JPS58187775A - アルゴンの製造方法 - Google Patents
アルゴンの製造方法Info
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- JPS58187775A JPS58187775A JP7090682A JP7090682A JPS58187775A JP S58187775 A JPS58187775 A JP S58187775A JP 7090682 A JP7090682 A JP 7090682A JP 7090682 A JP7090682 A JP 7090682A JP S58187775 A JPS58187775 A JP S58187775A
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- nitrogen
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はアルゴン、酸素、′ｉＩｉ素よりなる原料ガ
スからなる低ｈａ着法によってアルゴンを分離、製造Ｔ
る方法に関する。
スからなる低ｈａ着法によってアルゴンを分離、製造Ｔ
る方法に関する。
一般にアルゴンの製造は、空気深冷分離装置の上部精留
塔からアルゴン金型の多い酸素を抜き出し、これを粗ア
ルゴン塔に４き、化アルゴン塔で棺賀して粗アルゴンと
し、この桓アルゴン中の酸素を脱酸したのち高純アルゴ
ン塔でｔｌｎｌ、ｍ純アルゴンを得る方法によって行わ
れている。しかしながら、この方法では、空気深冷分１
ｌＩｉｉ装嵐の上部相留塔から抜き出す原料ガス中の窒
素濃度が３修以上となると、粗アルゴン塔での精留が四
−になるため、窒素濃度を常に規定Ｓ表以内に林つ必費
があり、これが上Ｓ精留塔の運転条件を柚々に制約り、
ｉｌ＆度の鉄嵐趣転技術を会費としている。
塔からアルゴン金型の多い酸素を抜き出し、これを粗ア
ルゴン塔に４き、化アルゴン塔で棺賀して粗アルゴンと
し、この桓アルゴン中の酸素を脱酸したのち高純アルゴ
ン塔でｔｌｎｌ、ｍ純アルゴンを得る方法によって行わ
れている。しかしながら、この方法では、空気深冷分１
ｌＩｉｉ装嵐の上部相留塔から抜き出す原料ガス中の窒
素濃度が３修以上となると、粗アルゴン塔での精留が四
−になるため、窒素濃度を常に規定Ｓ表以内に林つ必費
があり、これが上Ｓ精留塔の運転条件を柚々に制約り、
ｉｌ＆度の鉄嵐趣転技術を会費としている。
また、多くの設備を会費とし、設備コストの点で不利で
あり、さらに加熱、冷却を繰り返すたり、エネルギー的
にも不経済である。
あり、さらに加熱、冷却を繰り返すたり、エネルギー的
にも不経済である。
このたＯＳ絨近上述のようなｎ貿法によらない低温吸涜
法によるアルゴンの分離力法が捉峯されている。（脅公
陥５５−１６０８８号公報参照）この方法は、ｖＭ累濃
ｋをα１％以下としたアルゴン、酸素の混合ガスを−１
８６〜−１３５’Ｃの低温でかつＬ５〜３０’ＪＱの圧
力下でム型ゼオライトに流通させて酸素を執着除去し、
アルゴンを分離したのち、圧力を大気圧まで低下さ（、
さらにＯ，ａｔ〜ＩｇＬｉｇｔで減圧することによって
ム城ゼオライトからｉ！１２索をＢ？、７ｆｉｆして、
ム型ゼオライトを沓生するものである。しかし、この低
温吸着法は、吸宥工程時、５〜１０°／３〜う分の昇ｆ
ｆ１ｉａ根で行っているたの、温良調節が面倒であるこ
と、酸素の脱着を真空ｆＩＬＩｊｔ下で行っているため
に真空装置ダ必要となり、設備費および動力費が嵩むこ
と窒素を予かじ＜） Ｏ，１％以下に除去する会費があ
り、原料ガスのａｍが駆足されることなどの欠点がある
。
法によるアルゴンの分離力法が捉峯されている。（脅公
陥５５−１６０８８号公報参照）この方法は、ｖＭ累濃
