JPS58173742A - 感光性フイルム用ラミネ−ト装置 - Google Patents
感光性フイルム用ラミネ−ト装置Info
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- JPS58173742A JPS58173742A JP5693282A JP5693282A JPS58173742A JP S58173742 A JPS58173742 A JP S58173742A JP 5693282 A JP5693282 A JP 5693282A JP 5693282 A JP5693282 A JP 5693282A JP S58173742 A JPS58173742 A JP S58173742A
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- rolls
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感光性フィルム用ラミネート装置に関する。
現在、固形フィルム状の感光性フィルムが印刷配線等の
製造時のレジスト形成材料として多用されている。
製造時のレジスト形成材料として多用されている。
この場合、感光性フィルムはまずレジストを形成しよう
とする基板(印刷配線板製造の場合には銅張シ積層板)
をあらかじめ40℃以上通常は70〜120℃に加熱し
9.この片面あるいは両面に加熱加圧ラミネート(通常
ラミネートを良くする丸めにラミネータ−ルを155℃
〜170℃に加熱)しついで露光、現像して。
とする基板(印刷配線板製造の場合には銅張シ積層板)
をあらかじめ40℃以上通常は70〜120℃に加熱し
9.この片面あるいは両面に加熱加圧ラミネート(通常
ラミネートを良くする丸めにラミネータ−ルを155℃
〜170℃に加熱)しついで露光、現像して。
基板上に回路等に必要なレジストを形成する。
一般に感光性フィルムは支持体としてポリエステルフィ
ルム等の熱安定性にすぐれ九合成樹脂フィルムに感光性
樹脂層がコートされ九構造を有している。
ルム等の熱安定性にすぐれ九合成樹脂フィルムに感光性
樹脂層がコートされ九構造を有している。
現在このラミネートに使用されているラミネーターの機
構の代表例は第1図A、Bのようなものである。
構の代表例は第1図A、Bのようなものである。
即ち、第1図Aのラミネーターにあってはラミネート時
の加熱は、ゴムライニングされたラミネートロール5の
前におかれ九加熱シュー4によって感光性フィルム2に
熱を付与して行なわれている。lFi感光性フィルム供
給ロール。
の加熱は、ゴムライニングされたラミネートロール5の
前におかれ九加熱シュー4によって感光性フィルム2に
熱を付与して行なわれている。lFi感光性フィルム供
給ロール。
3は基板を示し、矢印は基板の移動方向を示す。
第1図Bのものはゴムライニングされ九ラミネートロー
ル6自体が加熱されており、うきネートと同時に感光性
フィルムに熱を付与して行なわれている。
ル6自体が加熱されており、うきネートと同時に感光性
フィルムに熱を付与して行なわれている。
@1図A、Bの方式のいずれにしても、基板に感光性フ
ィルムをラミネートした直後に連続している感光性フィ
ルムを基板に沿って裁断し。
ィルムをラミネートした直後に連続している感光性フィ
ルムを基板に沿って裁断し。
ラミネート品7を纂2図に示すようなラック8に立てて
重ならないようにしている。この時。
重ならないようにしている。この時。
もしこのラック立てを怠って113図のようにうiネー
ト品7を裁断直後に積み重ねると積み重ね丸面は各々、
熱重合を起むしこの際基板と固着してしまう。
ト品7を裁断直後に積み重ねると積み重ね丸面は各々、
熱重合を起むしこの際基板と固着してしまう。
この時の熱重合部分がレジスト部分と一層するならば問
題ないが不必要部分でありカットしなければならない部
分であれば、これは後の工程である現像やメッキあ暮い
はエツチングで不都合を起こすことになる。
題ないが不必要部分でありカットしなければならない部
分であれば、これは後の工程である現像やメッキあ暮い
はエツチングで不都合を起こすことになる。
