JPS58211862A - コ−テイング付き複合窒化珪素切削工具 - Google Patents

コ−テイング付き複合窒化珪素切削工具

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JPS58211862A
JPS58211862A JP58086732A JP8673283A JPS58211862A JP S58211862 A JPS58211862 A JP S58211862A JP 58086732 A JP58086732 A JP 58086732A JP 8673283 A JP8673283 A JP 8673283A JP S58211862 A JPS58211862 A JP S58211862A
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tool
nitride
carbide
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high melting
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JP58086732A
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ビノド・ケイ・サリン
セルゲイ・トミスラブ・ブルジヤン
チヤ−ルズ・ダンジエロ
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    • B23B27/148—Composition of the cutting inserts
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複合セラミック切削工具及び切削工具挿入体
に関するものである。特には、本発明は、高融点物質か
ら成る1つ以上の薄い密着コーティング層を具備する複
合窒化珪素セラミック切削工具及び切削工具挿入体に関
係する。
炭化物接合型の超硬材料が、その硬度、強度、及び耐磨
耗性のユニークな組合せを具備することKより周知され
そして探鉱用差込バイト、金属切削及び穿孔用工具、金
属引抜ダイス、耐磨耗性機械部品等に巾広く使われてい
る。これら炭化物接合型超硬材料の耐磨耗性は、炭化チ
タンや酸化アルミニウムのような高耐磨耗性拐料の薄い
コーティングの被覆により向上されうろことが知られて
いる。これらコーティング付き炭化物材料には、成る種
の切削工具及び機械加工用途に対して一段と工業的有用
性が見い出されている。
機械加工用途において一層高い生産性を得んとする産業
界の強い要望は、切削工具材料の性能に絶えざる改善を
課している。機械加工において高い生産性を実現する為
には、工具は高速度で切削できねばならない。切削速度
が1500表面ft/分(sfpm )を超えると、切
削工具利料の高温強度及び化学的不活性さが一層重要と
なる。今日切削工具において使用される主たる材料であ
る接合炭化物型切削工具材料の有用性は、それに酸化ア
ルミニウムを被覆することにより約1500 sfpm
の切削速度を要する使途にまで拡大された。しかし、1
5 Q Osfpmを超える切削速度に対しては、接合
炭化物型工具は、強度損失と工具鼻部の変形と関連する
問題と遭遇し、これは加工物の寸法精度に悪影響を与え
また工具寿命を一段と短いものとした。
従来型式のセラミック切削工具がこれら欠点の多くを克
服したが、それらの低い衝撃強度と破壊靭性に関連する
成る制限が存在した。これは特に多くのアルミナ基の従
来セラミック切削工具罠云えることである。窒化珪素基
セラミック切削工具は著しく高い衝撃強度と破壊靭性を
有しているが、鋼のような長切屑発生金へを切削するの
に使用される時所望水準以下の化学的不活性しか示さな
い。
従って、本発明の目的は、改善された切削工具及び切削
工具挿入体を提供することである。
本発明のまた別の目的は、加工速度、温度或いは加工物
硬さについての現在要求される条件の下での金属の加工
に有用な改善された切削工具挿入体を提供することであ
る。
本発明の更に別の目的は、長句屑発生加工材を切削する
