JPS58201003A - 金属付着速度測定方法 - Google Patents
金属付着速度測定方法Info
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- JPS58201003A JPS58201003A JP58042511A JP4251183A JPS58201003A JP S58201003 A JPS58201003 A JP S58201003A JP 58042511 A JP58042511 A JP 58042511A JP 4251183 A JP4251183 A JP 4251183A JP S58201003 A JPS58201003 A JP S58201003A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
- G01B7/105—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔本発明の技術分野〕
本発明は、導電性被膜付着速度測定装置に係り、更に具
体的に言えば、金属付着の行われる環境に於て、特に無
電気（非電解）めっき浴に於て、付着の速度及び厚さを
測定するための装置に係る。
体的に言えば、金属付着の行われる環境に於て、特に無
電気（非電解）めっき浴に於て、付着の速度及び厚さを
測定するための装置に係る。
めっきの厚さを測定する装置は従来技術に於て知られて
おり、その様な装置は通常、付着後にめっきの厚さを測
定するために用いられている。又、金属装着の厚さを測
定するために渦電流装置を用いることも周知である。無
電気めっきに於ては、そのめっき動作の達成度を決定す
る多くの異なる要素が存在する。１つの重要な要素は、
めっきの速度である。
おり、その様な装置は通常、付着後にめっきの厚さを測
定するために用いられている。又、金属装着の厚さを測
定するために渦電流装置を用いることも周知である。無
電気めっきに於ては、そのめっき動作の達成度を決定す
る多くの異なる要素が存在する。１つの重要な要素は、
めっきの速度である。
Ｃ本発明の概要〕
本発明は、渦電流近接感知装置を装着の行われるテスト
用付着面がに記感知装置から成る所定距離範囲内に設け
られる様に配置して、上記感知装置の出力を監視するこ
とにより、特に無電気めっき浴に於て、金属装着方法の
実時間装着速度を測定する装置を提供する。この測定装
置は、渦電流近接感知装置と、上記感知装置から成る所
定の厚さを有する非導電性の壁を有し、１−記感知装置
から離れた側の−に記壁の表面がか１着の行われる環境
中に浸漬されて、上記表面上に旧情が行われる、上記感
知装置のための非金属のギャップと、上記感知素子の出
゛力の振幅及び変化率を測定するために上記感知素子の
出力に接続された測定手段とを有する。
用付着面がに記感知装置から成る所定距離範囲内に設け
られる様に配置して、上記感知装置の出力を監視するこ
とにより、特に無電気めっき浴に於て、金属装着方法の
実時間装着速度を測定する装置を提供する。この測定装
置は、渦電流近接感知装置と、上記感知装置から成る所
定の厚さを有する非導電性の壁を有し、１−記感知装置
から離れた側の−に記壁の表面がか１着の行われる環境
中に浸漬されて、上記表面上に旧情が行われる、上記感
知装置のための非金属のギャップと、上記感知素子の出
゛力の振幅及び変化率を測定するために上記感知素子の
出力に接続された測定手段とを有する。
無電気めっきに於て、本発明は、シーディング（ｓｅｅ
ｄｉｎｇ）・プロセス及びめっきの開始をテストするた
めの手段を与える。
ｄｉｎｇ）・プロセス及びめっきの開始をテストするた
めの手段を与える。
従って、本発明の目的は、特に無電気めっきに適してい
る、改良された付着速度測定装置を提供することである
。
る、改良された付着速度測定装置を提供することである
。
本発明の他の目的は、めっき浴中に於て実時間で連続的
に動作する、改良されためつき速度測定装置を提供する
ことである。
に動作する、改良されためつき速度測定装置を提供する
ことである。
本発明の更に他の目的は、シーテイング・プロセス及び
めっきの開始をテストするための改良された手段を提供
することである。
めっきの開始をテストするための改良された手段を提供
することである。
（ろ）
１本発明の実施例〕
本発明による装置を用いた導体めっきの測定に於ては、
