JPS581935A - 真空機器の製造方法 - Google Patents
真空機器の製造方法Info
- Publication number
- JPS581935A JPS581935A JP9960081A JP9960081A JPS581935A JP S581935 A JPS581935 A JP S581935A JP 9960081 A JP9960081 A JP 9960081A JP 9960081 A JP9960081 A JP 9960081A JP S581935 A JPS581935 A JP S581935A
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- JP
- Japan
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- vacuum
- outer end
- container
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- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本侮−は高真空中て真空スイッナパルプ勢の真Ｐ 嵩
空害−をろう付けする鳩舎の真空機器の製造方法の改嵐
に論する。
に論する。
以下、真空中で真空容器をろう付けする鳩舎の真空機器
１の製造１鉄を真空スイッチバルブ（以下真空容器と称
す）を例にとり説−する・籐１１１１は従来の製造方法
における真空機器の一例である真空容器を真空炉内に設
置した状態を示す儒断曹閣である。
１の製造１鉄を真空スイッチバルブ（以下真空容器と称
す）を例にとり説−する・籐１１１１は従来の製造方法
における真空機器の一例である真空容器を真空炉内に設
置した状態を示す儒断曹閣である。
真空容器の絶緻筒鵞の上側にはシールド６を予め取付け
た端一４をろう材３を介して設置し、絶縁筒３の下側に
は端一１４をろう材３を介して設置専れている。
た端一４をろう材３を介して設置し、絶縁筒３の下側に
は端一１４をろう材３を介して設置専れている。
端一１４にはベローズ６の下端部がろう材３を介して設
置専れ、ベローズ・の上端部にはベローズカバー１がろ
う材３を介して重ねられ、専らにろう材３を介して電極
ｓａが取着された可動電極棒８が開示のごとく上部より
挿入されている・端１１４には電極−−が取着された固
定電極棒９がろう材３を介して挿入婁れ、壺構成部品が
仮組立て専れている・ ｒｓ このように真空容器の構成部品の４ｋＩ１１食部にそれ
ぞれろう材３を配置して鎖−立てを°行なったものを真
空−１内８ｃ設置し、この真空炉１内を排気ポンプ１０
の排気系によりｌ＠−増・ジ以下。高真！１７排気した
後、排気を続けながら真空炉１内金体のｉｉｔをデ一部
に設置専れた加熱−一タ！ＩＫ：より上昇させ、壱構成
部品からの鳳ガスを十分性なった後、で会るだ＃ｊＩ！
１時間内くろう付けＩ１１直に加熱してろう付けし真空
容器を形成する。
置専れ、ベローズ・の上端部にはベローズカバー１がろ
う材３を介して重ねられ、専らにろう材３を介して電極
ｓａが取着された可動電極棒８が開示のごとく上部より
挿入されている・端１１４には電極−−が取着された固
定電極棒９がろう材３を介して挿入婁れ、壺構成部品が
仮組立て専れている・ ｒｓ このように真空容器の構成部品の４ｋＩ１１食部にそれ
ぞれろう材３を配置して鎖−立てを°行なったものを真
空−１内８ｃ設置し、この真空炉１内を排気ポンプ１０
の排気系によりｌ＠−増・ジ以下。高真！１７排気した
後、排気を続けながら真空炉１内金体のｉｉｔをデ一部
に設置専れた加熱−一タ！ＩＫ：より上昇させ、壱構成
