JPS58192012A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は２．５倍程度の倍率のアクロマート級対物レン
ズに関するものである。

一般に顕微鏡対物レンズには、それ自体で物体１象を形
成する有限設計タイプのものと、物体より発して対物レ
ンズに入射した光を平行光束として取り出し、これを対
物レンズ後方に配置ｇされた結像レンズによって物体像
を形成するようにした無限遠設計タイプとが知られてい
る。そのいずれのタイプの顕微鏡対物レンズにおいても
倍率が２．５倍程度の低倍率のものは殆んど知られてお
らず、特に他の倍率の対物レンズと同焦点をなすものは
皆無といってよい。例えば特開昭５１−４６９６３号公
報にて１倍〜２倍の顕微説対物レンズが発成されている
が、この対物レンズは像の平担性等の結像性能が１ψ高
９ｍｍまでの範囲で保証されているのみで、本発明の目
的のように１″！′高１３　ｍ　ｍ以トの広い視野範囲
にわたって結１象性能が保証されているものとは比較に
ならぬ程結像性能の不十分なレンズ系である。

本発明の目的は無限遠設計タイプのものでＮＡが０．０
７で大きくしかも広い視野にわたって極めてｆ　Ｊｕ性
の良い１砿の得られる２、５程度の倍率のアクロマート
級対物レンズを提供することにある。

の ト発［す↓２、対物レンズは第１図に示すように像■（
１］より順に物体側に凸面を有するメニスカス状レンズ
あるいは両凸レンズの正レンズＬ１よりなる第１群レン
ズと、負レンズＬ２よりなる第２群レンズと、市し／ズ
Ｌ３と負レンズＬ４とを貼合わせた正の接合レンズ或は
負の接合レンズの第３群レンズと、ｔヒレ、７２Ｌ５と
自レンズＬ６とを貼合わせたＩＥの接合レンズ或は負の
接合レンズの第４群レンズと、負しンスＬ７トＩＦレン
ズＬ８とを貼合わせたＩＦの接合レンズの第５　ｈｆレ
レンとよりなり、次の条件を満足するようにしたもので
ある。

ｔＮ　　ｔｌ、２：５　ｆ　　＜　　Ｄ　　（０，３５
ｆｎ１→−０２ ＋ｚ＋　　１．５６　　＜　　　　　−νｌ　＋νつ Ｉ：ｌｌｌ　　、１０　＜□ （、！ｌ　　　ｌ（１＜　　ν５−シロたたしｆは全糸
の焦点距離、Ｄは第１群レンズの１家側の面から第３群
レンズの物体ｊＵＩＩの而までの距離（ｄ２＋ｄ３＋ｄ
４）、ｎｌ、ｎ２は夫々第１群レンズＬ、と第２群レン
ズＬ２の屈折率、シ１．シ２は夫々第１群レンズＬ１と
第２群レンズＬ２のアツベ数、ν５．シロは夫々第４群
レンズのＩＦレレンＬ５と負レンズＬ６のアツベ数であ
る。

次に上記各条件について説明する。

無限遠設計タイプの顕微鏡対物レンズは、結像レンズと
対をなして信用されるために最も屹方に必ずＩＦの１１
７１折力を廟するレンズが配置される。ぞしてχ・１物
レンズと結暉レンズの両者で結像性能が決められる。し
た−かって結像レンズにより発生する収差を打泊すよう
に対物レンズにて適度に収差を発生させる等′浴に７〜
１号レンズの存在を考１〆して収差を補正する必要があ
る、 ’ｆ’ｚ　ｊＴ山は本輩明対物レンズの基本配ｌｄを決
定するだめのものであって、十分（で長い作動距離を保
ちながら広い視野にわたってむらのない結像を確保する
ために設けられた条件である。この条件（１）において
Ｄの値がヒ限を越えると視野周辺の光束を１分に１象而
に導くことが出来なくなり、そのために周辺光−゛が不
足する。これをさけようとするとズ・１物レノズの全長
が長くなり高倍の対物レンズと同焦点とすることが困難
になる。捷だ下限を越えると１埃面彎曲が悪化し、これ
をレンズ各面のベンティング等で補正しようとすると十
分に長い作動距離が確保できなくなる。ここで作動距離
を長くしようとすると視野周辺の光束を十分に像面へ導
くことが出来なくなり、周辺光址が不足するので好捷し
くない。

条件１２）は、像面彎曲と歪曲収差を良好に補正するた
めに設けたものである。（ｎ１＋１１２　）、、の値が
この泊ｆｑ：　＋２１の下限を越えるとて寡面彎聞が慾
化し又歪曲ｉ１ｇ差が犬になる。これら収浩を各面のベ
ンティングによって補ｉＥ　Ｌようとすると球面収差の
袖市が困難になる。