渦電流近接感知装置が、金属旧情の行われ得るキャップ
の表面から成る所定の距離に配置される。上記感知装置
と−１−記ギャップとの組λ７−（４゜か１１着の行わ
れる環境中に配置され、Ｌ記近接感知装置の出力が該出
力の振幅及び変化率に関１．て監視され、それによって
旧情の厚さ及び旧情が行われている速度がボされる。
渦電流近接感知装置が、金属旧情の行われ得るキャップ
の表面から成る所定の距離に配置される。上記感知装置
と−１−記ギャップとの組λ７−（４゜か１１着の行わ
れる環境中に配置され、Ｌ記近接感知装置の出力が該出
力の振幅及び変化率に関１．て監視され、それによって
旧情の厚さ及び旧情が行われている速度がボされる。
無電気めっき装置の成る好ましい配置を示す第１図に於
て、めっき浴３は、一部の壁が示されている適当な容器
Ｚ中のめっき液５より成る。渦電流近接感知装置１１は
、ブラケッｌ−９又は他の吊り手段によって、めっき浴
の表面から、例えば約１５０ｍ下方の適当な距離に吊り
下げられている。
て、めっき浴３は、一部の壁が示されている適当な容器
Ｚ中のめっき液５より成る。渦電流近接感知装置１１は
、ブラケッｌ−９又は他の吊り手段によって、めっき浴
の表面から、例えば約１５０ｍ下方の適当な距離に吊り
下げられている。
液体を通さないハウジングが、後に詳述する如く、ギャ
ップ１６を含めて−１−記感知装置に設けられており、
又上記感知装置のための吊り手段としても働く、液体を
通さない接続ケーブル１５が設けられている。上記感知
装置からの出力は、検出駆動装置１７０入力に供給され
、検出駆動装置１７は、ギヤツブ１３上に於ける金属付
着の厚さ及び速度に依存する振幅及び変化率を有する出
力信号を生じる。
ップ１６を含めて−１−記感知装置に設けられており、
又上記感知装置のための吊り手段としても働く、液体を
通さない接続ケーブル１５が設けられている。上記感知
装置からの出力は、検出駆動装置１７０入力に供給され
、検出駆動装置１７は、ギヤツブ１３上に於ける金属付
着の厚さ及び速度に依存する振幅及び変化率を有する出
力信号を生じる。
渦電流近接感知装置１１及びそれに関連する検出駆動装
置１７は、当技術分野に於て周知である任意の装置であ
り得るので、詳述されない。その様な型の１−）の渦電
流近接感知装置は、 Ｂｅｎｔｌｙ−Ｎ ｅ ｖ ａ
ｄ ａ社製の一般に入手され得る装置である。
置１７は、当技術分野に於て周知である任意の装置であ
り得るので、詳述されない。その様な型の１−）の渦電
流近接感知装置は、 Ｂｅｎｔｌｙ−Ｎ ｅ ｖ ａ
ｄ ａ社製の一般に入手され得る装置である。
検出１駆動装置１７の出力は、例えば、従来のストリッ
プ・チャー１・記録装置１９０入力に供給され、又アナ
ログ−ディジタル変換器２１を経てマイクロコンピュー
タ２６０入力にも供給され得る。
プ・チャー１・記録装置１９０入力に供給され、又アナ
ログ−ディジタル変換器２１を経てマイクロコンピュー
タ２６０入力にも供給され得る。
マイクロコンピュータ２３の出力は、例えば視覚的表示
装置、記録装置又は出力プリンタであり得る、出力装置
２５に接続され得る。
装置、記録装置又は出力プリンタであり得る、出力装置
２５に接続され得る。
第２図に於て、渦電流近接感知装置１１は、付勢された
ときに近傍の金属表面に渦電流を生ぜしめるコイルを封
入している非導電性部１，１より成り、上記渦電流の効
果は第１図の検出駆動装置１７によって決定される。感
知装置１１は、その長さの全体又は大部分がねし：切り
されており、感知装置１１上のねじ切りに対処するねじ
切りを内側に有している、プラスチック等の非磁性及び
非導電性の材料のキャップ１３を設けられている。キャ
ップ１６の底部の壁は、正確に測定された既知量の所定
の厚さｄを有する。キャップ１６は、感知装置１１上に
ねじ止めされ、従って取換可能であり、その組立体は、
該組立体を液体から保護する、ゴム封入体又は他の配置
の如き、任意の適当な手段により、キャップ１６の底部
の壁を除いて、液体から保護されている。めっき浴中に
浸漬されると、適当なシーディングの後に、キャップ１
６の底部の壁の外側部分にめっきが行われ、その金属付
着が感知装置１１により検出されて、ストリップ・チャ
ート記録装置１９上に示される如く、又はマイクロコン
ピュータ２３により決定される如（、めっきの厚さだけ
でなくその速度に関する表示が得られる。、 第６図は、感知装置１１の浸漬で始まる時間と、感知装