部品からの鳳ガスを十分性なった後、で会るだ＃ｊＩ！
１時間内くろう付けＩ１１直に加熱してろう付けし真空
容器を形成する。
上述したＣの製造方法ては真賓審器内の排気系路として
は壺構成部品を仮親型てしたー、ろう材を介してろう付
けする部分の一関より排気するより方法がなく、この部
分に生ずる一関は非常１ｃ訣くかつ小さいため、複数個
の真空容器を同時にろう付けする場合は舎々に生じた一
関は不−均となり、排気系路のコンダクタンスが不−均
である。
は壺構成部品を仮親型てしたー、ろう材を介してろう付
けする部分の一関より排気するより方法がなく、この部
分に生ずる一関は非常１ｃ訣くかつ小さいため、複数個
の真空容器を同時にろう付けする場合は舎々に生じた一
関は不−均となり、排気系路のコンダクタンスが不−均
である。
このため間し脱ガス時間では壷々の真−容器内の到着圧
力に差が生じ均一な圧力を得るためには膳ガス時間が長
時間かかる欠点があった。
力に差が生じ均一な圧力を得るためには膳ガス時間が長
時間かかる欠点があった。
上述したような欠点を改畳するために他の方法がな専れ
ている場合がある・即ち、第１１１で示す真空炉中１に
仮親型て専れた真空害−の一定電極棒−を真空炉の外Ｓ
に設けられた外部操作機構（開示せず）Ｋよ１て吊り下
げられていて、このため化端１１４と一定電極棒−との
間に一関（ＩＩ示せず）が形成専れるので、壺構成部品
を重ねた不拘−な隙間部分の排気面積に対し、より大壷
な面積が確保て會脱ガスが害鳥になる・このように形成
鄭れた一関より排気ポンプ１０の排気系によって排気を
行ない温直を上げて真空容器の脱ガスを完全に行う、し
かる後、真空炉１の外部に設けた外部操作機構によって
一定電極棒９を端１１４と密着するように所定の位置に
員してからろう付けして真空容器を形成する製造方法で
ある・ 上述した後者の製造方法によりてしても、時代の１重京
である原価低減の効果を満足させることはで會ず］［Ｋ
脱ガス時間の値線が要求されている０重た仁の後者の製
造方法は固定電極棒−と端一４とを密着するように所定
の位置に戻すと會余−外部操作機構を慎重に操作しない
と可動電極棒−ｌ と戻されたｉｉｉ＊ｉｉｔ９との軸心に偏心が生じ蟲す
（なる欠点を有していた命 本考案は上述したような欠点を解消するためになされた
もので、真空容器の両端に軟ｉられたいづれか一方を二
分割するごとくなし、□との部分−された端蓋を内側端
蓋と外側端蓋と６と分けて互いに駅舎するごとく形成し
、かつ内側端′１１または外側端蓋のいづれか一方番ζ
排気用の孔をあけ、この孔から脱ガスを行うこ□とによ
り従来方法に比較して脱ガス時間が著しく煙纏専れ、か
つ内側端■と外側端蓋とが嵌合するように形成されてい
るめで、外部操作機構で外側端蓋を押し上げても内側端
蓋が案内の役回をするため固定電極棒の軸心に対し、可
動電極棒が偏心しないよう工夫された真空機善の製造方
法を提供せんとするものである・以下、本発明の実施例
を図面に基づ自説−する。
ている場合がある・即ち、第１１１で示す真空炉中１に
仮親型て専れた真空害−の一定電極棒−を真空炉の外Ｓ
に設けられた外部操作機構（開示せず）Ｋよ１て吊り下
げられていて、このため化端１１４と一定電極棒−との
間に一関（ＩＩ示せず）が形成専れるので、壺構成部品
を重ねた不拘−な隙間部分の排気面積に対し、より大壷
な面積が確保て會脱ガスが害鳥になる・このように形成
鄭れた一関より排気ポンプ１０の排気系によって排気を
行ない温直を上げて真空容器の脱ガスを完全に行う、し
かる後、真空炉１の外部に設けた外部操作機構によって
一定電極棒９を端１１４と密着するように所定の位置に
員してからろう付けして真空容器を形成する製造方法で
