JPS58198A - ハイブリツドicの製造方法 - Google Patents
ハイブリツドicの製造方法Info
- Publication number
- JPS58198A JPS58198A JP9854481A JP9854481A JPS58198A JP S58198 A JPS58198 A JP S58198A JP 9854481 A JP9854481 A JP 9854481A JP 9854481 A JP9854481 A JP 9854481A JP S58198 A JPS58198 A JP S58198A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- board
- hybrid
- substrate
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は多数の回路素子を絶縁基板IIL面に実値形成
したハイブリッドXaO製造方繊に関するものである。
したハイブリッドXaO製造方繊に関するものである。
こ01m Aイブリッドエ00−例として$111!I
IK概略示のす−マルヘッドがある。これはセライック
等の一枚の絶縁基板1111IKii路素子である複数
個の発熱抵抗膜露と膜体虞紘個別からなるダイオードS
S夷懺1llI成されている◇ま九基板ユの各抵抗gg
は複数のグループに分けられ、各グループ毎に設けられ
た導体パターン4−1−4−叢と各グループ毎より1個
づつ0発熱抵抗膜2をまとめて接続し九セレクト線とな
る導体パターン5−1〜5−1とによ〉接続形成され、
導体パターン番と5を選択して電流を流す仁とくより所
望の抵抗膜gを発熱せしめるようになりている。
IK概略示のす−マルヘッドがある。これはセライック
等の一枚の絶縁基板1111IKii路素子である複数
個の発熱抵抗膜露と膜体虞紘個別からなるダイオードS
S夷懺1llI成されている◇ま九基板ユの各抵抗gg
は複数のグループに分けられ、各グループ毎に設けられ
た導体パターン4−1−4−叢と各グループ毎より1個
づつ0発熱抵抗膜2をまとめて接続し九セレクト線とな
る導体パターン5−1〜5−1とによ〉接続形成され、
導体パターン番と5を選択して電流を流す仁とくより所
望の抵抗膜gを発熱せしめるようになりている。
ところで、サーマルヘッド轡に図示ツインドツトタイプ
のものは基板10表1iK1列状態で100〜t000
領sitの黴少閣陽O抵抗膜2が位置しておプ、良好な
印字晶質o4hoを得るKはこれら抵ばならない。
のものは基板10表1iK1列状態で100〜t000
領sitの黴少閣陽O抵抗膜2が位置しておプ、良好な
印字晶質o4hoを得るKはこれら抵ばならない。
従来においては、一枚O基板上に上記多数の抵抗Ii[
2や導体パターン4.5をiトリクス接続するための多
層配!1st−形成しており、これでは絶縁基板1の大
形化により値着金属膜例えば抵抗膜2をバタ ンニング
して得る際のスパッタリング1[S膜が膜厚不均一に形
成され、抵抗偏差の小さい抵抗膜が得られにくいなど歩
留り良く製造することが離しかった。
2や導体パターン4.5をiトリクス接続するための多
層配!1st−形成しており、これでは絶縁基板1の大
形化により値着金属膜例えば抵抗膜2をバタ ンニング
して得る際のスパッタリング1[S膜が膜厚不均一に形
成され、抵抗偏差の小さい抵抗膜が得られにくいなど歩
留り良く製造することが離しかった。
本発明はこの従来欠点を解決したもので、以下実施例を
第2図〜第4図により説明する。
第2図〜第4図により説明する。
本発明に係るサーマルヘッドは従来の如く一枚の絶縁基
板上に回路素子を実装する構造と画なり、複数枚の回路
素子を実装したユニット基板を同−士(3)に組合せて
配置することにより形成されている1、即ち、本サーマ
ルヘッドでは第1図に一点鎖線で示す如く、絶縁基板1
はマトリクス接続の多層配線部が形成されたユニット基
板Aと抵抗膜2およびダイオード3が形成されたユニッ
ト基板B。
板上に回路素子を実装する構造と画なり、複数枚の回路
素子を実装したユニット基板を同−士(3)に組合せて
配置することにより形成されている1、即ち、本サーマ
ルヘッドでは第1図に一点鎖線で示す如く、絶縁基板1
はマトリクス接続の多層配線部が形成されたユニット基
板Aと抵抗膜2およびダイオード3が形成されたユニッ
ト基板B。
Cからな9、この3枚のユニット基板A、 B、 0
を同−平向に配置して製造されている。この際、ユニッ
ト基板ムおよびB、(’tj1g2図に示す如くアルミ
ニウムベース板6上で位置合せを行い、介在させ九エポ
キシ系樹脂’7.8(li%lえばTl1i・+35’
150℃4H碩化、〒1・108 150℃1H硬化い
ずれも日本パルノックス■製)をベース板6の加熱によ
り溶融させて第3図状態に接着固定する。
を同−平向に配置して製造されている。この際、ユニッ
