JPS58173742A - 感光性フイルム用ラミネ−ト装置 - Google Patents

感光性フイルム用ラミネ−ト装置

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JPS58173742A
JPS58173742A JP5693282A JP5693282A JPS58173742A JP S58173742 A JPS58173742 A JP S58173742A JP 5693282 A JP5693282 A JP 5693282A JP 5693282 A JP5693282 A JP 5693282A JP S58173742 A JPS58173742 A JP S58173742A
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JP
Japan
Prior art keywords
roll
photosensitive film
laminating
rolls
cooling
Prior art date
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Pending
Application number
JP5693282A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidekatsu Itayama
板山 秀勝
Hiroshi Ebihara
宏 海老原
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP5693282A priority Critical patent/JPS58173742A/ja
Publication of JPS58173742A publication Critical patent/JPS58173742A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性フィルム用ラミネート装置に関する。
現在、固形フィルム状の感光性フィルムが印刷配線等の
製造時のレジスト形成材料として多用されている。
この場合、感光性フィルムはまずレジストを形成しよう
とする基板(印刷配線板製造の場合には銅張シ積層板)
をあらかじめ40℃以上通常は70〜120℃に加熱し
9.この片面あるいは両面に加熱加圧ラミネート(通常
ラミネートを良くする丸めにラミネータ−ルを155℃
〜170℃に加熱)しついで露光、現像して。
基板上に回路等に必要なレジストを形成する。
一般に感光性フィルムは支持体としてポリエステルフィ
ルム等の熱安定性にすぐれ九合成樹脂フィルムに感光性
樹脂層がコートされ九構造を有している。
現在このラミネートに使用されているラミネーターの機
構の代表例は第1図A、Bのようなものである。
即ち、第1図Aのラミネーターにあってはラミネート時
の加熱は、ゴムライニングされたラミネートロール5の
前におかれ九加熱シュー4によって感光性フィルム2に
熱を付与して行なわれている。lFi感光性フィルム供
給ロール。
3は基板を示し、矢印は基板の移動方向を示す。
第1図Bのものはゴムライニングされ九ラミネートロー
ル6自体が加熱されており、うきネートと同時に感光性
フィルムに熱を付与して行なわれている。
@1図A、Bの方式のいずれにしても、基板に感光性フ
ィルムをラミネートした直後に連続している感光性フィ
ルムを基板に沿って裁断し。
ラミネート品7を纂2図に示すようなラック8に立てて
重ならないようにしている。この時。
もしこのラック立てを怠って113図のようにうiネー
ト品7を裁断直後に積み重ねると積み重ね丸面は各々、
熱重合を起むしこの際基板と固着してしまう。
この時の熱重合部分がレジスト部分と一層するならば問
題ないが不必要部分でありカットしなければならない部
分であれば、これは後の工程である現像やメッキあ暮い
はエツチングで不都合を起こすことになる。
すなわち、メツキレシストとして用いると龜は、熱重合
した部分にメッキが付着しないか部分的に付着する。仮
にメッキが付着してもそのメッキ部分が簡単に剥離して
しまう。
一方、エツチングレジストの場合、エツチングされ―〈
、エツチング残りが生じてしまう。
このような間亀が生ずるために、既述したようなラック
立てを行なっているが、これはラック立ての作業が着し
く面倒であるばかりかラミネートスピードも落ちている
。
ま九うンク立て後に冷えてから再び積み重ねなければな
らないため、二lの手間となる。
史にラックを用いるために、そのスペースも無視できな
い。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので。
その目的とするところは、ラミネート直後にわざわざラ
ック立てするという工程を除き、ラミネート作業の効率
を著しく向上させることにある。