すなわち、メツキレシストとして用いると龜は、熱重合
した部分にメッキが付着しないか部分的に付着する。仮
にメッキが付着してもそのメッキ部分が簡単に剥離して
しまう。
した部分にメッキが付着しないか部分的に付着する。仮
にメッキが付着してもそのメッキ部分が簡単に剥離して
しまう。
一方、エツチングレジストの場合、エツチングされ―〈
、エツチング残りが生じてしまう。
、エツチング残りが生じてしまう。
このような間亀が生ずるために、既述したようなラック
立てを行なっているが、これはラック立ての作業が着し
く面倒であるばかりかラミネートスピードも落ちている
。
立てを行なっているが、これはラック立ての作業が着し
く面倒であるばかりかラミネートスピードも落ちている
。
ま九うンク立て後に冷えてから再び積み重ねなければな
らないため、二lの手間となる。
らないため、二lの手間となる。
史にラックを用いるために、そのスペースも無視できな
い。
い。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので。
その目的とするところは、ラミネート直後にわざわざラ
ック立てするという工程を除き、ラミネート作業の効率
を著しく向上させることにある。
ック立てするという工程を除き、ラミネート作業の効率
を著しく向上させることにある。
本発明は、感光性フィルムを40℃以上に加熱した基板
に加熱、加圧によりうεネートする装置において、ラミ
ネート後に冷却用圧着ロールとして、金lI40−ル又
は厚さが15−以下の緩衝材を有する金S−−ルを1組
以上備えてなる感光性フィルム用ライネート装置に関す
る。
に加熱、加圧によりうεネートする装置において、ラミ
ネート後に冷却用圧着ロールとして、金lI40−ル又
は厚さが15−以下の緩衝材を有する金S−−ルを1組
以上備えてなる感光性フィルム用ライネート装置に関す
る。
本発明におけるラミネート後の圧着クールは加熱してい
ないものであれば有効である。
ないものであれば有効である。
すなわち、あらかじめ40℃以上に加熱し九基板と感光
性フィルムを加熱、加圧ロールを用いてラミネートをし
九あとのライネート品の熱を更に熱のない圧着ロールを
介することにより。
性フィルムを加熱、加圧ロールを用いてラミネートをし
九あとのライネート品の熱を更に熱のない圧着ロールを
介することにより。
この圧着ロールに吸熱させる方法である。
これを行なう仁とにより、ラミネート品の熱を少なくと
も40℃以下に下けることができるので、感光性フィル
ムの熱重合が防止できラミネート後に裁断し、そのまま
積み重ねが可能になる金属ロールは、金属板をまるめて
得られる中空のロールでもよい。金属ロールに緩衝材を
設ける場合に、41価材の厚さを15■以下とするのは
、この厚さが15■を超えると吸熱が有効に行なわれな
いからである。
も40℃以下に下けることができるので、感光性フィル
ムの熱重合が防止できラミネート後に裁断し、そのまま
積み重ねが可能になる金属ロールは、金属板をまるめて
得られる中空のロールでもよい。金属ロールに緩衝材を
設ける場合に、41価材の厚さを15■以下とするのは
、この厚さが15■を超えると吸熱が有効に行なわれな
いからである。
第4図に1本発明の一実施例になる感光性フィルム用ラ
ミネート装置を示す。
ミネート装置を示す。
[4図において、9及び10がうずネート後の冷却用圧
着ロールである。11はガイドロールである。他の符号
は第り図A、Bと剃じである。
着ロールである。11はガイドロールである。他の符号
は第り図A、Bと剃じである。
冷均用圧着ロールによる冷却効果を更に向上させるため
には、このロールに水冷装置を設すことが好ましい。
には、このロールに水冷装置を設すことが好ましい。
例えば、冷却用圧着ロールの内部を空洞化し。
このロールの画側に穴を作シ、これに配管を設は配管の
一方から水などの冷却液を入れ、他方から出せるような
水冷装置が設置される。
一方から水などの冷却液を入れ、他方から出せるような
水冷装置が設置される。
これにより、冷却効果が一層すぐれるので。
うiネート前に60℃〜100’eに加熱し九基板を用
いる場合に非常に効果が認められる。
いる場合に非常に効果が認められる。