−栄注Ｉ３１　、　（４１は視野全体にわたって色収点
をバランス良く袖ｒＥするために設けたものであって、
球面収差の色収差、倍率の色収差、コマ収差の色収差の
バランスをとるため番・ζ設けたものである。−６注（
３）において（Ｗ、＋Ｖ２Ｋ　　の値がその下限を１に
えると倍率の色１１に差が大になる。又条件（＋）にお
いてν５−シロの値が下限を越えると球ｍｌ収差の色収
差。

コマ収差の色収差が大になる。そして条件＋３１　、　
（４＋を満足しないといずれの場合もその時悪化した色
収差を各面のベンディングで補正しようとすると他の収
差例えば球面収差、像面彎曲が悪化する。

以上のように上記の条件（１）乃至条件（４）を満足す
る対物レンズは、本発明の目的にかなった広いぞ９野に
わたって良好な結像性能を有するレンズ系でば一層良好
な結１亨性能を有する対物レンズが得られる。

＋５１　　　ｔｉ、　　ａ　　ｆ　　　＜　　　ｒ　＋
　　　＜　　　Ｉ）、　５　　ｆｔ１ｉ１　　　−−（
１，３ｆ　　　＜　　　ｒ、３＜　　　−０，１ｆ（７
）　　　１．６　　　＜　　　ｎ。

・ｓ＋１５＜　　シ４−シ３ ただしｒｌは第１群レンズＬ１の物体＋ｋｌｌｌの面の
曲率半ｒｌ＋　　ｒ、３は第５群レンズの像側の而（Ｉ
ＦレレンＬ８の（＄　側の囲）の曲率半径Ｉ　ｎ、は第
１群レンズＬ１の屈折率、シ３．シ４は第３群レンズの
１［：、レンズＬ３および負レンズＬ４のアツベ数であ
る。

条件（５）は歪曲収差を全視野内でバランス良く補ＩＦ
するために設けた条件である。ｒｌがこの条件（５）の
１．限を越えると像面彎曲が犬になり、これを他の開の
ベンディング等で補ｉＥ　Ｌようとすると歪曲収差が大
になる。又下限を越えると歪曲収差が犬になる。

条件（６）は球面収差、コマ収差、像面彎曲、歪曲収１
に等をバランス良く補正するだめのものである。

ｒｌ　１１がこの条件（６）の上限を燃えると球面収差
が補１トイ・足になる。そしてこの球面収差を他の面の
ベンティング等で補正しようとすると、ｌ象面彎曲。

コマｉｌ’７差が悪化する。下限を越えると、歪曲収差
が入（こなり球面収差が補「Ｅ過剰になる。これを他の
［用のベンディング等で補正しようとすると１重面彎曲
、コマ収差が悪化する。

条件（７）はＩ家面胃曲と歪曲収差をバランス良く補Ｉ
Ｆするために設けたものである。この条件（７）におい
てｎｌがその下限を越えると１象面彎曲が７法化し７、
これをベンディング等で補正しようとすると歪曲収差が
大（でなる。

条件（８１は、倍率の色収差を良好に補ＩＦすると同時
に球＋＋＋ｉ収差の色収差とコマ収差の色収差をバラン
ス良く補１Ｅするために設けたものである。シ４−シ１
．の値がこの条件の下限をこえると倍率の色収差の補正
が困難になるか倍率の色収差を良好にしようとした時球
面収差の色収差とコマ収差の色収差のバランスが悪くな
る。

以上の条件のほかに更に次の条件（９）乃至条件（１１
）を満足させることによって一層良好な結障性能を有す
る７↑物レンズの実現が可能である。

（（＋）　　（１＜　　ｒｌ＜　　０，３　ｆ（［１）
　−−（１，２ｆ　　＜　　ｒ、ｏ＜　　−０，１ｆ（
＋＋’）　　ｔｏ　　・、ν８−シフだたＩ、ｒｌは第
３群レンズの１寡１則の１川（負し／ズＬｌの（ｖ！ｉ
則の而）の曲率半（ｆ＝、　　ｒ、ｏは第４群レンズの
１家１０１］の而（負レンズＬ６の像１則の面）の曲率
半径、シフ、ν８は夫々第５群レンズの負レンズＬ７お
よび正レンズＬ８のアツベ数である。

こｉｔら条件のうち条件（９）はコマ収差を補ＩＦする
ために設けたものである。ｒｌが条件（９）の−上限を
越えると球面収用が補正不足となりコマの対称性も悪化
する。又ｒ７が条件（９）の下限を越えると球面収差が
補Ｉ濾過剰となりコマ収差の対称性も悪化する。

ｃｆｔらを他の而のベンディングで補正しようとすると
像面彎曲が悪化し歪曲収差も犬となる。

条件（１０）は球面収差、像面彎曲、コマ収差をバラン
ス良く抽１１ミするために設けた条件である。この条１
＋（こおいて’１０が一上限の−（１，Ｉｆを越えると
球［円収差が補ＩＥ不足となり、これをＩｌｇの而のベ
ンティ／り！トで袖ｉＥ　Ｌようとするとコマ収差の対
称性が悪化する。下限の−〔ｌ、２ｆを越えると歪曲収
差が犬に７ｔり球面収差が補正過剰になる。これを他の
而のべ／′ｒイング寺で補＋ｆＥしようとすると像面１
吋曲が′出仕し、コマ収差の対称性も悪化する。