ある・ 上述した後者の製造方法によりてしても、時代の１重京
である原価低減の効果を満足させることはで會ず］［Ｋ
脱ガス時間の値線が要求されている０重た仁の後者の製
造方法は固定電極棒−と端一４とを密着するように所定
の位置に戻すと會余−外部操作機構を慎重に操作しない
と可動電極棒−ｌ と戻されたｉｉｉ＊ｉｉｔ９との軸心に偏心が生じ蟲す
（なる欠点を有していた命 本考案は上述したような欠点を解消するためになされた
もので、真空容器の両端に軟ｉられたいづれか一方を二
分割するごとくなし、□との部分−された端蓋を内側端
蓋と外側端蓋と６と分けて互いに駅舎するごとく形成し
、かつ内側端′１１または外側端蓋のいづれか一方番ζ
排気用の孔をあけ、この孔から脱ガスを行うこ□とによ
り従来方法に比較して脱ガス時間が著しく煙纏専れ、か
つ内側端■と外側端蓋とが嵌合するように形成されてい
るめで、外部操作機構で外側端蓋を押し上げても内側端
蓋が案内の役回をするため固定電極棒の軸心に対し、可
動電極棒が偏心しないよう工夫された真空機善の製造方
法を提供せんとするものである・以下、本発明の実施例
を図面に基づ自説−する。
第２図は本発明の製造方法の一夷鯵例を示す中間組立品
ムの縦断側り同じく第３図は本発明の製造方法の一実施
例を示す中間組立品Ｂの縦断面図、同じく纂４図（５）
は本発明の製造方法の一夷麹Ｐ ・ 例を示す真空審−を真空炉内に設置し、内側端蓋と外側
端一とを貴会する以前の状態を示す−ｒｒｉｉ園、岡じ
（第４１１１（ｂ）は内側端一と外側端蓋とを嶽会した
状態を示す儒断ｗ−であｉ・ ゛なお第１−と同−
将奇は同一または同−椙機部分番示す、″ 第雪−および第１ＩＩの構成部品については第１園の場
合とほぼ同機であ墨が、第１′ｌｌｌにおいて示した端
一１４を二分割にしたようｋｙ＃威するもので、即ちＩ
１１閣の内側端蓋１ｓは第ＳＳａの外側端＝ｔ’ｊと駅
舎するように形−してあり、かつこの内側端量ＩＩには
複数個Ｋｉｉ！＾または長大を一直線に穿設した孔３０
を設けであるのが本発−の特徴である・第１ｍ１ｉＣ示
す中闘銀立晶ムは、絶縁筒３の上部。
ムの縦断側り同じく第３図は本発明の製造方法の一実施
例を示す中間組立品Ｂの縦断面図、同じく纂４図（５）
は本発明の製造方法の一夷麹Ｐ ・ 例を示す真空審−を真空炉内に設置し、内側端蓋と外側
端一とを貴会する以前の状態を示す−ｒｒｉｉ園、岡じ
（第４１１１（ｂ）は内側端一と外側端蓋とを嶽会した
状態を示す儒断ｗ−であｉ・ ゛なお第１−と同−
将奇は同一または同−椙機部分番示す、″ 第雪−および第１ＩＩの構成部品については第１園の場
合とほぼ同機であ墨が、第１′ｌｌｌにおいて示した端
一１４を二分割にしたようｋｙ＃威するもので、即ちＩ
１１閣の内側端蓋１ｓは第ＳＳａの外側端＝ｔ’ｊと駅
舎するように形−してあり、かつこの内側端量ＩＩには
複数個Ｋｉｉ！＾または長大を一直線に穿設した孔３０
を設けであるのが本発−の特徴である・第１ｍ１ｉＣ示
す中闘銀立晶ムは、絶縁筒３の上部。
端１１４．シールドＳ、内儒端１ｉｓｎおよび電極軸を
取着した固定電極棒・め接舎部にそれぞれろう材島を配
置して真空中でろう付けする＠他方、第３１１１４ｃ示
す中間組立品Ｂは外側端＊ ｒ６．ベローズ・。
取着した固定電極棒・め接舎部にそれぞれろう材島を配
置して真空中でろう付けする＠他方、第３１１１４ｃ示
す中間組立品Ｂは外側端＊ ｒ６．ベローズ・。
ベローズカバー１および電Ｉ１８畠を取着した可動電極
棒−の接合１１にそれぞれろう材３を配置して真？！ 空中でろう付けする。っ１＜中関親立晶ムの絶縁筒雪の
下部にろう付された内側端−ＩＳと中間組立品Ｂの外側
端ｍ１ｌｌとの嵌合部をろう付けすべく第４１１（ａ）