ｋをα１％以下としたアルゴン、酸素の混合ガスを−１
８６〜−１３５’Ｃの低温でかつＬ５〜３０’ＪＱの圧
力下でム型ゼオライトに流通させて酸素を執着除去し、
アルゴンを分離したのち、圧力を大気圧まで低下さ（、
さらにＯ，ａｔ〜ＩｇＬｉｇｔで減圧することによって
ム城ゼオライトからｉ！１２索をＢ？、７ｆｉｆして、
ム型ゼオライトを沓生するものである。しかし、この低
温吸着法は、吸宥工程時、５〜１０°／３〜う分の昇ｆ
ｆ１ｉａ根で行っているたの、温良調節が面倒であるこ
と、酸素の脱着を真空ｆＩＬＩｊｔ下で行っているため
に真空装置ダ必要となり、設備費および動力費が嵩むこ
と窒素を予かじ＜） Ｏ，１％以下に除去する会費があ
り、原料ガスのａｍが駆足されることなどの欠点がある
。
この発明株上紀拳悄に麺みてなされたもので、製造＆備
が少なくて済むとともに運転操作が簡単であり、アルゴ
ンの回収率の高い低温吸着法によるアルゴンの製造方法
を提供することを目的と１−るものであるＪ 以下、図面を参照してこの発明を奸しく説明する。
が少なくて済むとともに運転操作が簡単であり、アルゴ
ンの回収率の高い低温吸着法によるアルゴンの製造方法
を提供することを目的と１−るものであるＪ 以下、図面を参照してこの発明を奸しく説明する。
第１図は、この発明のアルゴンの振造方法に用いられる
製造Ｍ直の一例を示Ｔものである。
製造Ｍ直の一例を示Ｔものである。
璧気深冷分ｌＩ＃、、装区の機種留塔１の上部絹貿堪２
の中間膜から抜き出された、例えばアルゴン５〜１う襲
、ｗ１本１〜ン襲、酸素残部、渥膨−１８０℃根度の漣
別ガスは、管３から熱交換器４に導入され後述する戻り
ガスにより加湿されて雷５から圧旙憔６に導入される。
の中間膜から抜き出された、例えばアルゴン５〜１う襲
、ｗ１本１〜ン襲、酸素残部、渥膨−１８０℃根度の漣
別ガスは、管３から熱交換器４に導入され後述する戻り
ガスにより加湿されて雷５から圧旙憔６に導入される。
ここで原料ガスは３〜５〜機度、Ｏ〜−１００℃相度の
状馨となって升７Ａを鮭て、Ｉｌ吸看筒ム−１と第２吸
看賃ム−２とからなるム系列吸着器ｋＯ第１吸倉筒＆−
１に送り込まれる。第１吸着筒ムー１と第２吸層簡Ａ
−２とには、ム型ゼオライトが吸着剤として充填されて
いて、原料ガス温度と−１じ温度、０〜−１叩°Ｃに保
持されている。第１吸着筒ムー１に導入された原料ガス
は、ここでｖｊＩ木が吸′Ｎ除去されたのち、管８ムを
経て、第２吸ｍ筒Ａ−２に入り、さらにここで＃Ｍ素が
Ｔｉ＆層除去されて、弁９＾、管１０、ａｊｌ調贅片１
１を峠て製品アルゴンか官校より拍出される。
状馨となって升７Ａを鮭て、Ｉｌ吸看筒ム−１と第２吸
看賃ム−２とからなるム系列吸着器ｋＯ第１吸倉筒＆−
１に送り込まれる。第１吸着筒ムー１と第２吸層簡Ａ
−２とには、ム型ゼオライトが吸着剤として充填されて
いて、原料ガス温度と−１じ温度、０〜−１叩°Ｃに保
持されている。第１吸着筒ムー１に導入された原料ガス
は、ここでｖｊＩ木が吸′Ｎ除去されたのち、管８ムを
経て、第２吸ｍ筒Ａ−２に入り、さらにここで＃Ｍ素が
Ｔｉ＆層除去されて、弁９＾、管１０、ａｊｌ調贅片１
１を峠て製品アルゴンか官校より拍出される。
一２吸漕簡ム−２の吸揄剤が酸素で飽和する直前に原料
ガスの供給を第１＆＊ｔ＆ＪＡ−１から、Ａ系列執着益
ムとｆＭＪ株に帯戚されたＢ系列吸着器Ｂの第１＆嵩筒
Ｂ−１に切り替える。この時、第１Ｗｊ１．盾部＆−１
が承素で飽和する寸前となるようにｍ料ガス組成に合わ
せて各吸麺動Ａ−４・Ａ−２の容量をＦ＆ｅｎシておく
。しかし、原料ガス組成り良動によって、若干貢の搦索
が第２奴准筒Ａ−２に流入しても友人な−をにならない
。
ガスの供給を第１＆＊ｔ＆ＪＡ−１から、Ａ系列執着益
ムとｆＭＪ株に帯戚されたＢ系列吸着器Ｂの第１＆嵩筒
