JPS58201380A - 冷却型光電変換装置 - Google Patents
冷却型光電変換装置Info
- Publication number
- JPS58201380A JPS58201380A JP57086115A JP8611582A JPS58201380A JP S58201380 A JPS58201380 A JP S58201380A JP 57086115 A JP57086115 A JP 57086115A JP 8611582 A JP8611582 A JP 8611582A JP S58201380 A JPS58201380 A JP S58201380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terminal plate
- sealed
- tube
- photoelectric converter
- vacuum side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/93—Interconnections
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(a) 発明の技愉分舒
本発明は冷却型光゛邂変換装置の改良に係り、特にデユ
ワ構造の冷却#器に実装した光wL変侠水子に対する株
^用回路素子の配設構造に関するものである。
ワ構造の冷却#器に実装した光wL変侠水子に対する株
^用回路素子の配設構造に関するものである。
(b) 従来技術と問題点
半導体よりhる赤外、m@知用の光電変換素子は、通常
筐体yj1素温度(約77″K)程度まで冷却した状態
で用いられている。従って従来の赤外線検知用光電変換
装W1は、内管と夕)管と力・らなるデユワ構造の断熱
冷却容器を用い、外管の一部に赤M線透過窓を設けると
共に、該透m窓に対向した内管に配設された冷却基台上
に赤りY線検知用九電変換素子を設筐し、かかる冷却容
器の内管内に液体窒素の如き液体冷媒を収納するかある
いはジュールトムソン型の冷却機を挿設して萌紀変換素
子を所定の低温に冷却して動作させる構成かとられてい
る。
筐体yj1素温度(約77″K)程度まで冷却した状態
で用いられている。従って従来の赤外線検知用光電変換
装W1は、内管と夕)管と力・らなるデユワ構造の断熱
冷却容器を用い、外管の一部に赤M線透過窓を設けると
共に、該透m窓に対向した内管に配設された冷却基台上
に赤りY線検知用九電変換素子を設筐し、かかる冷却容
器の内管内に液体窒素の如き液体冷媒を収納するかある
いはジュールトムソン型の冷却機を挿設して萌紀変換素
子を所定の低温に冷却して動作させる構成かとられてい
る。
一方上述した構成gcおける前記光電変換素子からの信
号出力は例えば変換素子が多素子型の場合、該変換素子
のIIIIi11+i1部に配設された中継端子板を介
して一散本のリード線によって前記外管祷−の一部を横
断する杉でMftされた禦状円板形のセラミック端子板
上の個別に管外に導出した導電膜パターンより取り出さ
れるものであるが、前記セラミック端子板上の個別に管
外に導出した導Wt展パタ−ンには、該該導aSパター
ンの各端部に予期しないリーク過電流や、また静電気等
による自火電圧が不測に印加され、前記光[変換素子が
破壊されるといった事態を防止するために保糟用の電流
制限抵抗を直列に配設するかあるいは前記直列に配設さ
れた電流mya抵抗と共に、電圧制御用のP1Nダイオ
ード等が並列に配設されている。
号出力は例えば変換素子が多素子型の場合、該変換素子
のIIIIi11+i1部に配設された中継端子板を介
して一散本のリード線によって前記外管祷−の一部を横
断する杉でMftされた禦状円板形のセラミック端子板
上の個別に管外に導出した導電膜パターンより取り出さ
れるものであるが、前記セラミック端子板上の個別に管
外に導出した導Wt展パタ−ンには、該該導aSパター
ンの各端部に予期しないリーク過電流や、また静電気等
による自火電圧が不測に印加され、前記光[変換素子が
破壊されるといった事態を防止するために保糟用の電流
制限抵抗を直列に配設するかあるいは前記直列に配設さ
れた電流mya抵抗と共に、電圧制御用のP1Nダイオ
ード等が並列に配設されている。
ところが上述のように前記光電変換素子に対する体#用
の抵抗及びPINダイオード等カ)らなる回路素子を、
セフ(ツク端子板上の個別に外管に導出した導螺膜パ身
−ンに配設した構成にあっては、*t1記セ記文ラミッ
ク端子板上別tこ管外に導出した4fIi展パターンに
おける外管外周壁とMiJ記回路素子配設部位との間の