に当って改善された性能を備える改善された耐磨耗性セ
ラミック切削工具を提供することである。
これら目的及び利点は、高融点物質から実質上載る少く
とも1つの硬質密着コーティング層を具備する複合窒化
珪素基体から成るコーティング付きセラミック切削工具
或いは切削工具挿入体を提供する本発明に従って実現さ
れる。詳しくは、基体は、マトリックスとマトリックス
中に一様に分布される高融点第2相から実質上載る。マ
) IJタンクル、窒化珪素第1相と、窒化珪素及び有
効量の高密化添加剤から成る第2高融点相から実質上載
る。高密化添加剤は、酸化イツトリウム、酸化ハフニウ
ム、ランタニド希土類酸化物及びその混合物から選択さ
れる。コーティングは、アルミナ;チタン、バナジウム
、クロム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ハフニ
ウム、タンタル、タングステンの窒化物、炭化物及び炭
素・窒素化物並びKその混合物から成る群から選択され
る。
本発明に従う切削工具及び工具挿入体は、高密化窒化珪
素マトリックス中に硬質高融点物質の細い粒子を一様に
分布して成る複合窒化珪素基体から成る。本明細書にお
いて、「硬質高融点物質」とは高融点金属の炭化物及び
/或いは窒化物及び/或いは炭素・窒素化物をその混合
物及び固溶体を含めて意味するものである。本発明の範
囲に入るものとして考慮される粒状硬質高融点物質は、
約1000 kllF/+m’以上の微小硬さと約15
00°C以上の溶融或いは分解温度を有する上記のもの
から選択された物質である。代表的硬質高融点物質は、
チタン、バナジウム、クロム、ジルコニウム、ニオブ、
モリブデン、ハフニウム、タンクル及びタングステンの
、その組合せ及び固溶体を含めて、炭化物及び/或いは
窒化物及び/或いは炭素・窒素化物である。もつとも好
ましい硬質高融点粒は、炭化チタン、窒化チタン、チタ
ン炭素・窒素化物、炭化ハフニウム及び窒化ハフニウム
である。硬質高融点物質の粒は、窒化珪素から成る第1
相と、窒化珪素と有効量の酸化イツトリウム、酸化ハフ
ニウム、酸化ジルコニウム、ランタニド希土類酸化物及
びその混合物から成る群から選択される高密化助剤とを
包含する高融点第2相から実質上載るマトリックス中に
一様に分布される。
硬質高融点粒の平均粒寸は好ましくは約0.5〜20ミ
クロン、より好ましくは約0.5〜5ミクロンの範囲で
ある。
本発明に従う切削工具及び工具挿入体の有用寿命及び性
能は、複合体全体のうち粒状硬質高融点物質により占め
られる容積分布に大きく依存する。
切削工具基体の硬度は一般に粒状硬質高融点物質の占め
る容積%の増大に伴って(約60容積%まで)増加する
が、最大限の硬度及び破壊靭性組合せを得る為には、基
体中に含有される炭化物及び/或いは窒化物及び/或い
は炭素・窒素化物粒が約15〜50容積%、もつとも好
ましくは約20〜40容積%の範囲にあることが好まし
い。
本発明に従うコーティング付き複合窒化珪素切削工具及
び工具挿入体は硬質高融点粒子がマトリックスを通して
分布される複合的なミクロ組織を具備している。マトリ
ックスは、窒化珪素第1相と、窒化珪素並びに有効量の
酸化イツ) IJウム、酸化ハフニウム、2ンタニド希
土類酸化物及びその混合物から成る群から選択される高
密化助剤を包含する高融点第2相とから実質上載る。
第2相としての高融点粒界相は実質上連続であるからそ
して複合体基体全体中に存在する不純物及び添加剤は高
密化過程中粒界相中に集中する傾向があるから、粒界相
の組成は高密化複合体の高温性質に深い影響を与える。
この基体マトリックス粒界相中に、理論値に近い密度ま
での緻密化を許容し同時に複合体全体の高温強度及びク
リープ耐性に悪影響を及ぼさない高密化助剤を組込むこ
とが重要であると考えられる。この目的に対して有用な
代表的高密化助剤は、酸化マグネシウム、酸化イツトリ
ウム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、ランタニド
希土類酸化物及びその混合物から選択される金属酸化物
である。酸化イツトリウム及び酸化ハフニウムが好まし
い。
金属酸化物高密化助剤は、完全な高密化を許容する下限
有効量から基体の高温性質に不当に悪影響を与えない上