本発明は、感光性フィルムを40℃以上に加熱した基板
に加熱、加圧によりうεネートする装置において、ラミ
ネート後に冷却用圧着ロールとして、金lI40−ル又
は厚さが15−以下の緩衝材を有する金S−−ルを1組
以上備えてなる感光性フィルム用ライネート装置に関す
る。
本発明におけるラミネート後の圧着クールは加熱してい
ないものであれば有効である。
すなわち、あらかじめ40℃以上に加熱し九基板と感光
性フィルムを加熱、加圧ロールを用いてラミネートをし
九あとのライネート品の熱を更に熱のない圧着ロールを
介することにより。
この圧着ロールに吸熱させる方法である。
これを行なう仁とにより、ラミネート品の熱を少なくと
も40℃以下に下けることができるので、感光性フィル
ムの熱重合が防止できラミネート後に裁断し、そのまま
積み重ねが可能になる金属ロールは、金属板をまるめて
得られる中空のロールでもよい。金属ロールに緩衝材を
設ける場合に、41価材の厚さを15■以下とするのは
、この厚さが15■を超えると吸熱が有効に行なわれな
いからである。
第4図に1本発明の一実施例になる感光性フィルム用ラ
ミネート装置を示す。
[4図において、9及び10がうずネート後の冷却用圧
着ロールである。11はガイドロールである。他の符号
は第り図A、Bと剃じである。
冷均用圧着ロールによる冷却効果を更に向上させるため
には、このロールに水冷装置を設すことが好ましい。
例えば、冷却用圧着ロールの内部を空洞化し。
このロールの画側に穴を作シ、これに配管を設は配管の
一方から水などの冷却液を入れ、他方から出せるような
水冷装置が設置される。
これにより、冷却効果が一層すぐれるので。
うiネート前に60℃〜100’eに加熱し九基板を用
いる場合に非常に効果が認められる。
本発明の詳細な説明する。
実施例1 大成商事株式会社製感光性ラミネーター(商品名:ファ
ースト・レジストフィルム貼機)を用いた。
この装置は加熱ラミネートロール方式のもので圧着時の
加圧は空気圧で行なうタイプである。これにラミネート
嵌め部分の改造を行なった。すなわち、ラミネートロー
ルの接点から100−の位置に、14面を平滑にした厚
さ20■のステンレス板を外径が1001で両側が空洞
になるようにまるめ1幅を600■にし九両@面を直径
lO■。
長さ90■の鉄棒3本が互いに中心を通るように組合せ
て補強し、かつ、その中心同士を直径20■、長さ60
0■の鉄棒で結んで補強したロールをうiネート品が通
過する上下に2組セットした。
圧着ロール間の間隔は100■とじ友。このように改造
し九装置を用いて、厚さ0.8■9幅250■、長さ2
50■の両面鋼張ガラスエポキシ積層板の両mに23μ
mポリエステルフィルム支持体に25μmの感光層をコ
ートした幅248−の感光性フィルム(日立化成工業株
、式会社製フオテツク−860AFX)をラミネートし
九。
感光性フィルムと基板をうきネート時のライネートロー
ルの温度を160℃とし、ラミネート速度t10m/分
としてラミネートし九あと、追加した上記の2組の圧着
ロールを圧着通過させ裁断後直ちに積み重ねて行った。
積み重ね友内部にあるラミネート品の表面温度は39℃
であった。
このラミネート品について一般に用いられている露光機
とアルカリ現僚機を用いて露光、現儂を行ない、更に一
般に用いられている方法で脱脂。
ソフトエツチングを行なったあとハンダメッキを行なっ
た。この時のノ・ンダ浴はホウ弗化水素酸4001/l
を含むスズ/鉛の割合が6/4(重蓋比)になるように
建浴されたアライドケミカル社のスタビライズドペプト
ン液を用いて陰極電流密度1.6A/d?Fl”で15
分間通電して12μm片面のメッキ厚とした。この後メ
ッキの付着性を中心にチェックを行なったが伺ら異常t
′iuめられなかつ九。
実施例2 実施例1で用いた市販の装置を用いて以下の改造を行な
った。すなわち、ラミネートロールの接点から1001
の位置に厚さ10■の鉄板にシリコーンゴム10■で2
イニングし九シート状物を用いて外径が100−になる
ように両側空洞の幅600■の円筒状に作った。そして
この両M面に直径10■、長さ90■の鉄棒3本を互い
に中心を通るように組合せて補強し、がつ、その中心同
士を直径20■、長さ600閣の鉄棒て結んで作ったロ
ールをうばネート品が通過する上下に互いの間隔が10
0111となるよう2組セットした。この改造うiネー
ターを用いて実施例1と同じことを行なった結果、ハン
ダメッキの付着性等に何ら二二=:められなかった。
実施例1で用いた市販の装置を用いて以下の改造を行な
った。すなわちラミネートロール最後部から100園の
位置に20■のステンレス板を用いて、外径100謹で
、かつ両側とも十分に密閉された内部のみ空洞となるよ
うにした幅600簡の円筒状のロールを作つ九。そして
更にこの空洞型密閉状円筒ロールの両m面に直径20■
の穴を作り、これに適合する直径20■のパイプをつな
ぎ片ll1lを水道水もう一方の片側を循環用タンクへ