Ｂ−１に切り替える。この時、第１Ｗｊ１．盾部＆−１
が承素で飽和する寸前となるようにｍ料ガス組成に合わ
せて各吸麺動Ａ−４・Ａ−２の容量をＦ＆ｅｎシておく
。しかし、原料ガス組成り良動によって、若干貢の搦索
が第２奴准筒Ａ−２に流入しても友人な−をにならない
。
ついで、Ａ糸夕１１吸！に器ムに減圧１極に入り、Ｄ系
列吸着器Ｂに上述の 層重らに入る。
列吸着器Ｂに上述の 層重らに入る。
すなわち、弁９Ａを閉じ、升１３Ａを１Ｊき、第２吸層
＠ Ａ−２内を常圧とし、眼役剤に吸着していた酸素を
膜層させる。こｑ）説盾敵木と船２吸着簡ムー２内に涌
貿していたアルゴンＦｉ智１４を経て、−交換器４に送
られ、ここで冷却されて上部軸ｗ塔２の中間駅に戻され
る。また、弁１６ムを閉じ、弁１５ムを開いて、結λ獣
着餉ムー１内を常圧とし、吸着剤に＠、看していた電嵩
を脱着さゼる。この脱着窒素と第１奴層筒Ａ−１内に＊
１ｌｌｌしていた酸素およびアルゴンは、管１７から外
部に放出される。
＠ Ａ−２内を常圧とし、眼役剤に吸着していた酸素を
膜層させる。こｑ）説盾敵木と船２吸着簡ムー２内に涌
貿していたアルゴンＦｉ智１４を経て、−交換器４に送
られ、ここで冷却されて上部軸ｗ塔２の中間駅に戻され
る。また、弁１６ムを閉じ、弁１５ムを開いて、結λ獣
着餉ムー１内を常圧とし、吸着剤に＠、看していた電嵩
を脱着さゼる。この脱着窒素と第１奴層筒Ａ−１内に＊
１ｌｌｌしていた酸素およびアルゴンは、管１７から外
部に放出される。
そして、ム系タ１１１１ｉｋ′ｌＩＩ＃Ｍム框引きつづ
いて洗滌工程に入る。すなわち、第２吸層簡ムー２には
、管１８、減圧弁１９、管２０、弁２１ムを駐て、製品
アルゴンが＃ｔは常圧で導入され、吸着剤に成層してい
る残余の酸素を追い出す。洗滌後の廃ガスは、第２＠着
筒ムー２から弁１３Ａ、Ｌ＃ｔ１４を経て熱変換６４に
送られ、ここで冷却されて上部梢餉＃１２に戻される。
いて洗滌工程に入る。すなわち、第２吸層簡ムー２には
、管１８、減圧弁１９、管２０、弁２１ムを駐て、製品
アルゴンが＃ｔは常圧で導入され、吸着剤に成層してい
る残余の酸素を追い出す。洗滌後の廃ガスは、第２＠着
筒ムー２から弁１３Ａ、Ｌ＃ｔ１４を経て熱変換６４に
送られ、ここで冷却されて上部梢餉＃１２に戻される。
また、第１［看簡ム−１には空気深冷分離鉄ａ１で発生
ずる低温の酸素が賃２２、弁２３ムを鮭てほぼ常圧で導
入され、吸着剤に！＆層している残余の窒素を退い出す
。洗紗彼の廃ガスは、第し＠膚簡ムー１から弁１５ム、
管１７を経て外部に放出される。かくしてム糸タリ成層
恭ムは貴生され、次のＶ＆層工程に博える。＾糸夕り吸
７ＩＩＩ器ムが減圧、洗滌工程にある間、Ｂ系タリ吸＊
ＩｔｌＢは、上記の吸庸工機にあり、製品アルゴンを製
造している。そして、ム系列畝ｙｌＩｔ器ム、Ｂ系列吸
着！ＩＢを交互に鵬次切替えることＫより、連続的に製
品アルゴンが製造できる。
ずる低温の酸素が賃２２、弁２３ムを鮭てほぼ常圧で導
入され、吸着剤に！＆層している残余の窒素を退い出す
。洗紗彼の廃ガスは、第し＠膚簡ムー１から弁１５ム、
管１７を経て外部に放出される。かくしてム糸タリ成層
恭ムは貴生され、次のＶ＆層工程に博える。＾糸夕り吸
７ＩＩＩ器ムが減圧、洗滌工程にある間、Ｂ系タリ吸＊
ＩｔｌＢは、上記の吸庸工機にあり、製品アルゴンを製
造している。そして、ム系列畝ｙｌＩｔ器ム、Ｂ系列吸
着！ＩＢを交互に鵬次切替えることＫより、連続的に製
品アルゴンが製造できる。
つぎに、細２図を参照して、この発明のアルゴンの製造
方法の原塩を説明する。第２図のグラフは、ム型ゼオラ
イト００〜−２００℃の温良範囲におけるアルゴン、窒
素、酸素の吸ｍ％性を圧カフ００■Ｈｇの時のデータで
示したもので、たて軸Ｌム型ゼオライ艷の１空洞尚りの