に示すごとくに内側端一１１円周部分上１１に円環状の
ろう材３を緩濠し中間親立晶ムと中間組立品Ｂとを一体
に形成して仮−立て゛したものを第４１１１（ａ）に示
す真空デ１龜内に設置する・ζ−で内偶端蓋１ｓと外側
端量ｌ・とを嵌合専せる親画について述べる。
棒−の接合１１にそれぞれろう材３を配置して真？！ 空中でろう付けする。っ１＜中関親立晶ムの絶縁筒雪の
下部にろう付された内側端−ＩＳと中間組立品Ｂの外側
端ｍ１ｌｌとの嵌合部をろう付けすべく第４１１（ａ）
に示すごとくに内側端一１１円周部分上１１に円環状の
ろう材３を緩濠し中間親立晶ムと中間組立品Ｂとを一体
に形成して仮−立て゛したものを第４１１１（ａ）に示
す真空デ１龜内に設置する・ζ−で内偶端蓋１ｓと外側
端量ｌ・とを嵌合専せる親画について述べる。
例えば中間組立品ムの内側端＊ｔｉがろう付けさ ・れ
ていないと命は、内側端ｍ１ｌｌが絶縁筒雪にろう付け
されている場合よりも説ガス時間は値ｍ専れるが絶縁筒
１ｍ中間組立品Ｂ食体を外部操作機構により押し上げて
ろう付けすると会、固定電極棒９に取着された電極−１
と可動電極棒ＩＫ取着された電極８ａとの極間距離が長
いため、中間−立晶邸の外側端量１６が絶縁筒３に関着
すする。、電でＥｌｌ定電極棒９の軸心に対し可動電極
棒−が偏心するおそれが多分にある・ そこで本尭−は上述のような不＾舎を除嚢するために絶
縁筒１番こ内側端１ｋｌｌｌをろう付けし、この内側端
ｍ１ｌｌに案内の役目をもたせて外側端１ｉ１６と嵌合
すれば電極８ａとｌｌａは正常な接触面を保っＣとにな
る。
ていないと命は、内側端ｍ１ｌｌが絶縁筒雪にろう付け
されている場合よりも説ガス時間は値ｍ専れるが絶縁筒
１ｍ中間組立品Ｂ食体を外部操作機構により押し上げて
ろう付けすると会、固定電極棒９に取着された電極−１
と可動電極棒ＩＫ取着された電極８ａとの極間距離が長
いため、中間−立晶邸の外側端量１６が絶縁筒３に関着
すする。、電でＥｌｌ定電極棒９の軸心に対し可動電極
棒−が偏心するおそれが多分にある・ そこで本尭−は上述のような不＾舎を除嚢するために絶
縁筒１番こ内側端１ｋｌｌｌをろう付けし、この内側端
ｍ１ｌｌに案内の役目をもたせて外側端１ｉ１６と嵌合
すれば電極８ａとｌｌａは正常な接触面を保っＣとにな
る。
このようｋして真空炉１−内に設置された仮組立晶は、
真空炉１畠のを排気ポンプ１０＠排気畢により、ｔｏ−
’ｔＪ以下の高真空６ζ排気した後、排気を続けながら
真空−〇内金体の温度を＃ｌｌ１１部に設置された加熱
ヒーターＨＣより上昇させ舎構成部品から脱ガスを十分
に行なうが、内側端１１１Ｂに設けた孔型Ｏから一体Ｋ
ｊｉｌｌ虞して仮組立てした真空容器内部の空気が排気
されるので従来の構造のものより脱ガス時間を着しく短
縮することがで會る・この後真空−１ａの外部から操作
棒１３により第３図で示す中間組立品Ｂを押し上げてこ
の中間組立品Ｂにろう付けされた外側端蓋１６と中間組
立品ムの内側端一１ｉとを嵌合させればｓＣめ内側端蓋
１＠に穿設専れ１１ま た孔雪Ｏが必然的番ζ畠がれ、最終ろう封部に近接して
設置した局部加熱ヒーター１によりろう付は温度まて昇
温し、前記嵌合部に配置されたろう＃３を− 溶融してろう付けを行い真寵容−を形成する。
真空炉１畠のを排気ポンプ１０＠排気畢により、ｔｏ−
’ｔＪ以下の高真空６ζ排気した後、排気を続けながら
真空−〇内金体の温度を＃ｌｌ１１部に設置された加熱
ヒーターＨＣより上昇させ舎構成部品から脱ガスを十分
に行なうが、内側端１１１Ｂに設けた孔型Ｏから一体Ｋ
ｊｉｌｌ虞して仮組立てした真空容器内部の空気が排気
されるので従来の構造のものより脱ガス時間を着しく短
縮することがで會る・この後真空−１ａの外部から操作