ト基板ムおよびB、(’tj1g2図に示す如くアルミ
ニウムベース板6上で位置合せを行い、介在させ九エポ
キシ系樹脂’7.8(li%lえばTl1i・+35’
150℃4H碩化、〒1・108 150℃1H硬化い
ずれも日本パルノックス■製)をベース板6の加熱によ
り溶融させて第3図状態に接着固定する。
次に第4図の如く接着部9にマスク10を使用しNi0
r−Auの蒸fiJ[llt形成し、しかる後該蒸着膜
11をフォトリソエ楢にてバターメングを行い各基板A
、B、Cの電極間な電気的に接続する導体パターンを形
成して本サーマルヘッドは製造されている。
r−Auの蒸fiJ[llt形成し、しかる後該蒸着膜
11をフォトリソエ楢にてバターメングを行い各基板A
、B、Cの電極間な電気的に接続する導体パターンを形
成して本サーマルヘッドは製造されている。
同、上記実施例と異なυ谷基板ム、 B、 C!を
ベース板6にあらかじめW!看しておき基板間ギャップ
を後から樹脂でうめても良い。また4If脂はエポキシ
樹脂の他ボリイiド系arm等の熱硬化樹脂あるいは熱
可麗性樹脂が使用できる。
ベース板6にあらかじめW!看しておき基板間ギャップ
を後から樹脂でうめても良い。また4If脂はエポキシ
樹脂の他ボリイiド系arm等の熱硬化樹脂あるいは熱
可麗性樹脂が使用できる。
また基板間接続の電極形成は蒸着によらずスパッタでも
可能であるし、)!#膜プロセス(スクリーン印刷)に
よって形成すること4で舞る。
可能であるし、)!#膜プロセス(スクリーン印刷)に
よって形成すること4で舞る。
以上本発明によれば、大形基板を複数個の分割基板とし
て形成し、これを樹脂で固定した後、蒸着等の薄膜プロ
セスもしくは印刷等の厚膜プロセスで電気的にWI続す
るため大形ハイブリッドエOを歩貿良く、比較的工数も
少く製造できる。
て形成し、これを樹脂で固定した後、蒸着等の薄膜プロ
セスもしくは印刷等の厚膜プロセスで電気的にWI続す
るため大形ハイブリッドエOを歩貿良く、比較的工数も
少く製造できる。
陶、上記実施内ではサーマルヘッドについて説明したが
、本発明は限らず大形密着イメージセンサ等1filE
上に多数の抵抗素子、光導電素子が形平面図、第2図〜
第4図は本発明に係るサーマルヘッドの製造方法を説明
するための@面図。
、本発明は限らず大形密着イメージセンサ等1filE
上に多数の抵抗素子、光導電素子が形平面図、第2図〜
第4図は本発明に係るサーマルヘッドの製造方法を説明
するための@面図。
A、B、O・・・・・・・・・ユニット基板7.8・・
・・・・・・・・・・・・・接着樹脂508 第2図 第3 図
・・・・・・・・・・・・・接着樹脂508 第2図 第3 図
Claims (2)
- (1) 多数の回路素子が絶縁基板11面に夷a形成
され九ハイブリッドエ0において、上記絶縁基板を分割
して複数個のユニット基板を設けて骸エエット基板の各
!I向に上記回路素子を分散して実装形成し1次に該ユ
ニット基板を同一平面上に配置して各基板間を熱硬化性
又は熱町胆性樹脂にて機械的に結合した後、結合された
該ユニット基板表向に各ユニット基板間を電気接続する
導体パターンを形成してなるハイブリッドエCの製造方
法。 - (2)ME回路鷹子が発熱抵抗膜であって、結合された
前記ユニット基板によりナーマルヘッド用基板を形成し
九特許請求の範囲第1項記載Oノ・イブリッドXCの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9854481A JPS58198A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ハイブリツドicの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9854481A JPS58198A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ハイブリツドicの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58198A true JPS58198A (ja) | 1983-01-05 |
Family
ID=14222622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9854481A Pending JPS58198A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | ハイブリツドicの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58198A (ja) |
-
1981
- 1981-06-25 JP JP9854481A patent/JPS58198A/ja active Pending
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