吸着分子数を示し、よこ＠は温度である。このグラフか
ら明らかなように１温嵐が０〜−１００℃の範四では、
アルゴンの９＆層ｉ［は窒素、鍍嵩Ｏ欲層童に比ベニ着
るしく低い。％Ｋ、−５０°Ｃ付近ではこのＩ＆盾量の
差が最大となっている。したがって、Ｏ〜−１００℃、
好ましくは−５０℃ｌｉＩ後でアルゴン。
方法の原塩を説明する。第２図のグラフは、ム型ゼオラ
イト００〜−２００℃の温良範囲におけるアルゴン、窒
素、酸素の吸ｍ％性を圧カフ００■Ｈｇの時のデータで
示したもので、たて軸Ｌム型ゼオライ艷の１空洞尚りの
吸着分子数を示し、よこ＠は温度である。このグラフか
ら明らかなように１温嵐が０〜−１００℃の範四では、
アルゴンの９＆層ｉ［は窒素、鍍嵩Ｏ欲層童に比ベニ着
るしく低い。％Ｋ、−５０°Ｃ付近ではこのＩ＆盾量の
差が最大となっている。したがって、Ｏ〜−１００℃、
好ましくは−５０℃ｌｉＩ後でアルゴン。
窒素、酸素の混合ガスをム型ゼオライトが充填された＃
１１１＠看筒＾−１および第２吸看鋤ム−２に順次流せ
ば、第１吸看筒ム−１に窒素が、ついで第２＋＆着＠
Ａ −２に練累が吸着され、アルゴンはほとんど吸着さ
れずＫそのｔｔｓｚ吸嵩筒ム−２から帰山される。した
かつて、アルゴン、家祢、歌集０１合ガスからアルゴン
を分離することができる。
１１１＠看筒＾−１および第２吸看鋤ム−２に順次流せ
ば、第１吸看筒ム−１に窒素が、ついで第２＋＆着＠
Ａ −２に練累が吸着され、アルゴンはほとんど吸着さ
れずＫそのｔｔｓｚ吸嵩筒ム−２から帰山される。した
かつて、アルゴン、家祢、歌集０１合ガスからアルゴン
を分離することができる。
そして、このようなアルゴンの製造方法によれば、ｔ＆
層温表をさほど厳密にｔ壇しなくて鳴よく、挟置の運転
が容易となる。また、真空減圧による酸素、窒素の脱着
を行っていないので、真空ポンプなどの真空装置が不要
であり、設備費、Ａ力費が安くて栖む。さらに、吸５ｖ
温巖をＯ〜−１００゛Ｃとム型ゼオライトがｗ１素、成
木の両省を同時によく吸＊Ｔる温度域を選択したので、
従来の低温吸庸法のように予め窒素を除去しておく必要
がなく、窒素含有蓋の多いガス４原料ガスとして用いる
ことができ、多様な原料ガスに対応することができると
ともに原料ガス中の窒素含有側合について例んら制約を
受けないので、従来のａ画法によるアルゴン製造の−の
空気深冷分離装置Ｏ運転の囚離度が酸相される。また、
Ａ糸タリ吸着器Ａを第ｌ成層簡ムー１と第２吸層薗ムー
２とに分離し、第１（＆漬簡ムー１で窒素を、第２吸増
筒に−２で酸素をＭ看除去Ｔるようにし、給ｌ成層簡Ａ
−ｉの洗ｆＩｋＫ空気徐冷分岨装匣１からの低温酸素を
用いるように＊ｍしたので、高価なアルゴンを用いる必
要がなく、アルゴンのロスが少なくなるとともに、上記
酸素の殊冷によって成層器ムの寒冷損失が補われ、吸着
に必要な低温を維持することが容易となる。さらに、第
２吸階餉ムー２の洗滌再生時、アルゴンと１！＆素との
廃ガスを空気採冷分１ｍ、＆直の上部ｊｎｌＩＩＩｌ塔
２に戻すようＫしているので、アルゴン、ｉＩ２素のロ
スが防止で自る。また、上部楕ｗｓ２に戻した酸素は、
上部精留塔２から吸着器ムに帰ってくる仁とがないので
、圧ｍａｌｅ６、ｔｈ２吸着簡ム−２の容量を太龜くす
る必要がない。
層温表をさほど厳密にｔ壇しなくて鳴よく、挟置の運転
が容易となる。また、真空減圧による酸素、窒素の脱着
を行っていないので、真空ポンプなどの真空装置が不要
であり、設備費、Ａ力費が安くて栖む。さらに、吸５ｖ
温巖をＯ〜−１００゛Ｃとム型ゼオライトがｗ１素、成
木の両省を同時によく吸＊Ｔる温度域を選択したので、
従来の低温吸庸法のように予め窒素を除去しておく必要
がなく、窒素含有蓋の多いガス４原料ガスとして用いる