棒１３により第３図で示す中間組立品Ｂを押し上げてこ
の中間組立品Ｂにろう付けされた外側端蓋１６と中間組
立品ムの内側端一１ｉとを嵌合させればｓＣめ内側端蓋
１＠に穿設専れ１１ま た孔雪Ｏが必然的番ζ畠がれ、最終ろう封部に近接して
設置した局部加熱ヒーター１によりろう付は温度まて昇
温し、前記嵌合部に配置されたろう＃３を− 溶融してろう付けを行い真寵容−を形成する。
なお本発−の一宍施儒では絶縁筒３の下部に孔型Ｏを穿
設した内側端−ＩＩをろうｉｌを配置してろう付けし、
この内側端ｌｌｌ５と外側端Ｉｌｌ・とを嵌合するよう
に説明したが、外側端量１・に孔をＩＰ設してもよい。
設した内側端−ＩＩをろうｉｌを配置してろう付けし、
この内側端ｌｌｌ５と外側端Ｉｌｌ・とを嵌合するよう
に説明したが、外側端量１・に孔をＩＰ設してもよい。
また絶縁筒３の上１１１Ｋろう付は暮れた端１１４を型
分割したように形成して本尭−の方法を適蟲してもよい
ことは勿論である。
分割したように形成して本尭−の方法を適蟲してもよい
ことは勿論である。
上述したごとく本発−による真空機器の綱途方法によれ
ば、従来の製造方機に比軟して脱ガス時間を着しく煩細
し、かつ完威専れた真空容器の真空気１ｍ４＆の信頼は
非常に高く、−意時間での製造量を増加させることかで
會て製造上の効果は極めて大である。
ば、従来の製造方機に比軟して脱ガス時間を着しく煩細
し、かつ完威専れた真空容器の真空気１ｍ４＆の信頼は
非常に高く、−意時間での製造量を増加させることかで
會て製造上の効果は極めて大である。
た状態を示す伺断側り第禦■および＊ｓｉｉ＋は本抛明
や製造方法の一実施例を示す中間鳳立晶ムおよびＢ４Ｑ
ｌｌ断劃り第４園（−）は同じく本員−の斜交炉内に設
置し端一を嵌合する以前の状態を示す儒断組り第４回（
１））は同じく本発−の製造方法の息番 一実施例を真空鬼イ伽チ〜ルγを真空炉内に設置し、端
一を嵌合した秋−を示す儒断画−である・１．１ａ・・
・・・真空炉、３・・・・・・絶縁筒、３・・・・・・
ろう材、４．１４・・・・・」１、ト・ シールド、６
・・・・・ベローズ、γ・・・・・ベローズカバー、８
・・・・・・可動電極棒、９・・・・固定電極棒％ １
１１１ 、 ｉｌ［・・・電極、１０・・・排気ポンプ
、１ト・・・・加熱ヒータ、１Ｆ・・・・局部加熱−ｍ
−，１ｓ・・・・・・外部の操作棒、１！Ｉ・・・・・
内側端蓋、１・・・・・・・外側端量、２０・・・・・
・孔。 特許出願人 東洋電機製造株式自社 代表者 土 井 厚 ｌｉｌ 図 第２図 為３図 為 ４ １［
や製造方法の一実施例を示す中間鳳立晶ムおよびＢ４Ｑ
ｌｌ断劃り第４園（−）は同じく本員−の斜交炉内に設
置し端一を嵌合する以前の状態を示す儒断組り第４回（
１））は同じく本発−の製造方法の息番 一実施例を真空鬼イ伽チ〜ルγを真空炉内に設置し、端
一を嵌合した秋−を示す儒断画−である・１．１ａ・・
・・・真空炉、３・・・・・・絶縁筒、３・・・・・・
ろう材、４．１４・・・・・」１、ト・ シールド、６
・・・・・ベローズ、γ・・・・・ベローズカバー、８
・・・・・・可動電極棒、９・・・・固定電極棒％ １
１１１ 、 ｉｌ［・・・電極、１０・・・排気ポンプ
、１ト・・・・加熱ヒータ、１Ｆ・・・・局部加熱−ｍ
−，１ｓ・・・・・・外部の操作棒、１！Ｉ・・・・・
内側端蓋、１・・・・・・・外側端量、２０・・・・・
・孔。 特許出願人 東洋電機製造株式自社 代表者 土 井 厚 ｌｉｌ 図 第２図 為３図 為 ４ １［
Claims (1)
- 属ガスを行う加熱−ｍ−とろう付けのみを行う馬部、ｍ
ａｔ−夕を有する真空デを用いて真空中で容器をろう付
けして真＊＊器を形成する製造方法において、前記容器
の両端に設けられた端一のいづれか一方を二分割するご