条件（１１）は球面収差の色収差と倍率の色収差を補市
するために設けたもので、ν８−レ、の値がこの条件の
下限を越えるとこれら色収差をバランス良く浦１Ｆする
ことができない。この場合球面収差の色収差を各面のベ
ンディング等で補＋Ｅ　Ｌようとすると倍率の色収差の
曲がりが犬きくなり好ましくない。

以−ト詳細に説明した本発明の実施例を次に示す。

実施例　ｌ ｒ、　　二〇、１８７６ ｄ　　＝０．０２８１１　　ｎ　　＝１．７４１　　ｖ
、　＝５２．６８１ ＋２−＝−０，５４９７ ｄ２＝０．１２１６ ｒＡ＝−（１，（１９７３ ｄ　　＝０．０１４６　　ｎ　　＝１．７８６５　　ν
２＝５ｆ１．００２ ＋４−０．０８０８ ｄ、二（１，＋３ｆ）Ｑ ｒ、τ−ｔ１．　＋６２４ ｄ５−＋１．＋１３８：（ｎ、＝１．Ｆ１４７６９　　
　ｖ３＝：う：（，８ｒ、　　−０，１６５７ ＋ｌ、、　　−（＋、ｔＮ２２　　　ｎ、＝１，６４２
５　　　ν４−５８，３７ｒ　７１１．２２４１ ｄ７　二１１．＋１１６０ ＋８−−０．４３５２ ｄ　　＝０．０５９８　　　ｎ　　＝１．４９７　　　
ｖ５−８１．６１５ ｒ、−−０，０８５６ ｄ　　　　−−０，＋１１２２　　　　　ｎ　　　　＝
１．　７４　　　　　　シロ　＝：３１．７６ ｒ＋　ｎ　　−−Ｆｌ、　１　：′１２７ｄ　、　ｏ−
ｆｌ、　００２４ ｒｌｌ−１，１１１：３ ｄ　　−（１，１）１４６　　ｎ　　−１，７８５９’
７−４４．１８１１　　　　　　　　　　　　　　　　
７ｒ１２　二＋、＋、１１３ ｄ　　　＝＋１．　（１３９０ｎ　　＝１．４９７　　
　ν８＝８１．６１１２　　　　　　　　　　　　　　
　　８ｒ　、　、ｔ−０，２１，１０ Ｆ−Ｉ　　　　　　　Ｄ＝０．３０３２、了　−２，５
Ｘ　　　　　　　　　　　　　　　　　（ｎ、　　トη
２）／２　＝　　　１．　７６３７５＋＋、’ｔ　　−
Ｏ，（１７ｙ５−　ｖ６　＝４９．９１ｔ　二（）、　
：３：う７　　　　Ｖ８−　ｖ７＝３７．４３書（ ｒ　　　　−−１，＋＋＋ｔ；　　　　　　　　　　　
（Ｖ、　　４　　ｙ　２　）／２　　＝５１、　：う１
「３ ｆ　＝　０．８７８　　　　　　　ｙ４〜Ｖ３＝２４．
５７実施例　２ ｒ、　＝０．１６５８ ｄ、＝（）、（１２９４ｎ、＝１．６２２３　　　シ、
＝５３，２ｒ２＝−０．５７２０ ｄ、、　＝０．１２２７ ＋３−０．１６４４ ｄ３＝０．０１５．１　　　ｎ２＝１．５３３７５　　
　ν２＝５５．５２ｒ４＝（１，０８１５ ｄ４＝ｎ、　１２８６ ＋５＝０．１３０５ ｄ５＝０．０３８６　　ｎ３＝１．６３９８　　ν３＝
：（４，−１８ｒ６＝−（１，１３６ｆｉ ｄ６＝０，０１２２　　　ｎ４＝１．７１３　　　ν４
＝５３．８４ｒ７−０．１６２７ ｄ７＝（１，０４６５ ＋８＝−０，１５８３ ｄ　　＝０．　ｆｌｆｉｆｌう　　ｎ　　＝１．−１９
７　　　ν５　二８１．６１５ ｒ、＝＝ｉｌ、　１１７８０ ｄ、：＝ｉｌ、　（１１２２ｎ６＝１．７１　　　シロ
＝３１．７ｒ　１０　　　二＝　　＋１．　１３：（８
ｄ、ｏ　二０．００２４ ｒ、、＝−５，３７９７ ｄ、、　　　−ｉｌ、（１ｌ　１６　　　　　　ｎ　７
　＝１．５６．１４４　　　　　　シフ　−４：う、　
７８ｒ１□　二０，８２３７ ｄ、２＝０．０３６５　　ｎ８＝１．４９７　　　シ８
−８＋、　６］ｒ　、　、ｔ　　＝−０，１９３３ Ｆ　＝　　ｌ　　　　　　　　　　　　Ｄ　＝０．３Ｆ
１３８ｔｊ−２，５Ｘ　　　　　　　（ｎ、　＋　ｎ２
）／２　＝１．５７８＋１３ＮΔ二０．　（＋７　　　
　　　Ｙ　５Ｙ６−４９．９１ｆ　ト、　−〇、　　：
（３７ν８−　ψ７　＝３７．　８３ｆＢ−＝−土（１
，１７（Ｖ、　トＹ２　）／２−５４．３６ｆ　＝＋１
．８７８　　　　　　　　Ｖ４−Ｖ３＝１９．３６Ｘ施
Ｐ２リ　　：う ｒｌ　二０．１６０１ ｄ、　　＝（１，（１，’（０５ｎ、　　＝１．６４１
　　　ｖ、　　＝５６．９３ｒ２＝−ｉｌ、　８２ｆｌ