置１１により測定される渦電流による損失との間の関係
を示すグラフである。パシーテイング効果″として表わ
されている曲線の始めの部分は、感知装置１１が浸漬さ
れた時点からめっきが開始される時点１６迄の時間を示
す。この時間は、（１）ソーティング効果（異なる方法
）、及び（２）めっき液の活動度（異なる化学的パラメ
ータ）を示すと考えられる。これらの要素のいずれか一
方を適当に特性＋ｊげ又は標準化することにより、他方
の要素の変動が調べられ得る。めっき開始時点１６から
ピーク値１８へ立上っている曲線部分は、めっき動作の
開始のｎ＋＋ｊ定に用いられる部分である。
ときに近傍の金属表面に渦電流を生ぜしめるコイルを封
入している非導電性部１，１より成り、上記渦電流の効
果は第１図の検出駆動装置１７によって決定される。感
知装置１１は、その長さの全体又は大部分がねし：切り
されており、感知装置１１上のねじ切りに対処するねじ
切りを内側に有している、プラスチック等の非磁性及び
非導電性の材料のキャップ１３を設けられている。キャ
ップ１６の底部の壁は、正確に測定された既知量の所定
の厚さｄを有する。キャップ１６は、感知装置１１上に
ねじ止めされ、従って取換可能であり、その組立体は、
該組立体を液体から保護する、ゴム封入体又は他の配置
の如き、任意の適当な手段により、キャップ１６の底部
の壁を除いて、液体から保護されている。めっき浴中に
浸漬されると、適当なシーディングの後に、キャップ１
６の底部の壁の外側部分にめっきが行われ、その金属付
着が感知装置１１により検出されて、ストリップ・チャ
ート記録装置１９上に示される如く、又はマイクロコン
ピュータ２３により決定される如（、めっきの厚さだけ
でなくその速度に関する表示が得られる。、 第６図は、感知装置１１の浸漬で始まる時間と、感知装
置１１により測定される渦電流による損失との間の関係
を示すグラフである。パシーテイング効果″として表わ
されている曲線の始めの部分は、感知装置１１が浸漬さ
れた時点からめっきが開始される時点１６迄の時間を示
す。この時間は、（１）ソーティング効果（異なる方法
）、及び（２）めっき液の活動度（異なる化学的パラメ
ータ）を示すと考えられる。これらの要素のいずれか一
方を適当に特性＋ｊげ又は標準化することにより、他方
の要素の変動が調べられ得る。めっき開始時点１６から
ピーク値１８へ立上っている曲線部分は、めっき動作の
開始のｎ＋＋ｊ定に用いられる部分である。
ごの曲線は高解像度を有し、その変化率は該曲線の傾斜
に比例することが理解され得る。−１−記曲線の中央部
分は、めっき動作が行われた後に被膜の厚さを測定する
ために用し・られる部分であるが、傾斜か実質的に零で
ある右端部分は通常、厚い導電性ターゲット及び異なる
空隙を用いることによ（７） る、感知装置１１の変位４１］］定に用（・もれる。
に比例することが理解され得る。−１−記曲線の中央部
分は、めっき動作が行われた後に被膜の厚さを測定する
ために用し・られる部分であるが、傾斜か実質的に零で
ある右端部分は通常、厚い導電性ターゲット及び異なる
空隙を用いることによ（７） る、感知装置１１の変位４１］］定に用（・もれる。
第４図は、本発明が従来の真空イ・１着装置とともに用
いられた場合を示している３、真空室２ｏは、金属層が
旧情されるべき被処理体２４に指向される、金属の蒸気
又は粒子の源゛）２を含む。感知装置７１及びキャップ
７３が１ン１に示されている如く真空室中に挿入され、
キャップ１０−１−に金属がイ」着される。第４図の装
置の他の部分、その動作及び特性についても、前述の場
合と同様である。
いられた場合を示している３、真空室２ｏは、金属層が
旧情されるべき被処理体２４に指向される、金属の蒸気
又は粒子の源゛）２を含む。感知装置７１及びキャップ
７３が１ン１に示されている如く真空室中に挿入され、
キャップ１０−１−に金属がイ」着される。第４図の装
置の他の部分、その動作及び特性についても、前述の場
合と同様である。
以−にの説明から、本発明は、電気めっき浴中で得られ
るめっきの厚さ及び旧著速度を測定するだめの改良され
た装置を達成することが理解されよう。
るめっきの厚さ及び旧著速度を測定するだめの改良され
た装置を達成することが理解されよう。
第１図は本発明の好実施例に於ける旧情速度測定装置を
示す概略図であ１ハ第２図は第１図の装置に用いられて