限量までの範囲の量において使用される。好ましくは、
金属酸化物高密化助剤は硬質高融点粒の分散される2相
マトリツクスの約1〜25重量%を占める。より好まし
くは、金属酸化物は、マ) IJソックス約1〜5重量
%を構成する。
二酸化珪素は、基体の形成に使用される初期粉末混合物
に添加されうるしまた別様には使用される窒化珪素上の
表面酸化物コーティングとして存在しうる。高密化複合
窒化珪素基体を形成する為の粉末混合物の続いての処理
中、二酸化珪素及び他の金属酸化物高密化助剤は高融点
粒界相に集中する傾向がある。最終高密化基体中に存在
する二酸化珪素の量はマトリックスの約5重量%以下し
か古めないことが好ましい。
基体マ)IJソックス粒界相は、上記二酸化珪素及び金
属酸化物高密化助剤に加えて添加剤或いは不純物の形で
更に追加的な物質を含有しうる。このような追加物質は
好ましくは主体マトリックスの約5重量%以下の量とさ
れる。
本発明の原理に従えば、基体は高融点物質から成る少く
とも1つの硬質密着コーティング層で被覆される。代表
的高融点物質としては、アルミナ並びにチタン、バナジ
ウム、クロム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ハ
フニウム、タンタル及びタングステンの窒化物、炭化物
及び炭素・窒素化物並びにこれらの組合せが挙げられる
。好ましいコーティングは、アルミナ、窒化チタン、炭
化チタン、チタン炭素・窒素化物、窒化ハフニウム、炭
化ハフニウム及びハフニウム炭素・窒素化物である。
コーティング層は約0.1〜20ミクロン、好ましくは
約1.0〜10ミクロンの範囲の厚さを有する。
本発明に従うコーティング付き切削工具及び工具挿入体
を製造する具体的方法を以下に呈示する。
これら方法は例示的なものであって、本発明範囲を制限
することを意図するものでない。以下の方法I及び方法
■は工具基体を作製する方法を例示する。方法Iにおい
て、窒化珪素、硬質粒状高融点物質、二酸化珪素及び高
密化助剤として働く一種以上の金属酸化物を含むプレス
された生の突固め体が焼結によって高密度体に形成され
る。方法■においては、上記物質の乾燥粉末混合物が熱
間プレスされて賦形切削工具挿入体を形成する。
方法■ 1重量部の窒化珪素、硬質高融点物質及び金属酸化物高
密化助剤粉末混合物に対して、約2.5重量部のトルエ
ン、0.1重量部のメタノール及び約0.05重量部の
ステアリン酸が添加された。生成スラリはボールミルに
より完全に混合され゛そして彼75℃で乾燥された。生
成乾燥混合物を約24時間ボールミル処理しそして後0
.05重量部のポリエチレングリコール及びメトキシポ
リエチレングリコールの共重合体、1重量部のトルエン
及び約0.05重量部のメタノールと混合した。この混
合物はボールミルにより約15発温合され、75’Cに
おいて乾燥されそして後60メツシユ篩にて分篩した。
−60メツシュ分篩分が約25. OO0psi Hの
圧力において周囲温度でプレスされて生の突固め体を得
た。残留溶剤及びステアリン酸結合剤は不活性雰囲気巾
約600°Cにおいて加熱することにより生の突固め体
から除去された。その後、生の突固め体は約1700〜
1850°Cの温度での加熱により硬質高密複合体に焼
結された。
方法■ 方法Iの手順が−60メツシユ乾燥粉床温合物を得る点
まで繰返された。その後、この相料は約3000psi
gの圧力でそして約1700°Cの温度においてプレス
されて硬質の高密度複合体を生成した。
次にコーティング方法について説明する。方法I及び■
によって作製されたような複合体基体は、化学的蒸着技
術或いは物理的蒸着技術により高融点物質で被覆される
。例えば、窒化チタン、或いは窒化ハフニウムのような
好ましいコーティングが化学的蒸着により被覆される。
他の高融点物質は化学的蒸着技術が適用可能な場合には
それにより被覆されうるしまた直接蒸着、スパッタリン
グ等のような物理的蒸着技術により被覆される。別様に
は、高融点物質金属自体が化学的若しくは物理的蒸着技
術により付着されそして後窒化、炭化、酸化等されて所
望の高融点金属化合物コーティングを生成するようにも
できる。
化学的蒸着法の有用な特性は、付着した層の高純度と付