Ｏ ｄ、、＝０．１２２６ ＋３　＝−＋１．１５０１ ｄ　７．−０．０　ｌ　ｂ３　　ｎ　　：１．５２６８
２　　ν２−５１．　］　２Ｔ４　；０．０８４５ ｄ、＝０．１２７７ Ｔ５　＝（１，１１１１ ｄ５　＝０．Ｏ：（８９ｎ３　＝１，５９２７　　　ν
３　＝３５，２９ｒ６＝−０，Ｈ１８６ ｄ　　＝０．０１２２　　　ｎ４＝１．７１３　　　ν
４−５３．８４ｒ７＝０．１６０９ ｄ７＝０．０４６４ Ｔ８　＝−ｏ、１４０１ ｄ　　＝０．０６０５　　　’ｎ　　＝１，４９７　　
　ν５　＝８１，６］５ ｒ９＝−０，０７４６ ｄ　　＝Ｏ，＋１１２２　　　ｎ　　＝１．７４　　　
ｖ６＝：Ｊ、１．７６ ｒ、。”＝−０，１２（１６ ｄ　、　ｏ＝０．００２＝１ ｒ、、　　＝１．２−１８４ ｄ、、＝０．０１４６　　　ｎ７＝１．５４８１４　　
　シ、＝４５．７８ｒ１□＝０．３１３４ ｄ、　２＝（１，Ｏ：３６ｆｉ　　　ｎ８＝１．４９７
　　　シ８＝８１．６１ｒ１３　χ−Ｉ）、　２！ｌ７
１ Ｆ　　−＝　　Ｉ　　　　　　　　　　　　　　Ｄ　＝
０．３（＋３９β−２，５Ｘ　　　　　　　　（ｎ、　
４　ｎ、、　）／２−１．５ｓ３９ｔＮＡ二０．０７　
　　　　　　　　Ｖｓ　　Ｔ６−４９．９］１Ｆ　二二
〇、　　３３７　　　　　　　　　　　　　　　　　ン
８−　Ｔ７−ご：（５，８３ｆＢニー１．０．１６　　
　　　　　　　　（Ｙ、＋　Ｔ２）／２　＝５４，０３
ｆ　−＝（１，８７８Ｔ４−　Ｖ３＝１？３．５５実施
例　４ ｒｌ−（）、３８；３０ ｄ、＝（１，０３１９ｎ、＝１．７６２　　　ｖ、ｌ（
１，１ｒ　２　＝−（１，１１１３ ｄ２＝Ｏ０Ｆ）４７８ ｒ、＝（１，１９９５ ｄ３　＝（１，０１８８ｎ２　川、５１１１８　　　し
２　＝５１．（１２ｒ４−（１，１１９２ ｄ４　二（＋、２００５ Ｔ５４１，４９９３ ｄ５　＝ｆｌ、０．１１９　　　ｎ３　＝１，５９２７
　　　ν３　＝３５．２９ｒｂ・−−−−−１）、０５
５８ ｄ　６　＝０．　０１２２　　　　　ｎ　４　＝１．　
６５８３　　　　２　　＝５７．　　：う３ｒ、　　−
ｆｌ、（＋９７（１ ｄ７−４１．０：Ｈ９ Ｔ８　ニー０３）８２７ ｄ　ｓ　　−０，ｏｂ、ｔｂ　　　　ｎ　５−１．４９
７　　　　しｓ　　−８１，０１ｒ９　ニー０．（１６
７２ ｄ９−（入　０１２２　　　　　ｎ６　−１．７４　　
　　　シロ　二３１．７ｒ、ｏ＝−０．１旧１ ｄ、ｏ＝Ｏ，（’）０２．−１ ｒ１□＝３．１４２６ ｄ、、　　二〇、０１４６　　　ｎ、＝１，６９７　　
　し７　＝−１８，５１”１２　＝０．４１３９ ｄ、□＝０．０４７６　　　ｎ８＝１．４９７　　　シ
８−８１，６１ｒ１１．ニー（１，＋３５５ Ｆ　＝　　Ｉ　　　　　　　　　　　　　Ｄ　＝（１，
３０４−１β＝　２．５Ｘ　　　　　　　　（ｎ、　＋
ｎ２）／２　＝１．６３６ＮＡ　＝ｆ）、　０７　　　
　　　　　　Ｔ５−　？’６＝４９．９１ｆ　、、　＝
（１，３３６Ｔ８−　Ｍ７＝３３．１ｆ　Ｂ　二１．０
４４　　　　　　　（’　＋　十’　２　）／２　二４
５．５　Ｇｆ　　＝Ｉｊ　　８７８　　　　　　　　　
　　　　’４　　　’３　　＝２２．旧実なｍｌ＋リ　
　５ ｒ　、　−＝（１，１１２６ ｄ、　　二（１，０３３Ｏｎ、　　＝１．　６２２：う
　　　　ｖ、　　＝５ｊ　　２ｒ、、　　−＋１．６２
９９ ｄ２　二ｔ１．　＋２８２ ｒ、、　　−（１，０６０７ ｄ３＝０．　Ｔ１２．＄３　　ｎ２＝１．６］７７２　
　ν２川９．８３ｒ４　　ニー２．　：う３５８ ｄ４−、＋１，１０８７ ｒ、二〇、Ｌ１６８ ｄ５　′−−（）、　（）５７９　　　　ｎ３　二１．
５（）２７　　　　　ν３　＝：う５．２９ｒ、−１１
，（１８１６ ｄｈ＝（１，１ｌ１２２　　ｎ、＝１．６５８３　　ｚ
　＝５７．３３ｒ、−０，１８５６ ｄ７−１１、（＋２９８ ５Ｑ　　　　Ｔ８−１１．１８Ｎ１ ｄ８　＝０．ｆ）、１７６　　　　ｎ５−＝１．４９７