導′#L展パターン領域に直接過剰電流あるい社過大電
圧が印加される恐れがあり、no記保趙用回路素子の配
設構成の効果を充分に発揮することができないといった
欠点があった。また前記冷却g器の外周側に保護用回路
素子を配設することにより、その回路規模が増大し、当
該装置の小型化をさまたける一因にもなっている。
の抵抗及びPINダイオード等カ)らなる回路素子を、
セフ(ツク端子板上の個別に外管に導出した導螺膜パ身
−ンに配設した構成にあっては、*t1記セ記文ラミッ
ク端子板上別tこ管外に導出した4fIi展パターンに
おける外管外周壁とMiJ記回路素子配設部位との間の
導′#L展パターン領域に直接過剰電流あるい社過大電
圧が印加される恐れがあり、no記保趙用回路素子の配
設構成の効果を充分に発揮することができないといった
欠点があった。また前記冷却g器の外周側に保護用回路
素子を配設することにより、その回路規模が増大し、当
該装置の小型化をさまたける一因にもなっている。
(C) f@明の目的
本発、明の目的は、上記従来の欠点を解消するため、光
電変換素子に対する保護用の電流制限抵抗素子やPIN
ダイオード等力)らなる回&I?1潮干を断熱冷却容器
内に配設し、該回路素子にょる保^効果を確実に発揮し
得るようにした■「規な冷jlfl型九電変換装置を提
供せんとするもσ〕である。
電変換素子に対する保護用の電流制限抵抗素子やPIN
ダイオード等力)らなる回&I?1潮干を断熱冷却容器
内に配設し、該回路素子にょる保^効果を確実に発揮し
得るようにした■「規な冷jlfl型九電変換装置を提
供せんとするもσ〕である。
(d)@明の構成
上記目的を達成するために本発明の冷却型光電変換装W
1は、内管と外管と力・らなるデユワ構造の冷却容器を
主体とし、該内管の真空スペースI&1IIK元IIE
度換素子を支持せしめると共に、該光*変換素子のリー
ド標を、前記外晋器擬の一部を横断すチ る形で封着したセラミック端末板上の導電膜パターンを
介して気密に導出してなる構成において、1記七う之ツ
ク端子板上にその上の導−膜パターンの真空鱈4部に接
続した杉で、ヒ記元電変換素子に対する保護用V)回路
素子を配設したことを特徴とするものである。
1は、内管と外管と力・らなるデユワ構造の冷却容器を
主体とし、該内管の真空スペースI&1IIK元IIE
度換素子を支持せしめると共に、該光*変換素子のリー
ド標を、前記外晋器擬の一部を横断すチ る形で封着したセラミック端末板上の導電膜パターンを
介して気密に導出してなる構成において、1記七う之ツ
ク端子板上にその上の導−膜パターンの真空鱈4部に接
続した杉で、ヒ記元電変換素子に対する保護用V)回路
素子を配設したことを特徴とするものである。
(e) 発明の実地例
以下図面を用いて本発明の実施例について嵯細に説明す
る。
る。
第1図は本発明を適用した赤外酬検知用冷却型光電変換
装置の一実1池例を示す縦断面図、第2図はh1図のト
1′線に沿った横断面図である。第1図においてlはガ
ラス製の内管2と外W8とからなり、かつこれらの間を
排気’[4を通して真空排気されたデユワ構造の冷却容
器である。該内管2に配設された冷却基台5上には赤外
梅検知用光?it変換素子7が設置されており、また該
光電変換素子7に対向する外t8の紙部にゲルマニウム
等からなる赤外線通MK9が封着されている。また蔀外
督8の一部には、該外vr8を横断する形で環状円板形
のセラミック端子板10が図示のように封着されている
。そして該セラミック端子板10の表面には、第2図の
平囲図によって明らかなようにDII記九4貧侠累子7
に構成される膜数の受光素子(図示せず)と接続したり
一ドーロをIPi別に管外に導出するための金等からな
る導[Mパターン11が配設されて―るが本発明におい
て蝶、1111記専嵐膜パターン11の真空側配設部位
に、さらに例えをよ厚膜あるいは薄yIl技術によって
祠されたIKΩ〜IDKQf/!4度の上記光Wl駕換
索子7に対する保護用の回路素子、すなわち抵抗素子ν
がそれぞれ直列に配設されている。
装置の一実1池例を示す縦断面図、第2図はh1図のト
1′線に沿った横断面図である。第1図においてlはガ
ラス製の内管2と外W8とからなり、かつこれらの間を
排気’[4を通して真空排気されたデユワ構造の冷却容
器である。該内管2に配設された冷却基台5上には赤外
梅検知用光?it変換素子7が設置されており、また該
光電変換素子7に対向する外t8の紙部にゲルマニウム
等からなる赤外線通MK9が封着されている。また蔀外
督8の一部には、該外vr8を横断する形で環状円板形
のセラミック端子板10が図示のように封着されている