とくなし、この二分割容れた端一を内側端蓋と、外側端
一とに分けて互いに嵌会するととく形威し、かつ内側端
ＩＩまたは外側端一のいづれか一方に排気用の孔をあけ
ｔこの孔から前記加熱し−タを用いて脱ガスを行った後
ｋｍ記内内側叢と外側端一とを外部操作により嵌壷専せ
、この嶽舎ＩＩＫ近−して設けられた前記局ｓ１ｓ熱１
−タによや前１ｅＩｌｔ舎郁に配置専れたろう材を介し
て前Ｉｅ嶽舎郁の一閾をろう付けして密封した仁とを特
徴とする真空機器の製造１渋・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9960081A JPS581935A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 真空機器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9960081A JPS581935A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 真空機器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS581935A true JPS581935A (ja) | 1983-01-07 |
| JPS6330726B2 JPS6330726B2 (ja) | 1988-06-20 |
Family
ID=14251580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9960081A Granted JPS581935A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 真空機器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS581935A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021513222A (ja) * | 2018-02-08 | 2021-05-20 | マシイネンフアブリーク・ラインハウゼン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | タップ切換器に用いられる切換要素及びタップ切換器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5044473A (ja) * | 1973-08-23 | 1975-04-21 |
-
1981
- 1981-06-29 JP JP9960081A patent/JPS581935A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5044473A (ja) * | 1973-08-23 | 1975-04-21 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021513222A (ja) * | 2018-02-08 | 2021-05-20 | マシイネンフアブリーク・ラインハウゼン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | タップ切換器に用いられる切換要素及びタップ切換器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6330726B2 (ja) | 1988-06-20 |
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