　　　　し、　　＝８１．６１ｒ、−−−ｏ、ｏ７７７ ｄ９　＝（１，０１２２ｎ６　＝１，７４　　　　し、
＝３１．７ｒ、ｏ＝−０，１３８１ ｄ　、　ｏ−＋１．　＋１０２□１ ｒ１．−１．３９５１ ｄ、　、　−＝（ｊ、１１１４６　　ｎ７：１．５（１
＋３７　　シフ＝）６．４ｒ、、、　＝（１，Ｌ１１６ ａ、□＝ｏ、旧９１　　ｎｓ　−１，４９７νｓ　二）
１１．　ｂｌｒ、３＝−（１，１９３（Ｉ Ｆ　＝　　Ｉ　　　　　　　　　　　　　Ｄ　＝０．２
９７６β＝　２．５Ｘ　　　　　　　（ｙｌ、　＋　Ｍ
２）／２　＝１．６２ｆ）旧ＮＡ　＝０．０７　　　　
　　　　　Ｖ５−Ｖ６−・１ｑ、ｑ１ｆＦ＝０．３３６
　　　　　　　Ｖ８−　Ｖ、　＝２５．２１ｆ　Ｂ　−
−１、０４７（Ｖ１＋Ｖ　２　）／２−５１　、５２ｆ
　＝０．８７８　　　　　Ｖ４−ν＝Ｑ２．旧実栴例　
６ ｒ、　＝０．１０４４ ｄ、＝０．０３３Ｏｎ、＝１．６２２３　　　ｖ、＝５
３．２ｒ　２＝０．４３５２ ｄ２＝（１，１１６９ ｒ３−０．０５９２ ｄ３＝（１，０１４１ｎ２＝１．６１７７２　　ｖ２−
１９．８３ｒ、　＝−０，５２５３ ｄ　４−０．１３３６ ｒ、＝＋１．０１１．１ ｄ５＝Ｉ）、＋１３９４　　　ｎ３＝１，５９２７　　
　ｖ３＝３５．２９ｒ、＝−ｏ、０９５０ ｄ　　＝０．０＋２２　　　ｎ　　＝１．７＋３　　　
ν４　＝５３．８４４ ｒ７＝０．１１９３ ｄ７ニ０．０３２１ ｒ８−−ｆｌ、　１２：３６ ｄ８　＝＝＋１．旧９９　　　ｎ５　＝１．４９７　　
　ν５　＝８１．６１ｒ　、−＝−（，１，（１７（１
０ ｄ、＝ｆ）、　０１２２　　　ｎ６＝１．７４　　　シ
ロ＝３１．７ｒ　、　ｏ−（１，１＋６６ ｄ＋ｏ　　＝０．００２４ ｒ、　、　＝（１，７１３５ ｄ　、　、　＝ｆ１．０１４６　　ｎ７＝＝］、　５（
１１３７ｖ７＝５６．４ｒ、、、　＝（１，１２１２ ｄ、２＝０．０５９６　　　ｎ８＝１．１９７　　　シ
８＝８１．６１ｒ　、　３−−−ｆｌ、２１０９ Ｆ　　］　　　　　　　　　Ｄ＝０．３０１５β二＝　
２．５ｘ　　　　　　　　（ｎ、　＋　ｙｌ２）／２＝
１．６２００＋ＮＡ　′、−（１，０７ｙ５−　Ｖ６＝
、１９．９１ｆト、＝０．３：’ｒ７　　　　　　　　
　　Ｖ、−）／７＝２５．２１ｆＢ−川、　ｔ１３！１
　　　　　　　（Ｖ、　十）／２）／！　＝５１．５２
ｆ　＝（１，８７８Ｖ４−　Ｖ３＝１８．５５実施例　
７ ｒ、　＝０．１３９８ ｄ　　＝０．０３２９　　ｎ、　＝１．７５５　　ν、
　＝５２．３３］ ｒ：、　＝０．４１８３ ｄ２＝０．１８：（Ｒ ｒ　３＝−０，０６６［） ｄ３　＝ｔｌ、０１３６　　　　ｎ、＋　　＝１．５５
９６３　　　　し、−６１，１７ｒ４＝−０，２９０９ ｄ４＝０．０５１５ ｒ５−０゜３１０１ ｄ　　二０．０３７４　　　ｎ　　＝１．５９２７　　
　ν３−３５．２９５　　　　　　　　　　　　　　　
　　　３ｒ６＝−０，０４８：３ ｄ　　＝０．０１１６　　　ｎ４　＝１，５５９６３　
　　シ４−＝＋；１．１７ｒ７＝０．１４１０ ｄ７＝０．０２０８ ｒ８ニー＋１．０９８４ ｄ　　＝（）、　０１０１　　　ｎ　　＝：１．４９７
　　　ｖ５−８１．６１５ ｒ、、＝−ｏ、（１５３１ （１，−Ｄ、　（＋１１６ｎ６−１．７４　　シロ＝３
１．７ｒ　、　、、　　＝−（１，０９＋１ ｄ、　ｏ−０，００２３ ｒ　、　、　　−ｔ〕、　２２９３ ｄ　　　＝０．０１４Ｏｎ　　＝１．５０Ｈ８シフ＝６
５．９９１】７ ｒ１□　二０’、　１　Ｆ）、１ｆ） ｄ　　−０パ１７＝１２　　　ｎ　　＝１．４９７　　
　ｖ８＝８１．６１１２　　　　　　　　　　　　　　
　　　８ｒ　、　、−＝−（１，Ｉ　３９７ Ｆ　、′−Ｉ　　　　　　　　　　　　　Ｄ　＝０．２
９７４β−２，５χ　　　　　　　　　（ｙｌｌ　トｎ
２）／２−１．６５７３２１鉱　−Ｆｌ、ｆ）７　　　
　　　　　　　　　　Ｙ５−レ。−１９，９１ｆ　、　