着工程の早期段階中付着されつつある層と基体との間に
拡散相互反応が起る傾向があり、良好なコーティング層
密着化を生じることである。
−例として、窒化珪素工具基体に、四塩化チタン、窒素
或いはアンモニアのようなガス状窒素源及び水素のガス
混合物を基体周囲に約800〜1500℃、好ましくは
約1000℃の温度において流すことKより、窒化チタ
ン層を形成した。
反応は次の式により遂行される。水素は反応が還元雰囲
気で行われることを保証する為添加される。
2’[’1014+ Nll + 4Hg = 2 T
iN + 8HO1ガス混合物は所望のコーティング厚
が実現されるまで加熱された基体上に流される。特定の
ガス流量及び温度においてコーティング厚成長速度を測
定するのに日常実験が使用される。
更に別の例として、前記方法により生成された基体に斯
界で知られた化学的蒸着技術或いは物理的蒸着技術によ
り酸化アルミニウムを被覆した。
米国特許第3.914.473号に詳述される化学的蒸
着技術において、塩化アルミニウム或いは他のアルミニ
ウムハロゲン化物の気化ガスが水蒸気及び水素ガスと共
に加熱基体の周囲に流された。別法として、酸化アルミ
ニウムは、直接蒸発或いはスパッタリングのような物理
的蒸着技術により付着される。この化学蒸着反応は次の
式に従う。但し、水素ガスが還元雰囲気にて反応が行わ
れることを保証する為しばしば添加される: 2A]、01g +3 H2O= AlgOB + 6
HO1基体片は約800〜1500 ’Cの範囲の温度
にガス流通手段を備える炉内で加熱される。塩化アルミ
ニウム源は気化の為予熱されそして塩化アルミニウム蒸
気は他のガスと共KFK流送される。
所望のコーティング厚が実現されるまでガス混合物は加
熱基体周囲に流される。特定のガス流量及び温度におけ
るコーティング厚成長速度の決定は日常試験により行う
。
窒化物基体を一つ以上の密着アルぐナコーティング層で
被覆するまた別の好ましい方法において、塩化アルミニ
ウムが次の式に従って水素ガスの存在下で二酸化炭素と
反応せしめられる:2AIO16+ 300Q+ 3 
Us =A19011 + a cO+6RO1所望の
平衡ガス組成を確立する為の加熱基体周囲に流されるガ
ス混合物に一酸化炭素が随意に添加される。
この最後の方法によってアルミナコーティング付き複合
窒化珪素切削工具挿入体を作製する実施例を示す;30
容積%Tieを含有する54%Si、N4+6%Y2O
3組成物を有する複合切削工具挿入体が水素ガス雰囲気
中で約1200°Cの温度に加熱された。この温度にお
いて、70%HQ、5%CoQ、20%CO及び5%A
101gの混合物が反応室内に導入された。ガス圧が5
0トルに維持されそして2017gのガス流量が維持さ
れた。6時間後、コーティング付き工具が取出されそし
てアルミナコーティング層の厚さは走査電子顕徽鏡によ
り約2〜3ミクロンであると測定された。
また別の例として、炭化チタン或いは炭化ノ・フニウム
の好ましいコーティングは化学的蒸着により被覆される
。他の金属炭化物も化学的蒸着技術の適用が可能ならそ
れにより被覆されうるしまた直接蒸発、スパッタリング
等のような物理的蒸着技術により被覆されうる。
また別の例として、四塩化チタン、メタンのようなガス
炭素源及び水素から成るガス混合物を約800〜150
0°C1好ましくは約1000°C以上の温度に加熱し
た基体周囲に流すことにより窒化珪素基体上に炭化チタ
ン層を形成した。反応は次式による。但し、反応が還元
膠囲気中で起ることを確実にする為水素がしばしば添加
される:Tj、O14+ OH4= Tie + 4 
HOI所望のコーティング厚さが実現されるまでガス混
合物が加熱基体周囲に流される。特定のガス流量及び温
度においてコーティング厚さ成長速度を決定するのに日
常試験が使用される。
以下の例は、本発明に従う炭化チタンコーティング付き
複合窒化珪素基体切削工具挿入体の作製方法の詳細を示
す。これら例において、複合基体はマトリックス中に粒
状炭化チタンが一様に分布されている。
性ユ 炭化チタン含有複合窒化珪素基体に大気圧において炭化
チタンが被覆される。1%Tj、014 、2%OH,
及び97%H9のガス混合物が約1100℃の温度に保
