JPS58178309A - 反射鏡調整装置 - Google Patents
反射鏡調整装置Info
- Publication number
- JPS58178309A JPS58178309A JP57061608A JP6160882A JPS58178309A JP S58178309 A JPS58178309 A JP S58178309A JP 57061608 A JP57061608 A JP 57061608A JP 6160882 A JP6160882 A JP 6160882A JP S58178309 A JPS58178309 A JP S58178309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- screws
- vacuum
- movable part
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は内部鏡型ガスレーザー発振器等に使用され、機
械的に反射鏡を動かすことによって共振器長を微動調整
する反射鏡調整装置に関するものである。発振周波数の
選択、発振周波数の安定化のだめ共振器長を微動調整す
ることが一般に行われている。
械的に反射鏡を動かすことによって共振器長を微動調整
する反射鏡調整装置に関するものである。発振周波数の
選択、発振周波数の安定化のだめ共振器長を微動調整す
ることが一般に行われている。
共振器長を微動調整する装置の大部分は外部鏡型である
が、レーザーの出力を考えると損失が小さくより大きな
出力が得られる内部鏡型の方が有利である。内部鏡型で
共振器長を機械的に微動調整するには、従来マイクロメ
ーターヘッドを除くすべての装置を低真空中に保持する
という方法が考えられ、この方法による反射鏡微動装置
を第１図に示す。マイクロメーター１の移動は第１てこ
２によって縮小され、第２でと３の遊動端を移動させる
。これがさらに縮小されピン４を介して可動平行はね５
を移動させ、反射鏡７を移動させる。
が、レーザーの出力を考えると損失が小さくより大きな
出力が得られる内部鏡型の方が有利である。内部鏡型で
共振器長を機械的に微動調整するには、従来マイクロメ
ーターヘッドを除くすべての装置を低真空中に保持する
という方法が考えられ、この方法による反射鏡微動装置
を第１図に示す。マイクロメーター１の移動は第１てこ
２によって縮小され、第２でと３の遊動端を移動させる
。これがさらに縮小されピン４を介して可動平行はね５
を移動させ、反射鏡７を移動させる。
なお６は固定ブロック、８はレーザー管である。
この方法は、比較的大きな装置を低真空中に保持しなけ
ればならないという難点がある。また、反射鏡７の傾き
角を調整する機構を有しないため、大気中においてしか
反射鏡７の傾き角を調整できない。従って、真空に引い
たことあるいは微動装置によって前後されることによる
反射鏡７の傾き角のずれを、レーザー発振出力を測定し
ながら゛補正するという一般的な反射鏡７の傾き角の調
整が不可能である。
ればならないという難点がある。また、反射鏡７の傾き
角を調整する機構を有しないため、大気中においてしか
反射鏡７の傾き角を調整できない。従って、真空に引い
たことあるいは微動装置によって前後されることによる
反射鏡７の傾き角のずれを、レーザー発振出力を測定し
ながら゛補正するという一般的な反射鏡７の傾き角の調
整が不可能である。
本発明は、微動調整装置のうち２つのてこは大気中に出
し、低真空中に保持する部分を少なくし、本発明の一実
施例における反射鏡調整装置を第２図に示す。さらに反
射鏡７周辺部分の拡大断面図を第３図ａにその側面図を
第３図すに示す。第＼ ２図に示すように真空中可動部６０は、ばね６２と第２
てこ３によって固定される。マイクロメーター１の移動
量は２つのてこ２，３によって縮小され、ピン４を介し
て真空中可動部６０を移動させ、反射鏡ホルダー５１に
保持された反射鏡７を移動させる。
し、低真空中に保持する部分を少なくし、本発明の一実
施例における反射鏡調整装置を第２図に示す。さらに反
射鏡７周辺部分の拡大断面図を第３図ａにその側面図を
第３図すに示す。第＼ ２図に示すように真空中可動部６０は、ばね６２と第２
てこ３によって固定される。マイクロメーター１の移動
量は２つのてこ２，３によって縮小され、ピン４を介し
て真空中可動部６０を移動させ、反射鏡ホルダー５１に
保持された反射鏡７を移動させる。
真空中可動部５０の中に設けられた反射鏡ホルダー６１
は第３図ａ、ｂに示すように前方からのばね６３および
後方からの複数個のねじ（ここでは５４，５５．５６の
３本の場合を示す）によって固定される。複数個のねじ
のうち少なくとも１個、たとえばねじ６４は動かさず、
ここが支点となりねじ５６およびねじ５６を前後させる
ことによって反射鏡ホルダー６１したがって反射鏡７の
傾き角を調整できる。
は第３図ａ、ｂに示すように前方からのばね６３および
後方からの複数個のねじ（ここでは５４，５５．５６の
３本の場合を示す）によって固定される。複数個のねじ
のうち少なくとも１個、たとえばねじ６４は動かさず、
ここが支点となりねじ５６およびねじ５６を前後させる
ことによって反射鏡ホルダー６１したがって反射鏡７の
傾き角を調整できる。
ねじ６６およびねじ６６には溝が切ってあり、その中に
それぞれ回転スクリュー５７，５８の先端が挿入されて
いて、これによシ外部からねじ５５およびねじ５６を回
転させることができる。従って、レーザー発振時に反射
鏡７の傾き角を調整することが可能である。また、真空
中可動部６０の微小な前後の動きは、このルーズカップ
リングのだめに回転スクリュー６５には伝わらず、反射
鏡７の傾き角のずれを生じない。
それぞれ回転スクリュー５７，５８の先端が挿入されて
いて、これによシ外部からねじ５５およびねじ５６を回
転させることができる。従って、レーザー発振時に反射
鏡７の傾き角を調整することが可能である。また、真空
中可動部６０の微小な前後の動きは、このルーズカップ
リングのだめに回転スクリュー６５には伝わらず、反射
鏡７の傾き角のずれを生じない。
