JPS58201239A - 試験片表面観察装置 - Google Patents
試験片表面観察装置Info
- Publication number
- JPS58201239A JPS58201239A JP57085427A JP8542782A JPS58201239A JP S58201239 A JPS58201239 A JP S58201239A JP 57085427 A JP57085427 A JP 57085427A JP 8542782 A JP8542782 A JP 8542782A JP S58201239 A JPS58201239 A JP S58201239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test piece
- electron beam
- storage container
- observation device
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 42
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 20
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 15
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 9
- 238000009661 fatigue test Methods 0.000 description 7
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 2
- 235000002597 Solanum melongena Nutrition 0.000 description 1
- 244000061458 Solanum melongena Species 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は例えば大型引張り試験片又は疲労試験片の表面
を試験中に観察できるように改善した表面観察装置に関
するものである。
を試験中に観察できるように改善した表面観察装置に関
するものである。
微小部分の表面を鮮明に観察できる走査電子顕微鏡は電
子線を用いるため可視光線を用いる光学顕微鏡よりも、
像の分解能及び焦点深度が大きく、物体の表面を詳細に
観察することができる。このため、引張り試験又は疲労
試験中の試験片表面を観察する手段として利用されてい
る。
子線を用いるため可視光線を用いる光学顕微鏡よりも、
像の分解能及び焦点深度が大きく、物体の表面を詳細に
観察することができる。このため、引張り試験又は疲労
試験中の試験片表面を観察する手段として利用されてい
る。
第１図について従来の表面観察装置の構造をみると、０
１は走査電子顕微鏡内を真空にするための鏡体枠、０２
は１００ Ａ以下の径に絞られた茄。
１は走査電子顕微鏡内を真空にするための鏡体枠、０２
は１００ Ａ以下の径に絞られた茄。
子線０３を得るためのフィラメントを有する電子銃、
０４は集束レンズ、０５は対物レンズ、０６は電子線走
査コイル、 ０７は非点収差補正用コイル、０８は被検
体試験片を引張るための負荷装置、０９は引張り又は疲
労試験片、０１０は試料表面から反射された２次電子線
又は特性Ｘ線の信号、 ０１１は信号０１０を検出す
る２次電子線検出器又は′４１ｊ性Ｘ線検出器、０１２
は真空引き１１である。
０４は集束レンズ、０５は対物レンズ、０６は電子線走
査コイル、 ０７は非点収差補正用コイル、０８は被検
体試験片を引張るための負荷装置、０９は引張り又は疲
労試験片、０１０は試料表面から反射された２次電子線
又は特性Ｘ線の信号、 ０１１は信号０１０を検出す
る２次電子線検出器又は′４１ｊ性Ｘ線検出器、０１２
は真空引き１１である。
しかして引張り試験片又は疲労試験片を試験中に観察す
る場合は、引張り用負荷装置０８をｊ；側より試料室０
１３中に挿入して引張りながら観察するが、この場合観
察可能な試料の大きさは引張り負荷装置０８に設置でき
る程度の大きさの引張り試験装置に制限される非常に小
さな試験片である。このためこれより大きな引張り試験
片又は疲労試験片を直接に観察することか小川能である
。
る場合は、引張り用負荷装置０８をｊ；側より試料室０
１３中に挿入して引張りながら観察するが、この場合観
察可能な試料の大きさは引張り負荷装置０８に設置でき
る程度の大きさの引張り試験装置に制限される非常に小
さな試験片である。このためこれより大きな引張り試験
片又は疲労試験片を直接に観察することか小川能である
。
本発明は、叙上の事情に鑑み、大きな試験片の表面を観
察することができる実試験片観察月１の表面観察装置を
提供することを目的とし、鏡。
察することができる実試験片観察月１の表面観察装置を
提供することを目的とし、鏡。
体枠の一側に形成された電子線の通過する開放端と、同
開放端に配設された真空シール手段と。
開放端に配設された真空シール手段と。
同真空シール手段を介して上記鏡体枠を載置−４るとと
もに中央部には電子線を通過する開口部を側部には上記