いるギャップを詳細に示す縦断面図であり、第６図は第
１図の装置の動作を示すグラフであり、第４図は真空イ
＝Ｊ着の行われる環境に用いられた旧情速度測定装置を
７ドす図である。 （８） ６・・・・めっき浴、５・・・・めっき液、７・・・・
容器、９・・・・ブラケット（吊り手段）、１１・・・
・渦電流近接感知装置、１３・曲キャップ、１５・・・
・接続ケーブル、１６・・・・めっき開始時点、１７・
・・・検出駆動装置、１８・・・・ピーク値、１９・・
・・ストリップ・チャー１・記録装置、２０・・・・真
空室、２１・・・・Ａ−Ｄ変換器、２２・・・・金属の
蒸気又は粒子の源、２３・・・・マイクロコンピュータ
、２４・・・・被処理体、２５・・・・出力装置。
示す概略図であ１ハ第２図は第１図の装置に用いられて
いるギャップを詳細に示す縦断面図であり、第６図は第
１図の装置の動作を示すグラフであり、第４図は真空イ
＝Ｊ着の行われる環境に用いられた旧情速度測定装置を
７ドす図である。 （８） ６・・・・めっき浴、５・・・・めっき液、７・・・・
容器、９・・・・ブラケット（吊り手段）、１１・・・
・渦電流近接感知装置、１３・曲キャップ、１５・・・
・接続ケーブル、１６・・・・めっき開始時点、１７・
・・・検出駆動装置、１８・・・・ピーク値、１９・・
・・ストリップ・チャー１・記録装置、２０・・・・真
空室、２１・・・・Ａ−Ｄ変換器、２２・・・・金属の
蒸気又は粒子の源、２３・・・・マイクロコンピュータ
、２４・・・・被処理体、２５・・・・出力装置。
Claims (1)
- 渦電流近接感知装置と、上記感知装置に接続された検出
装置と、上記感知装置を付着の行われる環境中に装着す
るための装着手段と、上記感知装置から成る所定の距離
にテスト用付着面が設けられる様に上記感知装置を封入
している取換可能なキャップ手段と、上記検出装置の出
力を監視するための出力手段とを有する、金属付着方法
の実時間付着速度を測定する装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US378697 | 1982-05-17 | ||
| US06/378,697 US4556845A (en) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | Method for monitoring deposition rate using an eddy current detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58201003A true JPS58201003A (ja) | 1983-11-22 |
| JPH0242401B2 JPH0242401B2 (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=23494185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58042511A Granted JPS58201003A (ja) | 1982-05-17 | 1983-03-16 | 金属付着速度測定方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4556845A (ja) |
| EP (1) | EP0094545B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58201003A (ja) |
| DE (1) | DE3368981D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023533901A (ja) * | 2020-08-25 | 2023-08-07 | コーニング インコーポレイテッド | 堆積厚さのその場観測 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPS61199069A (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-03 | C Uyemura & Co Ltd | めっき液濃度自動連続管理装置 |
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