏡４、反射鏡５、出力鋺６、グロー放電による
レーザ光を発生させるガス媒体（ＣＯｔ 、 Ｎｔ 、
Ｈ＊ ）混合ガス）を循環させるためのガス供給ロア
、ガス流出口８が夫々設けられている。そしてガス媒体
は図中に点線で示されているように、プロア９からガス
供給ロア、放電管１、ガス流出口８、熱交換器１０、プ
ロア９へと循環・流通している。
る。レーザ装置はレーザ光を発生する放電管ｌと、この
放電管ｌを支持する架台２およびこの架台２を支持する
支持台３とから構成されている。このように構成された
レーザ装置の放電管ＩＫは、レーザ光を折り返す丸めの
祈り返し鏡４、反射鏡５、出力鋺６、グロー放電による
レーザ光を発生させるガス媒体（ＣＯｔ 、 Ｎｔ 、
Ｈ＊ ）混合ガス）を循環させるためのガス供給ロア
、ガス流出口８が夫々設けられている。そしてガス媒体
は図中に点線で示されているように、プロア９からガス
供給ロア、放電管１、ガス流出口８、熱交換器１０、プ
ロア９へと循環・流通している。
ところでこのようなレーザ装置ではレーザ光発振時には
放電管１が発熱し、この発熱による輻射、熱伝導によっ
て架台２および支持台３に温度勾配を生じるが、その＠
度勾配は中央部が低く、両端部が高い。すなわち、ガス
供給ロアは放電管１の中央部に、ガス流出口８はその両
端部に夫々設けられていて、ガス供給ロアから供給され
たガス媒体は放電ｆ１内を左右にわかれて通り、両端の
ガス流出口８より夫々流出するので、熱交換器１０によ
って冷却され、プロア９によって供給されるガス媒体の
温度は、ガス供給ロアで最も低く、ガス流出口８ではガ
ス媒体が放電管１内を通り暖められて出るので蛾も高く
なる。このためガス供給ロア近傍の架台２の中央部の温
度が低く、ガス流出口８近傍の架台２の両端部の温度が
尚くなる。
放電管１が発熱し、この発熱による輻射、熱伝導によっ
て架台２および支持台３に温度勾配を生じるが、その＠
度勾配は中央部が低く、両端部が高い。すなわち、ガス
供給ロアは放電管１の中央部に、ガス流出口８はその両
端部に夫々設けられていて、ガス供給ロアから供給され
たガス媒体は放電ｆ１内を左右にわかれて通り、両端の
ガス流出口８より夫々流出するので、熱交換器１０によ
って冷却され、プロア９によって供給されるガス媒体の
温度は、ガス供給ロアで最も低く、ガス流出口８ではガ
ス媒体が放電管１内を通り暖められて出るので蛾も高く
なる。このためガス供給ロア近傍の架台２の中央部の温
度が低く、ガス流出口８近傍の架台２の両端部の温度が
尚くなる。
従ってこの架台２の両端部近傍の折り返し鏡４、反射鏡
５、出力鏡６等を支持している支持部に熱変形が生じ、
これら鏡４．５．６間に、鏡開の微少ずれや角度変化、
すなわち、アライメント調整ずれを生じさせるようにな
り、安定したレーザ光発振が行われ難い欠点があった。
５、出力鏡６等を支持している支持部に熱変形が生じ、
これら鏡４．５．６間に、鏡開の微少ずれや角度変化、
すなわち、アライメント調整ずれを生じさせるようにな
り、安定したレーザ光発振が行われ難い欠点があった。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、その目的
とするところは、安定したレーザ光発振を可能としたレ
ーザ装置を提供するにおる。
とするところは、安定したレーザ光発振を可能としたレ
ーザ装置を提供するにおる。
すなわち本発明は、架台に、ガス流出口側に位置する冷
却媒体供給口と、ガス供給口側に位置する冷却媒体流出
口とを有する冷却路を設けて冷却媒体を流通するように
したことを特徴とするものである。
却媒体供給口と、ガス供給口側に位置する冷却媒体流出
口とを有する冷却路を設けて冷却媒体を流通するように
したことを特徴とするものである。
以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。第
３図から第５図には本発明の一実施例が示される。なお
従来と同じ部品には同じ符号を付したので説明は省略す
る。本実施例では架台２息に、ガス流出口８ｔｆｉｌｌ
に冷却媒体供給口１１と、ガス供給ロア側に冷却媒体流
出口１２とを有する冷却路１３を設けて冷却媒体１４を
