JPS58198823A - イオン源装置 - Google Patents
イオン源装置Info
- Publication number
- JPS58198823A JPS58198823A JP57081642A JP8164282A JPS58198823A JP S58198823 A JPS58198823 A JP S58198823A JP 57081642 A JP57081642 A JP 57081642A JP 8164282 A JP8164282 A JP 8164282A JP S58198823 A JPS58198823 A JP S58198823A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- sub
- cathode
- discharge chamber
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する技術分野］
この発明はガス放電によってプラズマを生成し生成した
プラズマからイオンを引出し加速するイオン源装置に関
する。
プラズマからイオンを引出し加速するイオン源装置に関
する。
［従来技術とその問題点］
従来のイオン源装置は、そのイオン源の熱陰極として線
条に電流を流して加熱するものが用いられていた。この
線条には線条自身を加熱するだめの加熱電流と、この陰
極との間でガス放電させる放電電流との両者が流れかつ
線条の負電圧端子脚に放電電流が集中するため、線条の
局所的過熱が発生し、線条材料の局所的蒸発を招き、イ
オン源の動作時間が短い場合は問題ないが、そのイオン
源動作時間の伸びに伴い線条寿命が短縮化する欠点があ
った。
条に電流を流して加熱するものが用いられていた。この
線条には線条自身を加熱するだめの加熱電流と、この陰
極との間でガス放電させる放電電流との両者が流れかつ
線条の負電圧端子脚に放電電流が集中するため、線条の
局所的過熱が発生し、線条材料の局所的蒸発を招き、イ
オン源の動作時間が短い場合は問題ないが、そのイオン
源動作時間の伸びに伴い線条寿命が短縮化する欠点があ
った。
［発明の目的コ
この発明は従来装置の欠点を改良したもので、長時間の
動作にも使用可能なイオン源装置を提供することを目的
とする。
動作にも使用可能なイオン源装置を提供することを目的
とする。
［発明の概要］
この発明はイオンビームが引出されるプラズマをガス放
電で生成する主放電室き、この主放電室とは隔壁で仕切
られかつこの隔壁の少なくとも一部に塊状の熱陰極部を
設けこの熱陰極部を放電加熱する副放電室とを具備した
もので、主放電室と副放電室との仕切り用隔壁の全部ま
たは一部が主放電室の熱陰極の役割を果し、この熱陰極
を副放電室のガス放電によって加熱することによって防
振寿命の延長を図ったイオン源装置である。
電で生成する主放電室き、この主放電室とは隔壁で仕切
られかつこの隔壁の少なくとも一部に塊状の熱陰極部を
設けこの熱陰極部を放電加熱する副放電室とを具備した
もので、主放電室と副放電室との仕切り用隔壁の全部ま
たは一部が主放電室の熱陰極の役割を果し、この熱陰極
を副放電室のガス放電によって加熱することによって防
振寿命の延長を図ったイオン源装置である。
［発明の効果］
この発明によれば、常時は使用しない副陰極で加熱する
ため、イオン源の寿命は塊状の熱陰極の体積によって主
に規制され、実用上充分に長い作動時間を確保でき、大
面積を有する陰極を簡単な構造で均等加熱することがで
きる。
ため、イオン源の寿命は塊状の熱陰極の体積によって主
に規制され、実用上充分に長い作動時間を確保でき、大
面積を有する陰極を簡単な構造で均等加熱することがで
きる。
［発明の実施例］
以下この発明の一実施例について詳細に説明する。この
発明のイオン源装置は、第１図に示すように、主放電室
Ａと副放電室Ｂとで主に構成している。主放電家人はイ
オンビームＩを引出すグリッド電極ｌと、金属導体の放
電陽極壁２と、Ｍｏ製の隔壁３と、この隔壁３の一部を
構成するＬａＭｏ製の熱陰極４とから構成されている。
発明のイオン源装置は、第１図に示すように、主放電室
Ａと副放電室Ｂとで主に構成している。主放電家人はイ
オンビームＩを引出すグリッド電極ｌと、金属導体の放
電陽極壁２と、Ｍｏ製の隔壁３と、この隔壁３の一部を
構成するＬａＭｏ製の熱陰極４とから構成されている。
副放電室Ｂは主放電家人との隔壁３とこの隔壁３の一部
を構成する熱陰極４と、この熱陰極４に近接して隔壁３
内に設けられた熱板５（！：この熱板５を加熱する副陰
極６とから主に構成されている。なおグリッド電極１と
放電陽極壁２との間および放電陽極壁２と隔壁３との間
は電気絶縁物７，８で絶縁されている。隔壁３は金属導
体の基台９に気密に固設されている。この基台９さ熱板
５の電流導入端子１゜とは絶縁体１１で、また副陰極６
の電流導入端子１２゜１３とは絶縁体１４ 、１５で各
々絶縁されている。基台６を貫通して設けられた導入管
１６から副放電室Ｂ内のガス放電に使用する作動ガスが
導入される。
を構成する熱陰極４と、この熱陰極４に近接して隔壁３
内に設けられた熱板５（！：この熱板５を加熱する副陰
極６とから主に構成されている。なおグリッド電極１と
放電陽極壁２との間および放電陽極壁２と隔壁３との間
は電気絶縁物７，８で絶縁されている。隔壁３は金属導
体の基台９に気密に固設されている。この基台９さ熱板
５の電流導入端子１゜とは絶縁体１１で、また副陰極６
の電流導入端子１２゜１３とは絶縁体１４ 、１５で各
々絶縁されている。基台６を貫通して設けられた導入管
１６から副放電室Ｂ内のガス放電に使用する作動ガスが
導入される。
このように構成されたイオン源装置は、まずタングステ
ンあるいはその酸化物から成る副陰極６を電流導入端子
１４ 、１５から直接通電して加熱しながら、熱板５と
加熱されている。ＩＩＩ陰極６との間に交流マ九は直流
電圧を印加する。つぎに副放電室内を真空または低気圧