ことができ、多様な原料ガスに対応することができると
ともに原料ガス中の窒素含有側合について例んら制約を
受けないので、従来のａ画法によるアルゴン製造の−の
空気深冷分離装置Ｏ運転の囚離度が酸相される。また、
Ａ糸タリ吸着器Ａを第ｌ成層簡ムー１と第２吸層薗ムー
２とに分離し、第１（＆漬簡ムー１で窒素を、第２吸増
筒に−２で酸素をＭ看除去Ｔるようにし、給ｌ成層簡Ａ
−ｉの洗ｆＩｋＫ空気徐冷分岨装匣１からの低温酸素を
用いるように＊ｍしたので、高価なアルゴンを用いる必
要がなく、アルゴンのロスが少なくなるとともに、上記
酸素の殊冷によって成層器ムの寒冷損失が補われ、吸着
に必要な低温を維持することが容易となる。さらに、第
２吸階餉ムー２の洗滌再生時、アルゴンと１！＆素との
廃ガスを空気採冷分１ｍ、＆直の上部ｊｎｌＩＩＩｌ塔
２に戻すようＫしているので、アルゴン、ｉＩ２素のロ
スが防止で自る。また、上部楕ｗｓ２に戻した酸素は、
上部精留塔２から吸着器ムに帰ってくる仁とがないので
、圧ｍａｌｅ６、ｔｈ２吸着簡ム−２の容量を太龜くす
る必要がない。
なお、以上の実施では、ム系列獣着儀ムとＢ系列吸着器
Ｂとの２系列を交互に切管えて運転するものについて説
明したが、これに限定されず、ｌ系列あるい扛３系列以
上のものを用いることもできる。
Ｂとの２系列を交互に切管えて運転するものについて説
明したが、これに限定されず、ｌ系列あるい扛３系列以
上のものを用いることもできる。
以上ｉａ明したように、この発明のアルゴンの製造方法
によれば、従来の低温吸着法に比べてｖＩ＆層直度をさ
ほどＩＩｋ密に雪塊する必要かなく運転操作１容易とな
る。また、吸着剤の再生を＃ｋＸあるい社アルゴンによ
る洗滌再生によっているので、真空ポンプ等の真空装置
が不要となり、設ｇＩｌ貴、動力費が低減される。さら
に１洗滌再生に使用されたアルゴンは原料系統である上
部精留塔に返送し２ているのでアルゴンのロスが少なく
、アルゴンの一収率が高められる。また、Ｉｌ精留塔と
は分離して運転できるので空気深冷分１１１ＭＫのアル
ゴン採取に係る運転の困１ＩＩＩＷＬが緩和される。さ
らに、従来の棺留法Ｏこと〈冷却、加熱を繰り返す心安
がなく、エネルギー損失も少なく、経済性に富むなどの
利点が得られる。
によれば、従来の低温吸着法に比べてｖＩ＆層直度をさ
ほどＩＩｋ密に雪塊する必要かなく運転操作１容易とな
る。また、吸着剤の再生を＃ｋＸあるい社アルゴンによ
る洗滌再生によっているので、真空ポンプ等の真空装置
が不要となり、設ｇＩｌ貴、動力費が低減される。さら
に１洗滌再生に使用されたアルゴンは原料系統である上
部精留塔に返送し２ているのでアルゴンのロスが少なく
、アルゴンの一収率が高められる。また、Ｉｌ精留塔と
は分離して運転できるので空気深冷分１１１ＭＫのアル
ゴン採取に係る運転の困１ＩＩＩＷＬが緩和される。さ
らに、従来の棺留法Ｏこと〈冷却、加熱を繰り返す心安
がなく、エネルギー損失も少なく、経済性に富むなどの
利点が得られる。
第１図はこの発明のアルゴンの製造方法に用いられる製
造＆ＫＯ−例を示す歎陥構成図、第２図はム型ゼオライ
トの吸着特性を示すグラフである。 ｌ・・・・・Ｉｌ梢曽塔、２．・・・・・上部精留塔、
４・・・・・熱父換鮨、６・・−・・圧ｍ機、ム−１・
・・・・第ｌ吸看筒、Ａ−２・・・・・ＶＳＺＴＪ＆庸
筒、１３．２１．２３ ・・・・・弁、１４．１８．
２０．２２・・・・・管、１９・・・・・減圧弁。 ３２０− 第２図 憎 □ｊ墓度（′Ｃ）
造＆ＫＯ−例を示す歎陥構成図、第２図はム型ゼオライ
トの吸着特性を示すグラフである。 ｌ・・・・・Ｉｌ梢曽塔、２．・・・・・上部精留塔、
４・・・・・熱父換鮨、６・・−・・圧ｍ機、ム−１・
・・・・第ｌ吸看筒、Ａ−２・・・・・ＶＳＺＴＪ＆庸