流通するようにした。すなわち、架台２ａに、そのガス
流出口８側である両端に冷却媒体供給口１１と、これら
冷却媒体Ｆ＃給口１１の閾のガス供給ロア側に冷却媒体
θ毘出口１２とを有する冷却路１３を設けた。そしてこ
の冷却路１３に冷却媒体１４を図中に一点鎖線で示しで
あるよりに冷却媒体供給口１１から供給し、冷却媒体流
出口１２から流出させるようにした。このようにするこ
とにより、架台２＆の熱変形が少なくなって、安定した
レーザ光発振が可能となる。すなわち、レーザ光の発振
時における放電管１の発熱による架台２ａに対する影響
は、ガス流出口８近傍の架台２ａの端部が最も着しく、
ガス供給ロア近傍の中間部が最も小さく、従って中間部
から端部にかけての温度勾配が大であったが、その端部
が最もよく冷却されるように温度勾配の大きいガス流出
口８側の冷却媒体供給口１１から冷却媒体１４を供給す
るようにしたので、端部が最もよく冷却され、架台２ａ
の温度勾配を低減し、熱変形を防止することができる。
３図から第５図には本発明の一実施例が示される。なお
従来と同じ部品には同じ符号を付したので説明は省略す
る。本実施例では架台２息に、ガス流出口８ｔｆｉｌｌ
に冷却媒体供給口１１と、ガス供給ロア側に冷却媒体流
出口１２とを有する冷却路１３を設けて冷却媒体１４を
流通するようにした。すなわち、架台２ａに、そのガス
流出口８側である両端に冷却媒体供給口１１と、これら
冷却媒体Ｆ＃給口１１の閾のガス供給ロア側に冷却媒体
θ毘出口１２とを有する冷却路１３を設けた。そしてこ
の冷却路１３に冷却媒体１４を図中に一点鎖線で示しで
あるよりに冷却媒体供給口１１から供給し、冷却媒体流
出口１２から流出させるようにした。このようにするこ
とにより、架台２＆の熱変形が少なくなって、安定した
レーザ光発振が可能となる。すなわち、レーザ光の発振
時における放電管１の発熱による架台２ａに対する影響
は、ガス流出口８近傍の架台２ａの端部が最も着しく、
ガス供給ロア近傍の中間部が最も小さく、従って中間部
から端部にかけての温度勾配が大であったが、その端部
が最もよく冷却されるように温度勾配の大きいガス流出
口８側の冷却媒体供給口１１から冷却媒体１４を供給す
るようにしたので、端部が最もよく冷却され、架台２ａ
の温度勾配を低減し、熱変形を防止することができる。
従って架台２ａの端部に設けである鏡取り付は金具１５
の熱変形が防止され、鏡開の微少ずれや角度変化、すな
わち、アライメント調整ずれの発生を防止することがで
き、安定したレーザ光の発振を得ることができる。なお
架台２ａと支持台３とはその間にフリーベアリング１６
を設けて、支持台３の影響が放電管１を直接支持してい
る架台２ａに伝わらないようにしである。
の熱変形が防止され、鏡開の微少ずれや角度変化、すな
わち、アライメント調整ずれの発生を防止することがで
き、安定したレーザ光の発振を得ることができる。なお
架台２ａと支持台３とはその間にフリーベアリング１６
を設けて、支持台３の影響が放電管１を直接支持してい
る架台２ａに伝わらないようにしである。
本発明の他の実施例が第６図に示されている。
本実施例は折り返し鏡を有していない小各緻の放電管１
＆に適用した場合である。架台２ｂにその一方端のガス
流出口８Ｎに位置する冷却媒体供給口１１５１１と、他
方端のガス供給ロアｇＡに位置する冷却媒体流出口１２
ａとを有する冷却路（図示せず）を設け、冷却媒体１４
を図中に一点鎖線で示しであるように冷却媒体供給口１
１１から供給し、冷却媒体流出口１２ａから流出させる
ようにした。
＆に適用した場合である。架台２ｂにその一方端のガス
流出口８Ｎに位置する冷却媒体供給口１１５１１と、他
方端のガス供給ロアｇＡに位置する冷却媒体流出口１２
ａとを有する冷却路（図示せず）を設け、冷却媒体１４
を図中に一点鎖線で示しであるように冷却媒体供給口１
１１から供給し、冷却媒体流出口１２ａから流出させる
ようにした。
この場合にも前述の場合と同様な作用効果を奏すること
かできる。
かできる。
上述のように本発明は、架台に、その高温に曝される方
から冷却媒体を流して冷却するようにしたので、高温に
曝される部分がよく冷却されて架台の温度勾配が低減さ