持された室内に約20シ扮の流量で約2時間基体周囲に
流された。生成コーティング付き基体は約6ミクロン厚
の炭化チタンの一様な密着コーティングを有した。
何重 炭化チタン含有複合窒化珪素基体が約50トルの圧力に
おいて炭化チタンで被覆された。1%Ti014.1%
OH,及び98%H9のガス混合物が約1100℃に保
持された室内に約1oV分の流量で約6時間基体周囲に
流された。生成コーティング付き基体は約6ミクロン厚
の炭化チタンの一様な密着コーティングを有した。
ここで図面を診照すると、上記例に従って作製された切
削工具の耐磨耗特性が幾つかの他の工具のそれと比較し
て示しである。図面にプロットされたデータは、434
0i11(ブリネル硬度数280〜300)の試片を各
工具挿入体材別を使用して同等条件の下で機械加工しそ
して加工物の半径変化(ΔR)により表すものとして工
具片の磨耗速度を測定することにより得られた。
加工速度は790表面ft4(21336表面幣併)で
あり、切込は0.050インチ(0,13(i)深さで
ありそして横送り速度は0.01インチ/回転(0,O
254tx/l包転)であった。曲線は工具鼻部の磨耗
対切削時間として描かれている。グラフの縦軸は工具鼻
部磨耗のめやすとして使用される、回転加工物のみかけ
上の半径変化の単位で示されている。工具が加工物表面
を横切って切削するKつれ、加工物の半径は理論的には
元の半径−切込深さに等しい一定値にとどまるはずであ
る。ΔRの正の値は切削工具鼻部における磨耗に対応し
、切削加工物の半径のみかけ上の減少をもたらす。Δ几
の負の値は工具鼻部の変形を表す。
曲@B、D及びEは先行技術のコーティング付き接合炭
化物型切削工具を表す。曲線りは炭化チタンコーティン
グ付きのものでありそして曲線B及びEはアルミナコー
ティング付きのものに対するデータを表す。3つの場合
いずれも、曲線は横軸の下側に落ちており、工具鼻部の
変形が生じたことを示す。先に述べたように、これは、
接合炭化物が成る種の機械加工条件下で軟化する傾向が
あることに由る。
曲線人、0及びFはセラミック切削工具に対するデータ
を表す。曲線Aは、2相窒化珪素マトリ″ ツクス中に
炭化チタンを一様に分布せしめたコーティング無しの複
合窒化珪素切削工具の耐磨耗性能に対応する。この工具
は本発明に従うコーティング付き工具の基体に対応する
ものである。
曲線Cは、先行技術の炭化チタン含有複合アルミナ切削
工具に対するデータを表す。
曲線Fは本発明に従う切削工具に対応する。
本発明の炭化チタンコーティング付き複合窒化珪素切削
工具が示される工具のうちで耐磨耗性に一番優れている
。
斯くして、本発明は、先行技術の工具よりも機械加工性
及び耐磨耗性を改善された高融点金属炭化物でコーティ
ングされた複合窒化珪素基体から成る切削工具を提供す
る。
更には、方法■或いは■いずれかにより生成された複合
基体に化学的蒸着技術或いは物理的蒸着技術により高融
点金属の炭素・窒素化物のコーティングが被覆される。
例えば、好ましいコーティングとしてTt(0,N)或
いはHf(0,N)が化学的蒸着法により形成される。
別様にはL高融点金属が化学的或いは物理的蒸着技術に
より付着され、その後その金属層が窒化及び炭化される
。
例として、四塩化チタン、メタンのようなガス状炭素源
、窒素或いはアンモニアのようなガス状窒素源及び水素
から成るガス混合物を約800〜1500°C1好まし
くは約1200°Cを越える温度にある基体周囲に流す
ことにより、窒化珪素工具基体上にチタン炭素・窒素化
層を化学蒸着技術により形成した。分解アンモニアを窒
素及び水素ガスの混合物に代替しうる。反応は次の式に
従うが、反応が還元雰囲気中で起ることを保証する為水
素がしばしば添加される2 ’ri014+OH4+N= =T1(OXNy) +
 4 HOI所望のコーティング厚さが達成されるまで
加熱基体周囲にガス混合物が流される。特定のガス流量
及び温度においてのコーティング厚さ成長速度を決定す
るのに日常実験が使用される。
ガス混合物中のメタン及び窒素の量の制御は、式T 1
 (OX Ny)におけるX対yの比率が変更された複
数の層の形成を許容する。X及びyの好ましい値は、X
に対しては約0.5〜0.6そしてyに対しては約0.