本発明の共振器長を微小量変化調整する反射鏡調整装置
は、発振周波数の選択、発振周波数の安定化、レーザー
出力の安定化など多くの目的に応用できる。周波数安定
化について述べれば、レーザー光の周波数変動を検出し
て誤着信号に変換し、この信号による駆動電力をサーボ
モーターの回転をマイクロメーターヘッド１に伝えるこ
とによって発振周波数の安定化が行なえる。
は、発振周波数の選択、発振周波数の安定化、レーザー
出力の安定化など多くの目的に応用できる。周波数安定
化について述べれば、レーザー光の周波数変動を検出し
て誤着信号に変換し、この信号による駆動電力をサーボ
モーターの回転をマイクロメーターヘッド１に伝えるこ
とによって発振周波数の安定化が行なえる。
以上説明したように、本発明は内部鏡型の光学共振器の
反射鏡を機械的に微動するとともに反射鏡の傾き角を調
整することを特徴とし、反射鏡の傾き角がずれることな
く共振器長を微動調整することが可能である。
反射鏡を機械的に微動するとともに反射鏡の傾き角を調
整することを特徴とし、反射鏡の傾き角がずれることな
く共振器長を微動調整することが可能である。
・第１図は内部鏡型で機械的に共振器長を微動調整する
従来の装置の概略構成図、第２図は本発明の一実施例に
おける反射鏡調整装置概略構成図、第３図（ａ）、（ｂ
）はその反射鏡周辺部の断面図および正面図である。 １・・・・・・マイクロメーター、２・・・・・・第１
てこ、３＃＠■・・第２てこ、 ４ ａｍ・・・０ピン
）５−−−・・・可動平行ばね、６・・・・・・固定ブ
ロック、７・・・・・・反射鏡、８・・・・・・レーザ
ー管、６０・・・・・・真空中可動部、６１・・・・・
・反射鏡ホルダー、５２・・・・・・ばね、６４・・響
・・・ねじ、６６０・＊＊’ｏねじ、５６−−−−＠嚇
ねじ、５７・・・・・・回転スクリュー、６８・・・・
・・回転スクリュー。 第 １ 図 第２図 第３図 ２６５
従来の装置の概略構成図、第２図は本発明の一実施例に
おける反射鏡調整装置概略構成図、第３図（ａ）、（ｂ
）はその反射鏡周辺部の断面図および正面図である。 １・・・・・・マイクロメーター、２・・・・・・第１
てこ、３＃＠■・・第２てこ、 ４ ａｍ・・・０ピン
）５−−−・・・可動平行ばね、６・・・・・・固定ブ
ロック、７・・・・・・反射鏡、８・・・・・・レーザ
ー管、６０・・・・・・真空中可動部、６１・・・・・
・反射鏡ホルダー、５２・・・・・・ばね、６４・・響
・・・ねじ、６６０・＊＊’ｏねじ、５６−−−−＠嚇
ねじ、５７・・・・・・回転スクリュー、６８・・・・
・・回転スクリュー。 第 １ 図 第２図 第３図 ２６５
Claims (1)
- 真空に保持された外囲筐体の内部に、反射鏡を保持した
反射鏡ホルダーを含む可動部のみを設け、前記外囲筐体
の外側に設けられたマイクロメータヘッドの直線移動を
前記可動部に伝える機構を有し、前記反射鏡ホルダーは
一方からばねによって他方から複数個のねじによって可
動部に取り付けられており、前記外囲筐体に設けられた
回転手段を介して前記複数個のねじの少なくとも１個を
回転させて反射鏡の傾き角を調整する機構を有すること
を特徴とする反射鏡調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57061608A JPS58178309A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 反射鏡調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57061608A JPS58178309A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 反射鏡調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178309A true JPS58178309A (ja) | 1983-10-19 |
Family
ID=13176043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57061608A Pending JPS58178309A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 反射鏡調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178309A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0659181A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-03-04 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置用レーザ光反射ミラー装置 |
| FR2789217A1 (fr) * | 1999-02-01 | 2000-08-04 | Pierre Marie | Generateur de puissance electrique |
-
1982
- 1982-04-13 JP JP57061608A patent/JPS58178309A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0659181A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-03-04 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | レーザ加工装置用レーザ光反射ミラー装置 |
| FR2789217A1 (fr) * | 1999-02-01 | 2000-08-04 | Pierre Marie | Generateur de puissance electrique |
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