本発明の詳細な説明する。
実施例1
大成商事株式会社製感光性ラミネーター(商品名:ファ
ースト・レジストフィルム貼機)を用いた。
ースト・レジストフィルム貼機)を用いた。
この装置は加熱ラミネートロール方式のもので圧着時の
加圧は空気圧で行なうタイプである。これにラミネート
嵌め部分の改造を行なった。すなわち、ラミネートロー
ルの接点から100−の位置に、14面を平滑にした厚
さ20■のステンレス板を外径が1001で両側が空洞
になるようにまるめ1幅を600■にし九両@面を直径
lO■。
加圧は空気圧で行なうタイプである。これにラミネート
嵌め部分の改造を行なった。すなわち、ラミネートロー
ルの接点から100−の位置に、14面を平滑にした厚
さ20■のステンレス板を外径が1001で両側が空洞
になるようにまるめ1幅を600■にし九両@面を直径
lO■。
長さ90■の鉄棒3本が互いに中心を通るように組合せ
て補強し、かつ、その中心同士を直径20■、長さ60
0■の鉄棒で結んで補強したロールをうiネート品が通
過する上下に2組セットした。
て補強し、かつ、その中心同士を直径20■、長さ60
0■の鉄棒で結んで補強したロールをうiネート品が通
過する上下に2組セットした。
圧着ロール間の間隔は100■とじ友。このように改造
し九装置を用いて、厚さ0.8■9幅250■、長さ2
50■の両面鋼張ガラスエポキシ積層板の両mに23μ
mポリエステルフィルム支持体に25μmの感光層をコ
ートした幅248−の感光性フィルム(日立化成工業株
、式会社製フオテツク−860AFX)をラミネートし
九。
し九装置を用いて、厚さ0.8■9幅250■、長さ2
50■の両面鋼張ガラスエポキシ積層板の両mに23μ
mポリエステルフィルム支持体に25μmの感光層をコ
ートした幅248−の感光性フィルム(日立化成工業株
、式会社製フオテツク−860AFX)をラミネートし
九。
感光性フィルムと基板をうきネート時のライネートロー
ルの温度を160℃とし、ラミネート速度t10m/分
としてラミネートし九あと、追加した上記の2組の圧着
ロールを圧着通過させ裁断後直ちに積み重ねて行った。
ルの温度を160℃とし、ラミネート速度t10m/分
としてラミネートし九あと、追加した上記の2組の圧着
ロールを圧着通過させ裁断後直ちに積み重ねて行った。
積み重ね友内部にあるラミネート品の表面温度は39℃
であった。
であった。
このラミネート品について一般に用いられている露光機
とアルカリ現僚機を用いて露光、現儂を行ない、更に一
般に用いられている方法で脱脂。
とアルカリ現僚機を用いて露光、現儂を行ない、更に一
般に用いられている方法で脱脂。
ソフトエツチングを行なったあとハンダメッキを行なっ
た。この時のノ・ンダ浴はホウ弗化水素酸4001/l
を含むスズ/鉛の割合が6/4(重蓋比)になるように
建浴されたアライドケミカル社のスタビライズドペプト
ン液を用いて陰極電流密度1.6A/d?Fl”で15
分間通電して12μm片面のメッキ厚とした。この後メ
ッキの付着性を中心にチェックを行なったが伺ら異常t
′iuめられなかつ九。
た。この時のノ・ンダ浴はホウ弗化水素酸4001/l
を含むスズ/鉛の割合が6/4(重蓋比)になるように
建浴されたアライドケミカル社のスタビライズドペプト
ン液を用いて陰極電流密度1.6A/d?Fl”で15
分間通電して12μm片面のメッキ厚とした。この後メ
ッキの付着性を中心にチェックを行なったが伺ら異常t
′iuめられなかつ九。
実施例2
実施例1で用いた市販の装置を用いて以下の改造を行な
った。すなわち、ラミネートロールの接点から1001
の位置に厚さ10■の鉄板にシリコーンゴム10■で2
イニングし九シート状物を用いて外径が100−になる
ように両側空洞の幅600■の円筒状に作った。そして
この両M面に直径10■、長さ90■の鉄棒3本を互い
に中心を通るように組合せて補強し、がつ、その中心同
士を直径20■、長さ600閣の鉄棒て結んで作ったロ
ールをうばネート品が通過する上下に互いの間隔が10
0111となるよう2組セットした。この改造うiネー
ターを用いて実施例1と同じことを行なった結果、ハン
ダメッキの付着性等に何ら二二=:められなかった。