ガスで満たす。副放電室内を真空とする場合には、副陰
極から放出された熱電子が熱板５と、副陰極６との間で
加速し、その電圧差に応じた加速を受は熱板５に衝突し
、この熱板５を加熱する。また副放電室を低気圧ガスで
満す場合には、ガス放電が生じ、熱板５の陽極電圧降下
部で加速された電子が、熱板５に衝突し、この熱板５を
加熱する。次に加熱された熱板５と熱陰極４との間に交
流または直流電圧を印加してガス放電を発生せしめ、陰
極電圧降下部で加速されたイオンと陽極電圧降下部で加
速された電子の衝突によって、熱陰極４と熱板５の温度
が上昇する。熱陰極４と熱板５の温度が充分に高まった
後に副陰極６への通電と熱板５と副陰極６への電圧印加
を停止する。しかし熱陰極４と熱板５との間のガス放電
は、依然として持続せしめ、最後に放電陽極壁２と熱陰
極４との間に主ガス放電を生起せしめ、イオンビームを
グリッド電極ｌから引出す。
ンあるいはその酸化物から成る副陰極６を電流導入端子
１４ 、１５から直接通電して加熱しながら、熱板５と
加熱されている。ＩＩＩ陰極６との間に交流マ九は直流
電圧を印加する。つぎに副放電室内を真空または低気圧
ガスで満たす。副放電室内を真空とする場合には、副陰
極から放出された熱電子が熱板５と、副陰極６との間で
加速し、その電圧差に応じた加速を受は熱板５に衝突し
、この熱板５を加熱する。また副放電室を低気圧ガスで
満す場合には、ガス放電が生じ、熱板５の陽極電圧降下
部で加速された電子が、熱板５に衝突し、この熱板５を
加熱する。次に加熱された熱板５と熱陰極４との間に交
流または直流電圧を印加してガス放電を発生せしめ、陰
極電圧降下部で加速されたイオンと陽極電圧降下部で加
速された電子の衝突によって、熱陰極４と熱板５の温度
が上昇する。熱陰極４と熱板５の温度が充分に高まった
後に副陰極６への通電と熱板５と副陰極６への電圧印加
を停止する。しかし熱陰極４と熱板５との間のガス放電
は、依然として持続せしめ、最後に放電陽極壁２と熱陰
極４との間に主ガス放電を生起せしめ、イオンビームを
グリッド電極ｌから引出す。
［発明の他の実施例」
この発明の他の実施例として、第１図に示したイオン源
装置のようにひとつの副放電室を有するものに限らず、
同様な副放電室を複数個用いて構成しても良い□また陽
極壁２の内周または外周に閉じ込め磁場を適用し、プラ
ズマ生成効率を高めるように構成しても良い。
装置のようにひとつの副放電室を有するものに限らず、
同様な副放電室を複数個用いて構成しても良い□また陽
極壁２の内周または外周に閉じ込め磁場を適用し、プラ
ズマ生成効率を高めるように構成しても良い。
第１図はこの発明の実施例を示す断面図である。
１・・・ビーム引出グリッド電極、２・・・放電陽極壁
、３・・・隔壁、４・・・熱陰極、５・・・熱板、６・
・・副陰極、１６・・・ガス導入管、λ・・・主放電室
、Ｂ・・・副放電室。
、３・・・隔壁、４・・・熱陰極、５・・・熱板、６・
・・副陰極、１６・・・ガス導入管、λ・・・主放電室
、Ｂ・・・副放電室。
Claims (3)
- （１）イオンビームが引出されるプラズマをガス放電で
生成する主放電室と、この主放電室とは隔壁で仕切られ
かつこの隔壁の少なくとも一部に熱陰極部を設けこの熱
陰極部を放電加熱する副放電室とを具備してなることを
特徴とするイオン源装置。 - （２）副放電室を熱板とこの熱板を加熱する加熱部とで
構成してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のイオン源装置。 - （３）加熱部を間接加熱で塊状の熱陰極で構成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のイオン源装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57081642A JPS5913136B2 (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | イオン源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57081642A JPS5913136B2 (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | イオン源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58198823A true JPS58198823A (ja) | 1983-11-18 |
| JPS5913136B2 JPS5913136B2 (ja) | 1984-03-28 |
Family
ID=13751990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57081642A Expired JPS5913136B2 (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | イオン源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5913136B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102490714B1 (ko) | 2018-12-28 | 2023-01-26 | 재단법인 아산사회복지재단 | Pibf 단백질을 유효성분으로 함유하는 염증성 질환 예방 또는 치료용 약학 조성물 |
-
1982
- 1982-05-17 JP JP57081642A patent/JPS5913136B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5913136B2 (ja) | 1984-03-28 |
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