　＝０．　　：３４（Ｉ　　　　　　　　　　　　　　
　　　Ｙ、　　−Ｖ７　＝＋　５．　６２ｔ　、　＝−
１，１＋、ｉ　　　　　　　　　　（ン、　　γ２　　
）／２　−５６．’７５ｆ　　二：（）、　８：（７γ
４−　ν３　コニ２５，８８友施例　８ ｒ、　　　＝ｆ１．１３９３ ｄ　　＝０．０３２９　　　ｎ　　＝１．７４１　　１
’、　−＝５２．６８１　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　］ｒ、、−ｏ、、１４６１ ｄ２＝ｆｌ、＋７６８ ｒ、　　０、ｆ）　６　！ｌ　り ｄ　　＝０．　（１１１８ｎ　　＝１．６５８３　　　
ν２＝５７．　：３：う２ ｒ４　ニー０．２Ｑ（’＋４ ｄ４　二０．０５４６ ｒ５　：（入　２１８９ ｄ５＝０．ｆ１４８０　　ｎ３＝１．５９２７　　シ３
＝３５，２９ｒ６　＝−〇、０５３５ ｄ６’４０．０１　＋６　　ｎ４＝１．５５９６３　　
ν４−６＋、　１７ｒ、＝０．１１４７ ｄ７＝０．０２０４ ｒ８　＝−０，０８４８ ｄ８＝０．０４０８　　ｎ５＝１．４９７　　ν５　＝
８１．６１ｒ９−０．０５２２ ｄ９　＝０．０１１６　　　ｎ６　＝１，７４　　　シ
ロ　二３１．７ｒ、。ニー０．０９４１ ｄ、。＝０．００２３ ｒ、、＝２．７５１７ ｄ、、＝０．０１４０　　　ｎ、＝１．５００４８　　
　ｖ、＝６５．９９’＋２　　二０．１０５３ ｄ　　−０，０７］　７　　ｎ　ｅ、　−１，４９７’
ｓ　−８１，６］２ ｒ　１３　−〜０．１３７　コ；Ｉ Ｆ＝　　Ｉ　　　　　　　　　　　　Ｄ　＝０．２９０
６β；２．５ｘ　　　　　　　　（ｎ、　＋　ｎ２）／
２　＝１．６９９６５ＮＡ　ユｏ、０７　　　　　　　
　　　　Ｖ５−Ｖ６　＝４９．！４１ｒＦ＝０．３．＋
ｏ　　　　　　　　ｖ８−シアー１５．６２咋−−１，
ｌｌ−１（ν１＋し、　）／２　＝５５．旧ｆ　二ｆ１
．８：３７　　　　　　　　　　　ｙ４〜）’、　　＝
２５．８８４６か」ｆンリ　　９ ｒ、　　−４１，１４：３８ ｄ、　＝（１，０３２７ｎ、　＝１．７５５　　　ν、
　＝５２．３３ｒ２１）、−１：Ｈｌ ｄ、、　＝ｏ、　１７９ｉ ｒ、＝−＋１．０７８３ ｄ、−二〇旧２Ｏｎ　　＝１，６９６８　　ν２−５６
．４９ｒ、＝−ｏ、１８７７ ｄ、二０．０５７１ ｒ、−１１，１・１５４ ｄ、＝０．旧７９　　ｎ　　＝１．５９２７　　ｖ３＝
３５．２９ｒ　、　　　−Ｉ）、０５６１ ｄ６＝（１，０１１６ｎ４＝１．６０３１１　　シ４＝
ｆｉ０．７ｒ７−・（１，０Ｈ６２ ｄ、　　１１．１１２１１ ｒ８−一（１，０８：３４ ｄ　　−＝（１，Ｆｌ−１５３ｎ　　＝１．４９７　　
　し、　＝）ｌ、　６１５ ｒ、　＝−（１，（１５２１ ｄ　　＝（１，（１１１６ｎ。＝１．７４　　シロ＝：
Ｈ，７ｒ　、　ｏ＝−（１，ｉｌ！１１：（ ｄｌｏ　　二＋１．０ｆ）２３ ｒ　、　、　　＝−２，１５６４ ｄｌｌ””−旧刊　ｎ７−１．５００４８し７二［３５
，９９ｒ、２−ｔｌ、１１１６ ｄ　、　　□　＝ｔ１．　０６：う（’ｌ　　　　　ｎ
　８−１．　４９７　　　　　ν８−８１．６１ｒ、３
−−０．１２１１ Ｆ　＝　　Ｉ　　　　　　　　　　　　　Ｄ　＝０．２
９６６ｉ　＝　２．　ｓＸ　　　　　　　　　（ｎ、　
±ｎ２’）／２　＝４．７２５ｇＮＡ二０．０７　　　
　　　　　　　ν５−シロ　＝、＋９．９１ｆＦ　−０
，３，１０νｓ　　Ｖ　７−＋　５．　ｂ　２ｆＢ＝−
１，１目（Ｎ、−Ｖ２）／２　＝５１．４１ｆ　＝（１
，８３７Ｍ４−ν３＝２５．４まただしｒＨ＋　ｒ２　
＋・・・１ｒ１３はレンズ各面の１１１］率半（￥、、
ｄ１＋　ｄ２　＋・・・＋ｄｉＴｌ：各し／ズの肉厚あ
・１つ よびヤ′Ａ間１１．％、Ｊ＋１１２＋　・・・、ｎ８は
各し／ズの屈折率、し、ν　　・・・、ν８（〆よ各レ
ンズのアツベ１　　　　２＋ 数、Ｉは倍率、ＮＡは開口数、ｆＦは全系の前側焦４Ａ
　（１γ置、ｆＢは全糸の後側焦点位１首である。