筒、１３．２１．２３ ・・・・・弁、１４．１８．
２０．２２・・・・・管、１９・・・・・減圧弁。 ３２０− 第２図 憎 □ｊ墓度（′Ｃ）
Claims (1)
- 空気深冷分陰装置のｎｗ塔からｉｆｉ自出されたアルゴ
ン、敵本、窒素の混合ガスを原料ガスとし、この原料ガ
スを加圧して温［０〜−’ｌｏｏ’ｃでム扱セオライト
が充填された８１＠１１簡からム型ゼオライトが充填さ
れた第２１に看筒へ順次流し数品アルゴンを得る工程と
、前記第１．および第２吸層簡管常圧まで減圧して窒素
、＃Ｉ素を脱着さゼ、第１ａｙ１１筒からの脱着カスは
放出し、第２叡看筒からの脱着ガスＦｉｍｅ塔に返送し
た後製品アルゴンの一部を麩２ｇ＆層簡に流し該筒内を
洗滌した上１ｎＩ留塔に返送するとと−に空気陳冷分離
鉄１からＯ酸素を第１ＦＪ＆層簡に流して該筒内を洗滌
した上板用して吸着筒を再生する工程によってアルゴン
を製造することをＩＩＩとするアルゴンの製造方法、Ｊ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7090682A JPS58187775A (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | アルゴンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7090682A JPS58187775A (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | アルゴンの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58187775A true JPS58187775A (ja) | 1983-11-02 |
| JPH0351648B2 JPH0351648B2 (ja) | 1991-08-07 |
Family
ID=13445026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7090682A Granted JPS58187775A (ja) | 1982-04-27 | 1982-04-27 | アルゴンの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58187775A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147086A (ja) * | 1984-01-11 | 1985-08-02 | 大同酸素株式会社 | 高純度窒素ガス製造装置 |
| JP2008039457A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 計器用測定端子及び計器用測定端子操作具 |
-
1982
- 1982-04-27 JP JP7090682A patent/JPS58187775A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147086A (ja) * | 1984-01-11 | 1985-08-02 | 大同酸素株式会社 | 高純度窒素ガス製造装置 |
| JP2008039457A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 計器用測定端子及び計器用測定端子操作具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0351648B2 (ja) | 1991-08-07 |
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