通ずるよう配管した。このように改造したラミネート品
が通過する上下に間隔が100−となるように2組セッ
トした。この改造ラミネーターを用いて実施例1と同じ
ことを行なった結果、ノ・ンダメツキの竺着性等に全く
異常は關められなかった。
比較例1 実施例1に示した改造しない状態の′1ま(圧着ロール
なし)の市販ラミネーターを用いて、実施例1と同じ工
程を行なった結果、ラミネート品の露光現儂後に銅パタ
ーン面の一部にノ・ンダメツキが乗らず、メッキ付着性
の良好でないことが確認された。
以上の実施例からも明らかなように9本発明になるラミ
ネート装置によれば感光性フィルムを基板にラミネート
した後、ラック立ての工程を行なわずしてラミネート品
の積み重ねができる。
【図面の簡単な説明】
第1図A、Bは、従来のラミネーターの機構を示す略図
、第2図は、ラミネート品をラックに立て九図、第3図
は、積み重ねられたラミネート品を示す図及び514図
は9本発明の一実施例になる感光性フィルム用ラミネー
ト装置を示す略図である。 符号の説明 1・・・感光性フィルム供給ロール 2・・・感光性フィルム 3・・・基板4・・・加熱シ
ュー   5・・・ラミネートロール6・・・うはネー
トロール 7・・・ラミネート品8・・・シック   
  9・・・冷却用圧着ロール10・・・冷却用圧着ロ
ール11・・・ガイドロール手続補正書(自発ン 昭+u @7+1. 5  +2b 111°I 、′
I 11 Lc ′IX 殿l糾f’l力表小 昭11+ 57 FI  持許願第f(2j 7−号2
発明の名称 18九性ンイルノ、用ラミ不−l・装置3?市11をす
るh Illと、′〕関1!   持Δ1出軸人”2  +8
445−1.1 !′I化成1を株式2會14  代 
    理     ノ、 llIrlIr化成1衾 り?1liIIのス1象 発明の詳細な説明の欄 ++楠I+の内合    1: レンプロピレンターボリマゴムなどが用いられ。 特に制限はない。」を補充します。 以上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、感光性フィルムを40℃以上に加熱した基板に加熱
    、加圧によりラミネートするための装置において、ラミ
    ネート後に冷却用圧着ロールとして金属ロール又は厚さ
    が151以下の緩価材を有する全1I4c1−ルt−1
    組以上備えてなる感光性フィルム用ラミネート装置。 2 冷却用圧着ロールが水冷装置を設けた圧着ロールで
    ある特許請求の範囲第1項記載の感光性フィルム用ラミ
    ネート装置。
JP5693282A 1982-04-06 1982-04-06 感光性フイルム用ラミネ−ト装置 Pending JPS58173742A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5693282A JPS58173742A (ja) 1982-04-06 1982-04-06 感光性フイルム用ラミネ−ト装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP5693282A JPS58173742A (ja) 1982-04-06 1982-04-06 感光性フイルム用ラミネ−ト装置

Publications (1)

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JPS58173742A true JPS58173742A (ja) 1983-10-12

Family

ID=13041283

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5693282A Pending JPS58173742A (ja) 1982-04-06 1982-04-06 感光性フイルム用ラミネ−ト装置

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JP (1) JPS58173742A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0486827A (ja) * 1990-07-31 1992-03-19 Toppan Printing Co Ltd 露光用基板の製造装置
JPH04282888A (ja) * 1991-03-11 1992-10-07 Nec Toyama Ltd 印刷配線板の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0486827A (ja) * 1990-07-31 1992-03-19 Toppan Printing Co Ltd 露光用基板の製造装置
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