］二記各実施例は無限遠設計タイプの顕微鏡対物レンズ
であるので単独では物体像を形成することはない。した
がって各実施例の収差曲線図を第３図乃至第１１図に示
しであるが、これらはいずれも第２図に示すレンズ構成
であって次に示すチーター　　を有する結像レンズを配
着した時のものでちる。

ｒ　、　、　：ｆｌ、　３６＋１０ ｄ　　＝ｔ１．旧８８　　ｎ　　＝１．４８７４９　　
シ９＝７０．１５１４　　　　　　　　　　　　　　　
　　９ｒ、５−１．　：Ｊ）７１８ ｄ、、＝０．　（１２４，４ ｒ　ｌｔｉ　、＝−０，７（１１２ ｄ　　　＝（１０２，１４ｎ　　−１，７４ν１ｏ　二
２ｓ、　２９１６　　　　　　　　　　　　　　　　　
１０ｒ、７−］、・４りｌｔｉ５ ｄ　１　□　−＋１．　１８２９ ｒ１８−０．５：３５８ ｄ　　−、＋１０２２Ｏｎ　　＝１．４８７４９　　ν
、　、　＝７０．　Ｉ　５１８　　　　　　　　　　　
　　　　　　１１ｒ、、　−ｆｌ、２３９５ −ヒ吉己結ｆ家レンズのデーターは対物レンズと精１号
レンズの合成焦点距離Ｆを１にした時の値である。