。そして該セラミック端子板10の表面には、第2図の
平囲図によって明らかなようにDII記九4貧侠累子7
に構成される膜数の受光素子(図示せず)と接続したり
一ドーロをIPi別に管外に導出するための金等からな
る導[Mパターン11が配設されて―るが本発明におい
て蝶、1111記専嵐膜パターン11の真空側配設部位
に、さらに例えをよ厚膜あるいは薄yIl技術によって
祠されたIKΩ〜IDKQf/!4度の上記光Wl駕換
索子7に対する保護用の回路素子、すなわち抵抗素子ν
がそれぞれ直列に配設されている。
このように充電変換素1−7にχ・1する保護用の抵抗
素干しを冷却容器l内の真空側411を膜パターン11
に直列に配設した構成にすることにより、口11記光電
&換素子7に、前記管外に導出せる4電麟パターン11
およびそのリード端子14より好ましくない過電流が流
入されることを確実に防止し、保−することができる。
素干しを冷却容器l内の真空側411を膜パターン11
に直列に配設した構成にすることにより、口11記光電
&換素子7に、前記管外に導出せる4電麟パターン11
およびそのリード端子14より好ましくない過電流が流
入されることを確実に防止し、保−することができる。
またかかる抵抗素干しと、該抵抗素干し及びそれにつな
かる導MII11パターン11と七うミック膚子板lO
との間に生じるfPJIif容蓋とで構各音れるローパ
スフィルタによりスパイク状の電圧のt11間値を低く
することができるので、前記光1に変換素子7に対して
り)部力・ら過大′−圧が印加されるとと屯防止するこ
とがuJ舵となる。
かる導MII11パターン11と七うミック膚子板lO
との間に生じるfPJIif容蓋とで構各音れるローパ
スフィルタによりスパイク状の電圧のt11間値を低く
することができるので、前記光1に変換素子7に対して
り)部力・ら過大′−圧が印加されるとと屯防止するこ
とがuJ舵となる。
#I8図は本発明に係る他の実j也雨を部分的に拡大し
て示しな端子板の要部平面図であり、第2図と同等部分
には同一符号を付している。第8図の実施例が第1図及
び第2図の実池例と異なる点は、冷却芥itの外管8の
一部を横りする形で封着されたセラ之ツク端子板lO上
の導[膜パターン11の真空側に抵抗素子臣をそれぞれ
型側に配設すると共に、その導電膜パターン11と前記
セラミック端子板10の裏面側に配設された図示しない
例えば充電変換素子7の基板電位と同電位を供給する導
電電極パターンとの間に前記セラミック端子板10に♀
殺されたスルーホール31を介して例えばPINダイオ
ードチップ32をフェイスダウンポンディング法により
並列に配設したことである。この実施例構成によっても
前記第1.第2図による実油例と同様に、1IIJ記光
邂変換素子7に対して外部より過心流あるいは過大磁圧
が流入印加されることを未然に防止し、体層することが
でき、本発明の目的を速成し得ることは明ら力・である
。
て示しな端子板の要部平面図であり、第2図と同等部分
には同一符号を付している。第8図の実施例が第1図及
び第2図の実池例と異なる点は、冷却芥itの外管8の
一部を横りする形で封着されたセラ之ツク端子板lO上
の導[膜パターン11の真空側に抵抗素子臣をそれぞれ
型側に配設すると共に、その導電膜パターン11と前記
セラミック端子板10の裏面側に配設された図示しない
例えば充電変換素子7の基板電位と同電位を供給する導
電電極パターンとの間に前記セラミック端子板10に♀
殺されたスルーホール31を介して例えばPINダイオ
ードチップ32をフェイスダウンポンディング法により
並列に配設したことである。この実施例構成によっても
前記第1.第2図による実油例と同様に、1IIJ記光
邂変換素子7に対して外部より過心流あるいは過大磁圧
が流入印加されることを未然に防止し、体層することが
でき、本発明の目的を速成し得ることは明ら力・である
。
(f) 発明の効果
以上の説明力)も明らかなように本発明に係る冷却型光
電変WIA装隨によれば光−変換素子に対する体軸用の
抵抗素子、PINダイオード等からなる回路素子を冷却
容器内の真空側セラ尖ツク剤子板スペース上の4電膜パ
ターンに配設した構成がとられているので、1g器外よ
り光IM、変換素子に対して外部より好ましくない過′
6L流や自火電圧が流入印加され該素子が破壊されるこ
とを未然に、かつ確実に防止し、保護することができる
利点を有する。また装置の主体をなす冷tlII客器の
外周回路規模を増大させることがなくなり、力・つt」
11記抹護用の回路素子が真空中で保持されるので装置
aの周辺環境のi化や外力によって損慢するといったこ