れるようになって、架台の熱変形が防止されるようにな
り、安定したレーザ光発振を可能としたレーザ装置を得
ることがで齢る。
から冷却媒体を流して冷却するようにしたので、高温に
曝される部分がよく冷却されて架台の温度勾配が低減さ
れるようになって、架台の熱変形が防止されるようにな
り、安定したレーザ光発振を可能としたレーザ装置を得
ることがで齢る。
第１図は従来のレーザ装置の平面図、第２図は１０１じ
くレーザ装置の側面図、第３図は本発明のレーザ装置の
一実施例の側面図、第４図は本発明のレーザ装置の一実
ｍガの架台の斜視図、第５図は本発明のレーザ装置の一
実施例の架台の断面図、第６図は本発明のレーザ装置の
他の実施的の側面図である。 １．１ａ・・・放電管、２ａ、２ｂ・・・架台、７・・
・ガス供給口、８・・・ガス流出口、１１．１１ａ・・
・冷却媒体供給口、１２．１２ａ・・・冷却媒体流出口
、１３・・・冷却器、１４・・・冷却媒体。 早 ４ 色 第 、５ 図 −？、８’ｉ
くレーザ装置の側面図、第３図は本発明のレーザ装置の
一実施例の側面図、第４図は本発明のレーザ装置の一実
ｍガの架台の斜視図、第５図は本発明のレーザ装置の一
実施例の架台の断面図、第６図は本発明のレーザ装置の
他の実施的の側面図である。 １．１ａ・・・放電管、２ａ、２ｂ・・・架台、７・・
・ガス供給口、８・・・ガス流出口、１１．１１ａ・・
・冷却媒体供給口、１２．１２ａ・・・冷却媒体流出口
、１３・・・冷却器、１４・・・冷却媒体。 早 ４ 色 第 、５ 図 −？、８’ｉ
Claims (1)
- １６ ガス供給口およびガス光出口を有し、かつ、レ
ーザ光を発振させる放電管と、この放電管を支持する架
台とからなるレーザ装置において、前記架台に、前記ガ
ス流出口側に位置する冷却媒体供給口と、前記ガス供給
口側に位置する冷却媒体流出口とを有する冷却路を設け
て、冷却媒体を流通するようにしたことを特徴とするレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4890382A JPS58166785A (ja) | 1982-03-29 | 1982-03-29 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4890382A JPS58166785A (ja) | 1982-03-29 | 1982-03-29 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58166785A true JPS58166785A (ja) | 1983-10-01 |
Family
ID=12816220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4890382A Pending JPS58166785A (ja) | 1982-03-29 | 1982-03-29 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58166785A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61189684A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS62149864U (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-22 |
-
1982
- 1982-03-29 JP JP4890382A patent/JPS58166785A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61189684A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS62149864U (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-22 |
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