−ヒ記実癩例のうち実施例１と実施例３は第１群レンズ
が両凸レンズ、第２群レンズが両凹レンズ、第３群レン
ズと第一１群レンズはいずれも正の屈折力を有する接合
レンズである。又実施１クリ２は第１１ｊｌレンズが両
凸レンズ、ｍ２＃レンズが両凹レンズ、第３昨レンズが
正の屈折力を有する接合レンズ、第。１群レンズが負の
屈折力を有する接合レンズである。実施例４は第１群レ
ンズが両凸レンズ、第１群レンズが負のメニスカスレン
ズ、第：３群レンズと第４群レンズがいずれも負のＪｉ
ｆｆ折力を有する接合レンズである。実施例５は第１群
レンズがＩＦのメニスカスレンズ、第２群レンズが両凹
レンズ、第３群レンズが正の屈折力を有する１４合レン
ズ、第４群レンズが負の屈折力を有する接合レンズであ
る。更に実施例６乃至実施例９１まいずｉも４１群レン
ズが市のメニスカスレンズ、第２群レンズが負のメニス
カスレンズ、第；３群レンズが負の屈折力を有する接合
レンズ、第４群レンズがｈの屈折力を有する接合レンズ
である。

以Ｆ説明したように又各実施例からも明らかなように本
発明対物レンズは、惨低倍のもので高倍のものと同焦点
を保ちしかも広い視野にわたって収差の良好に補正され
たレンズ系である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明対物レンズの構成を示す図、第２図は本
発明対物レンズと共に用いられる結像レン、くの一例の
構成を示す図、第３図乃至第１１図は本究明の実施例１
乃至実痛例９の各収差曲線図である１゜ 出願人　　　オリンパス光学工業株式会社代理人　　向
　　　　寛　　　− 球面収差　非点収差　歪曲収差 球面収差　　非点収差　歪曲収差 ＮＡ１０−０７　　　　　　　　０．１６　　　　　　
　　０．１６球面収差　非点収差　歪曲収差 −Ｑ（１０，０＋　　　　　−０，０２０，０２−２（
”ム）　　２球面収差　非点収差　　歪曲収差 球面収差　非点収差　歪曲収差 球面収差　非点収差　歪曲収差 球面収差　非点収差　歪曲収差 一〇、υｌ　　　　　　０．０１　　　　−０．０２　
　　　　０．０２　　　　　−２　　　　（＠ム）　２
球面収差　非点収差　歪曲収差 □、５差　非点収差　歪曲収差

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）′＋７１Ｊ体＋１４１１から順に物体側に凸面を
   有する正のメニスカスレンズ又は両凸レンズの第１昨レ
   ンズと、負レンズの第２群レンズと、正レンズと負レン
   ズとを貼合わせた接合レンズの第３＃レンズと、正レン
   ズと負レンズを貼合わせた接合レンズの第４ＩＪレンズ
   と、負レンズと正レンズを貼合わせたＩＦの接合レンズ
   の第５群レンズとよりなり次の条件（１）乃至条件（４
   ）を満足する顕微鏡対物レンズ。 ｕ）　　０，２５　ｆ　　＜　　Ｄ　　＜　　０．３５
   　ｆｎ、＋ｎ、。 （２１１，５６＜□ ｒｌ　＋し２ ＋ａ＋　　４０　　＜　− １４１，１０＜　　　ν５−　シロ ただしｆは全系の焦点距離、Ｄは第１群レンズの１象側
   の而から第３群レンズの物体１ｊｌｌ＋の１用までの距
   丙匪、ｎ、　、　ｎ２は夫々第１群レンズと第２群レン
   ズの屈折率、シ１．シ２は夫々第１群レンズと第２群し
   ／ス゛のアツベ数、ν５．シロは夫々第４群レンズの市
   レンズと負レンズのアツベ数でアル、。 （２）　　下記の条件（５）乃至条件（８］を特徴とす
   る特許請求の範囲（１）の顕微鏡対物レンズ。 １５１　　　　ｏ、　　］　　ｆ　　　＜　　　ｒ、　
   　　＜　　　０．５　　ｆｌｆｌｌ　　−０，：３　ｆ
   　　（ｒ、３＜　　−（１，１ｆ（７）　　１．６　　
   ＜　　ｎ。 １８）１５〈　　シ４−シ３ ただしｒｌは第１群レンズの物体側の面の曲率半径、ｒ
   ｌ３は第５群レンズの像側の而の曲率半径、シ４．シ１
   は第３群レンズの正レンズおよび負レンズのアツベ数で
   ある。 １３１　　トロ％の条件（９）乃至条件（１１）を特徴
   とする特許請求のφ１囲（２）の顕微鏡対物レンズ。 （９）　　　Ｏ＜　　　ｒ７＜　　　Ｏ，：’、　　ｆ
   （１０）　　−〇、２　　ｆ　　　＜　　　ｒ、ｏ　　
   ＜　　　−０，１ｆ（１１）　　１０　　　＜　　　ν
   ８−　シフただしｌ・７は第３群レンズの１１４１１１
   １の面の曲率半径、ｒｌｏは第、１群レンズのｊ側の面
   の曲率半径、シフ。 ν８は夫々第５群レンズの負レンズとＩＦレレンのアツ
   ベ数である。