JPS58168570U - サセプタ−リング - Google Patents
サセプタ−リングInfo
- Publication number
- JPS58168570U JPS58168570U JP6367082U JP6367082U JPS58168570U JP S58168570 U JPS58168570 U JP S58168570U JP 6367082 U JP6367082 U JP 6367082U JP 6367082 U JP6367082 U JP 6367082U JP S58168570 U JPS58168570 U JP S58168570U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor ring
- ring
- heat shield
- susceptor
- shield part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002775 capsule Substances 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はＬＥＣ装置の１例の縦断面略図である。
第２図は、従来用いられていたサセプターリングを有す
るヒートシールド部の縦断面模型図である。 第３図は本考案に係るサセプターリングの１具体例の縦
断面図である。第４図は本考案に係るサセプターリング
を有するヒートシールド部の縦断面 図である。 １０・・・・・・ルツボ、１６・・・・・・本考案に係
るサセプターリング。 補正 昭５７．６．１１ 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する。 Ｏ実用新案登録請求の範囲 − 液体カプセル引上法により単結晶本製造子る装・置に用
いる円筒状のサセプターリングであ２て、該サセプター
リングは、その一方の端部から全長の１０〜５０％の長
さに相当する部分が他の部分よ −り肌１〜２１１
Ｌ１１Ｌ大きい内径を有しており、さらに、該す左ブタ
−リングの他端が使用状態においてヒートシールド部の
上部々）ら突出するに十分な長さ゛を有していることを
特徴とす−るサセプターリング。
るヒートシールド部の縦断面模型図である。 第３図は本考案に係るサセプターリングの１具体例の縦
断面図である。第４図は本考案に係るサセプターリング
を有するヒートシールド部の縦断面 図である。 １０・・・・・・ルツボ、１６・・・・・・本考案に係
るサセプターリング。 補正 昭５７．６．１１ 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する。 Ｏ実用新案登録請求の範囲 − 液体カプセル引上法により単結晶本製造子る装・置に用
いる円筒状のサセプターリングであ２て、該サセプター
リングは、その一方の端部から全長の１０〜５０％の長
さに相当する部分が他の部分よ −り肌１〜２１１
Ｌ１１Ｌ大きい内径を有しており、さらに、該す左ブタ
−リングの他端が使用状態においてヒートシールド部の
上部々）ら突出するに十分な長さ゛を有していることを
特徴とす−るサセプターリング。
Claims (1)
- 液体カプセル引上法により単結晶を製造する装置に用い
る円筒状のサセプターリングであって、該サセプターリ
ングは、そめ一方の端部から全長の１０〜５０％の長さ
に相当する部分が他の部分より０，１〜２ｒＩｒＩｎ大
きい内径を有しており、さらに、該サセプターリングの
他端が使用状態においてヒートシールド部の上部から突
出するに十分な長さを有していることを特徴とするシセ
プターリング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6367082U JPS58168570U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | サセプタ−リング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6367082U JPS58168570U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | サセプタ−リング |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58168570U true JPS58168570U (ja) | 1983-11-10 |
| JPS623407Y2 JPS623407Y2 (ja) | 1987-01-26 |
Family
ID=30073765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6367082U Granted JPS58168570U (ja) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | サセプタ−リング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58168570U (ja) |
-
1982
- 1982-04-30 JP JP6367082U patent/JPS58168570U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS623407Y2 (ja) | 1987-01-26 |
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