鏡体枠の移動手段をそなえた視野移動台と、同視野移動
台の開放端に配設された真空シール手段と、同真空シー
ル手段を介して上記視野移動りを載置するとともに中央
部には電子線を通過する開口部をそなえた試験片収納容
器と、同試験片収納容器内の試験片の端部に配設された
応力負荷用治具と、同応力負荷用治具と上記試験片収納
容器との真空シール手段とをそなえたことを特徴とする
試験片表面観察装置を提案する。
もに中央部には電子線を通過する開口部を側部には上記
鏡体枠の移動手段をそなえた視野移動台と、同視野移動
台の開放端に配設された真空シール手段と、同真空シー
ル手段を介して上記視野移動りを載置するとともに中央
部には電子線を通過する開口部をそなえた試験片収納容
器と、同試験片収納容器内の試験片の端部に配設された
応力負荷用治具と、同応力負荷用治具と上記試験片収納
容器との真空シール手段とをそなえたことを特徴とする
試験片表面観察装置を提案する。
本発明の一実施例を第２図トこついて説明する。
第２図は本発明の試験片表面観察装置の一実施例を示す
縦断側面図であり、同図における符号１ないし７，１０
．１１は第１図における符号０１ないし０７．０１０及
び０１１ と同一部材であるので説明を省略する。１２
は走査電子顕微鏡の鏡体枠ｌの一側に形成された電子線
の通過する開放端である。１３は同開放端１２に配設さ
れた真空ンール手段でリングパツキン等が使用できる。
縦断側面図であり、同図における符号１ないし７，１０
．１１は第１図における符号０１ないし０７．０１０及
び０１１ と同一部材であるので説明を省略する。１２
は走査電子顕微鏡の鏡体枠ｌの一側に形成された電子線
の通過する開放端である。１３は同開放端１２に配設さ
れた真空ンール手段でリングパツキン等が使用できる。
１５は上記真空ンール手段１３を介して鏡体枠を載置す
る平滑な面をイラするとともに中央部）こ番ま電ｒ″＃
３を通過する開口部１６を側部には上記鏡体＋ｆ１の移
動手段１７として例えは対称位置番二ネジを４個具備し
ている視野移動台、１８は同視！ト移動で１１５の一側
に配設された真空シーｌし手段で１ノンクパノキン等が
使用できる。
る平滑な面をイラするとともに中央部）こ番ま電ｒ″＃
３を通過する開口部１６を側部には上記鏡体＋ｆ１の移
動手段１７として例えは対称位置番二ネジを４個具備し
ている視野移動台、１８は同視！ト移動で１１５の一側
に配設された真空シーｌし手段で１ノンクパノキン等が
使用できる。
１９は上記真空シール手段１８を介して上記鏡イ４・枠
１を載置するとともに中央部１は電子線３を通過する開
口部２０をそなえた試験片収納容器で。
１を載置するとともに中央部１は電子線３を通過する開
口部２０をそなえた試験片収納容器で。
この試験片収納容器内への試験片の取付は取換え等を容
易にするため、この実施例では、中す４部１９ａ、端部
１９ｂ、１９ｃに分割できるよう（こしている。
易にするため、この実施例では、中す４部１９ａ、端部
１９ｂ、１９ｃに分割できるよう（こしている。
２１は上記試験１４″収納容器１９内に取り付けら１１
た引張り試験片又は疲労試験片等の試験片、２２は同試
験片２１の端部にピン２３を介して配設さＪまた応力負
荷用治具で、図示を省略した引張り試験機又は疲労試験
機の応力負荷装置に連設さ１＋ている。
た引張り試験片又は疲労試験片等の試験片、２２は同試
験片２１の端部にピン２３を介して配設さＪまた応力負
荷用治具で、図示を省略した引張り試験機又は疲労試験
機の応力負荷装置に連設さ１＋ている。
（５）
２４は試験片収納容器１９を構成する中央部１９ａと端
部１９ｂ及び１９ｃとの接合面に配設された真空シール
手段でリングパツキン等か使用できる。
部１９ｂ及び１９ｃとの接合面に配設された真空シール
手段でリングパツキン等か使用できる。
２５は上記接合面を締着するボルトナフト、２６は上記
試験片収納容器１９の端部１９ｂ及ｉ／’１９ｃと前記
応力負荷用治具２２との接合面に配設された真空シール
手段でリングパツキン等が使用できる。
試験片収納容器１９の端部１９ｂ及ｉ／’１９ｃと前記
応力負荷用治具２２との接合面に配設された真空シール
手段でリングパツキン等が使用できる。
２７は前記試験片収納容器１９の端部１９ｃに配設され
た真空引き口である。
た真空引き口である。
このような構成において、」二記真空引き口２７を図示
を省略した真空発生手段１例えは真空ポンプに接続し同
ポンプを作動する。鏡体内及び試験片収納容器内が電子
線３を放射できる程度の所定の真空度に達した後、電子
銃２から電子線３を試験片２１の表面に発射し、同表面
から反射された。
を省略した真空発生手段１例えは真空ポンプに接続し同
ポンプを作動する。鏡体内及び試験片収納容器内が電子
線３を放射できる程度の所定の真空度に達した後、電子
銃２から電子線３を試験片２１の表面に発射し、同表面
から反射された。
２次電子線又は特性Ｘ線の信号１０を２次電子線検出器
又は特性Ｘ線検出器１１で検出することにより、試験片
２１の表面観察を行うことができ（６） る。また試験片収納容器１９は、第１図に示したような
小型の試験片ではなく大型の引張り試験機又は疲労試験
機の応力負荷用治具２２及び試験片２１の大きさに合わ
せて自由に製作できるので実用的な大きさの試験片にお