とがなくなる等、すぐれた対果もイJし、表置の信頼性
が向上する。
電変WIA装隨によれば光−変換素子に対する体軸用の
抵抗素子、PINダイオード等からなる回路素子を冷却
容器内の真空側セラ尖ツク剤子板スペース上の4電膜パ
ターンに配設した構成がとられているので、1g器外よ
り光IM、変換素子に対して外部より好ましくない過′
6L流や自火電圧が流入印加され該素子が破壊されるこ
とを未然に、かつ確実に防止し、保護することができる
利点を有する。また装置の主体をなす冷tlII客器の
外周回路規模を増大させることがなくなり、力・つt」
11記抹護用の回路素子が真空中で保持されるので装置
aの周辺環境のi化や外力によって損慢するといったこ
とがなくなる等、すぐれた対果もイJし、表置の信頼性
が向上する。
第1図及び第2図は本発明を適用した赤外IftA検知
用光゛醒に侠装置の一実地例を示す縦断面図及びそのl
−1f’切断蝉に沿った横断面図、第8図は本発明を適
用した赤外線検知用光七変換装丙の11シの実施例を示
すIM部平面図である。 図においてlは冷却容器、2は内骨、8は外管5は冷却
基台、7は光這変狭素子、lOけセラミック端子板、I
Iは導1’lU展パターン、臆は抵抗素子、13はリー
ド徊、31けスルホール、支はPINダイオードチップ
を示す。 37 第1図 第3IyIA 378−
用光゛醒に侠装置の一実地例を示す縦断面図及びそのl
−1f’切断蝉に沿った横断面図、第8図は本発明を適
用した赤外線検知用光七変換装丙の11シの実施例を示
すIM部平面図である。 図においてlは冷却容器、2は内骨、8は外管5は冷却
基台、7は光這変狭素子、lOけセラミック端子板、I
Iは導1’lU展パターン、臆は抵抗素子、13はリー
ド徊、31けスルホール、支はPINダイオードチップ
を示す。 37 第1図 第3IyIA 378−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内管と外管とからなるデユワ構造の冷却1g器を主体と
し、該内管の真空スペース側に光電変換素子を支持せし
めると共に、該光電変換素子のリード線と、前記外管器
壁の一部を横断する形で封着吸 したセラミック端子に上の導電膜パターンを介して気密
に導出してなる構成において、前記セラミック端子板上
にその上の導電膜パターンの真空側端部に接続した形で
上記光電変換素子に対する保##Jの回路素子を配設し
たことを特徴とする冷却型光或変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57086115A JPS58201380A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 冷却型光電変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57086115A JPS58201380A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 冷却型光電変換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58201380A true JPS58201380A (ja) | 1983-11-24 |
Family
ID=13877692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57086115A Pending JPS58201380A (ja) | 1982-05-20 | 1982-05-20 | 冷却型光電変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58201380A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03503862A (ja) * | 1987-10-20 | 1991-08-29 | アルベリッド,ビルガー | 状態インジケータを備えた切削工具 |
-
1982
- 1982-05-20 JP JP57086115A patent/JPS58201380A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03503862A (ja) * | 1987-10-20 | 1991-08-29 | アルベリッド,ビルガー | 状態インジケータを備えた切削工具 |
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