った。すなわち、ラミネートロールの接点から1001
の位置に厚さ10■の鉄板にシリコーンゴム10■で2
イニングし九シート状物を用いて外径が100−になる
ように両側空洞の幅600■の円筒状に作った。そして
この両M面に直径10■、長さ90■の鉄棒3本を互い
に中心を通るように組合せて補強し、がつ、その中心同
士を直径20■、長さ600閣の鉄棒て結んで作ったロ
ールをうばネート品が通過する上下に互いの間隔が10
0111となるよう2組セットした。この改造うiネー
ターを用いて実施例1と同じことを行なった結果、ハン
ダメッキの付着性等に何ら二二=:められなかった。
実施例1で用いた市販の装置を用いて以下の改造を行な
った。すなわちラミネートロール最後部から100園の
位置に20■のステンレス板を用いて、外径100謹で
、かつ両側とも十分に密閉された内部のみ空洞となるよ
うにした幅600簡の円筒状のロールを作つ九。そして
更にこの空洞型密閉状円筒ロールの両m面に直径20■
の穴を作り、これに適合する直径20■のパイプをつな
ぎ片ll1lを水道水もう一方の片側を循環用タンクへ
通ずるよう配管した。このように改造したラミネート品
が通過する上下に間隔が100−となるように2組セッ
トした。この改造ラミネーターを用いて実施例1と同じ
ことを行なった結果、ノ・ンダメツキの竺着性等に全く
異常は關められなかった。
った。すなわちラミネートロール最後部から100園の
位置に20■のステンレス板を用いて、外径100謹で
、かつ両側とも十分に密閉された内部のみ空洞となるよ
うにした幅600簡の円筒状のロールを作つ九。そして
更にこの空洞型密閉状円筒ロールの両m面に直径20■
の穴を作り、これに適合する直径20■のパイプをつな
ぎ片ll1lを水道水もう一方の片側を循環用タンクへ
通ずるよう配管した。このように改造したラミネート品
が通過する上下に間隔が100−となるように2組セッ
トした。この改造ラミネーターを用いて実施例1と同じ
ことを行なった結果、ノ・ンダメツキの竺着性等に全く
異常は關められなかった。
比較例1
実施例1に示した改造しない状態の′1ま(圧着ロール
なし)の市販ラミネーターを用いて、実施例1と同じ工
程を行なった結果、ラミネート品の露光現儂後に銅パタ
ーン面の一部にノ・ンダメツキが乗らず、メッキ付着性
の良好でないことが確認された。
なし)の市販ラミネーターを用いて、実施例1と同じ工
程を行なった結果、ラミネート品の露光現儂後に銅パタ
ーン面の一部にノ・ンダメツキが乗らず、メッキ付着性
の良好でないことが確認された。
以上の実施例からも明らかなように9本発明になるラミ
ネート装置によれば感光性フィルムを基板にラミネート
した後、ラック立ての工程を行なわずしてラミネート品
の積み重ねができる。
ネート装置によれば感光性フィルムを基板にラミネート
した後、ラック立ての工程を行なわずしてラミネート品
の積み重ねができる。
第1図A、Bは、従来のラミネーターの機構を示す略図
、第2図は、ラミネート品をラックに立て九図、第3図
は、積み重ねられたラミネート品を示す図及び514図
は9本発明の一実施例になる感光性フィルム用ラミネー
ト装置を示す略図である。 符号の説明 1・・・感光性フィルム供給ロール 2・・・感光性フィルム 3・・・基板4・・・加熱シ
ュー 5・・・ラミネートロール6・・・うはネー
トロール 7・・・ラミネート品8・・・シック
9・・・冷却用圧着ロール10・・・冷却用圧着ロ
ール11・・・ガイドロール手続補正書(自発ン 昭+u @7+1. 5 +2b 111°I 、′
I 11 Lc ′IX 殿l糾f’l力表小 昭11+ 57 FI 持許願第f(2j 7−号2
発明の名称 18九性ンイルノ、用ラミ不−l・装置3?市11をす
るh Illと、′〕関1! 持Δ1出軸人”2 +8
445−1.1 !′I化成1を株式2會14 代
理 ノ、 llIrlIr化成1衾 り?1liIIのス1象 発明の詳細な説明の欄 ++楠I+の内合 1: レンプロピレンターボリマゴムなどが用いられ。 特に制限はない。」を補充します。 以上
、第2図は、ラミネート品をラックに立て九図、第3図
は、積み重ねられたラミネート品を示す図及び514図