ける破壊挙動を追跡観察することができる特徴をもって
いる。
又は特性Ｘ線検出器１１で検出することにより、試験片
２１の表面観察を行うことができ（６） る。また試験片収納容器１９は、第１図に示したような
小型の試験片ではなく大型の引張り試験機又は疲労試験
機の応力負荷用治具２２及び試験片２１の大きさに合わ
せて自由に製作できるので実用的な大きさの試験片にお
ける破壊挙動を追跡観察することができる特徴をもって
いる。
かくして本発明の試験片表面観察装置によれば試験片の
大きさに制限されることなく、大型試験機の試験片につ
いて破壊挙動を詳細に観察することができる。
大きさに制限されることなく、大型試験機の試験片につ
いて破壊挙動を詳細に観察することができる。
第１図は従来の小型引張り試験片観嚇装置の縦断面図、
第２図は本発明の試験片表面観察装置の一実施例の縦断
面図である。 １・・鏡体枠、 ２・・電子銃、 ３・・・電子線。 ４・・・集束レンズ４５・・対物レンズ、 ６・・電子
線走査コイル、 ７・・・非点収差補正用コイル、１
０・・２次電子線又は特性Ｘ線の信号、 １１ ・２次
電子線検出器又は特性Ｘ線検出器、 １２−鏡体枠開放
端、１３・・・真空シール手段、 １４・鏡体下部、１
５・・・視野移動台、 １６・視野移動・台間口部、
１７・・ネジ、 １ｇ・・真空シール手段、１９・
・試験片収納容器、２０・試験片収納容器開口部、
２１・・・試験片、２２・応力負荷用治具、２３・・・
ピン、２４・・・真空シール手段、 ２５ ・ポ
ル）す７）、、２６・・・真空シール手段、 ２７
・・真空引き口。
第２図は本発明の試験片表面観察装置の一実施例の縦断
面図である。 １・・鏡体枠、 ２・・電子銃、 ３・・・電子線。 ４・・・集束レンズ４５・・対物レンズ、 ６・・電子
線走査コイル、 ７・・・非点収差補正用コイル、１
０・・２次電子線又は特性Ｘ線の信号、 １１ ・２次
電子線検出器又は特性Ｘ線検出器、 １２−鏡体枠開放
端、１３・・・真空シール手段、 １４・鏡体下部、１
５・・・視野移動台、 １６・視野移動・台間口部、
１７・・ネジ、 １ｇ・・真空シール手段、１９・
・試験片収納容器、２０・試験片収納容器開口部、
２１・・・試験片、２２・応力負荷用治具、２３・・・
ピン、２４・・・真空シール手段、 ２５ ・ポ
ル）す７）、、２６・・・真空シール手段、 ２７
・・真空引き口。
Claims (1)
- 鏡体枠の一側に形成された電子線の通過する開放端と、
同開放端に配設された真空シールｒ段と、同真空シール
手段を介して上記鏡体枠を載置するとともに中央部には
電子線を通過する開口部を側部には上記鏡体枠の移動手
段をそ／Ｃえた視野移動台と、同視野移動台の開放端に
配設された真空シール手段と、同真空シール手段を介し
て上記視野移動台を載置するとともに中央部には電子線
を通過する開口部をそなえた試験片収納容器と、同試験
片収納容器内の試験片の端部に配設された応力負荷用治
具と、同応力負荷用治具と上記試験片収納容器との真空
シル手段とをそなえたことを特徴とする試験片表面観察
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57085427A JPS58201239A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 試験片表面観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57085427A JPS58201239A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 試験片表面観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58201239A true JPS58201239A (ja) | 1983-11-24 |
Family
ID=13858529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57085427A Pending JPS58201239A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 試験片表面観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58201239A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6356555U (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-15 |
-
1982
- 1982-05-20 JP JP57085427A patent/JPS58201239A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6356555U (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-15 |
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