は9本発明の一実施例になる感光性フィルム用ラミネー
ト装置を示す略図である。 符号の説明 1・・・感光性フィルム供給ロール 2・・・感光性フィルム 3・・・基板4・・・加熱シ
ュー 5・・・ラミネートロール6・・・うはネー
トロール 7・・・ラミネート品8・・・シック
9・・・冷却用圧着ロール10・・・冷却用圧着ロ
ール11・・・ガイドロール手続補正書(自発ン 昭+u @7+1. 5 +2b 111°I 、′
I 11 Lc ′IX 殿l糾f’l力表小 昭11+ 57 FI 持許願第f(2j 7−号2
発明の名称 18九性ンイルノ、用ラミ不−l・装置3?市11をす
るh Illと、′〕関1! 持Δ1出軸人”2 +8
445−1.1 !′I化成1を株式2會14 代
理 ノ、 llIrlIr化成1衾 り?1liIIのス1象 発明の詳細な説明の欄 ++楠I+の内合 1: レンプロピレンターボリマゴムなどが用いられ。 特に制限はない。」を補充します。 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、感光性フィルムを40℃以上に加熱した基板に加熱
、加圧によりラミネートするための装置において、ラミ
ネート後に冷却用圧着ロールとして金属ロール又は厚さ
が151以下の緩価材を有する全1I4c1−ルt−1
組以上備えてなる感光性フィルム用ラミネート装置。 2 冷却用圧着ロールが水冷装置を設けた圧着ロールで
ある特許請求の範囲第1項記載の感光性フィルム用ラミ
ネート装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5693282A JPS58173742A (ja) | 1982-04-06 | 1982-04-06 | 感光性フイルム用ラミネ−ト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5693282A JPS58173742A (ja) | 1982-04-06 | 1982-04-06 | 感光性フイルム用ラミネ−ト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58173742A true JPS58173742A (ja) | 1983-10-12 |
Family
ID=13041283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5693282A Pending JPS58173742A (ja) | 1982-04-06 | 1982-04-06 | 感光性フイルム用ラミネ−ト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58173742A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0486827A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Toppan Printing Co Ltd | 露光用基板の製造装置 |
| JPH04282888A (ja) * | 1991-03-11 | 1992-10-07 | Nec Toyama Ltd | 印刷配線板の製造方法 |
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1982
- 1982-04-06 JP JP5693282A patent/JPS58173742A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0486827A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Toppan Printing Co Ltd | 露光用基板の製造装置 |
| JPH04282888A (ja) * | 1991-03-11 | 1992-10-07 | Nec Toyama Ltd | 印刷配線板の製造方法 |
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