4〜0.5であり、約1.0〜1.5 ノX/’Y比率
の好ましい範囲をもたらす。もつとも好ましいx/y比
率は約1.22であり、約0.55及び045のX及び
yrc対する値に対応する。
次の実施例は、本発明に従ってTi(0,N)コーティ
ング付き複合窒化珪素基体切削工具挿入体を作製する方
法を例示するものである。これら例において、複合基体
はマトリックス中に炭化チタンを一様に分布せしめたも
のである。
但ユ 約30容積%炭化チタンを含有する幾つかの複合窒化珪
素基体が炉内に置かれそして約1060°Cの温度に加
熱された。約1%Ti014.3.5%OH4,2,5
%N9及び93%H9から成るガス混合物が約2o1/
10の流量及び大気圧において約2時間基体周囲に流さ
れた。この後、Ti(0,N)コーティング付き基体が
取出されそしてコーティング厚さは走査電子類vlCに
より測定して約8ミクロンと測定された。コーティング
の組成分析からそれが約1.1のC/N比を持つことが
判った。
例4 約30容積%炭化チタンを含有する幾つかの複合窒化珪
素基体が約50トルの圧力において処理したことを除い
て例3と同じ条件でコーティングされた。約0.5%T
i114.1.5%CH4,2%N2及び96%H2の
組成のガス混合物が使用された。
約1060°Cでの2時間の処理後、基体は10ミクロ
ン以下の厚さのコーティングを有し、約11の〈〕/N
比を有した。
上記例3及び40工具について先に例1及び2と関連し
て図面に示したのと同じ耐磨耗試4験を行った。上記工
具は先の曲線Fと同じ挙動を示した。
従って図示は省略する。
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明の精
神内で多くの改変を為しうることを銘記されたい。
図面は本発明に従う工具(F)の耐磨耗性を先行技術の
工具の結果と併せて示すグラフである。
第1頁の続き 優先権主張 @1982年5月20日■米国(US)■
380380 ■1982年5月20日■米国(US)■380379

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ! (1,! X & −一と少くとも1つのコーティ
    ング層とから成るコーティング付き複合セラミック切削
    工具であって、前記基体が、実質上、窒化珪素から成る
    第1相と、窒化珪素及び有効量の酸化イツトリウム、酸
    化ハフニウム、ランク品ド希土類酸化物及びその混合物
    を含む高融点第2相とから成るマトリックスに高融点第
    2相を一様に分布して実質上成り、そして前記コーティ
    ング層が高融点物質から実質上成る前記コーティング付
    きセラミック切削工具。 2)高融点物質コーティングが、窒化チタン、窒化バナ
    ジウム、窒化りpム、窒化ジルコニウム、窒化ニオブ、
    窒化モリブデン、窒化ハフニウム、窒化タンタル及び窒
    化タングステンから成る群から選択される特許請求の範
    囲第1項記載の工具。 3)高融点金属窒化物コーティングが窒化チタン或いは
    窒化ハフニウムから成る特許請求の範囲第1項記載の工
    具。 4)高融点物質コーティングが、炭化チタン、炭化バナ
    ジウム、炭化クロム、炭化ジルコニウム、炭化ニオブ、
    炭化モリブデン、炭化ハフニウム、炭化タンタル及び炭
    化タングステンから成る群から選択される特許請求の範
    囲第1項記載の工具。 5)高融点物質コーティングが炭化チタン或いは炭化ハ
    フニウムである特許請求の範囲第1項記載の工具。 リ 高融点物質コーティングがTi(0,N)、V(0
    ,N)、Or (a =N)、Zr (0,N)、nb
     (0、N)、Mo(0,N)  、Hf(0,N)、
    Ta(0,N)及びW(0,N)から成る群から選択さ
    れる特許請求の範囲第1項記載の工具。 1)高融点物質コーティングが+r1(o 、N)或い
    はHf(0,N)である特許請求の範囲第1項記載の工
    具。 8)コーティング層が実質上酸化アルミニウムから成る
    特許請求の範囲第1項記載の工具。 9)コーティング層が約0.1〜10ミクロンの範囲の
    厚さを有する特許請求の範囲第1項記載の工具。 lリコーティング層が約1.0〜10ミクロンの範囲の
    厚さを有する特許請求の範囲第1項記載の工具。 11)硬質高融点材料が、チタン、バナジウム、クロム
    、ジルコニウム、ニオブ、モリブテン、ハフニウム、タ
    ンタル及びタングステ/及びその混合物の炭化物、窒化
    物、炭素・窒素化入物及びその固溶体から選択される特
    許請求の範囲第1項記載の工具。 12)硬質高融点材料が、炭化チタン、窒化チタン、チ
    タン炭素・窒素化物、炭化ノ・フニウム、窒化ハフニウ
    ム、及びハフニウム炭素・窒素化物から成る群から選択
    される特許請求の範囲第1項記載の工具。 13)硬質高融点物質の平均粒寸が約0.5〜20ミク
    ロンの範囲である特許請求の範囲第1項記載の工具。 14)硬質高融点物質の平均粒寸が約5ミクロ/より小
    さい特許請求の範囲第1項記載の工具。 15)硬質高融点物質が約60容積%までの量において
    基体中に存在する特許請求の範囲第1項記載の工具。 16)硬質高融点物質が約15〜50容積%の範囲の量
    において基体中に存在する特許請求の範囲第1項記載の
    工具。 17)硬質高融点物質が約20〜40容積%の範囲の量
    において基体中に存在する特許請求の範囲第1項記載の
    工具。 18)金属酸化物が、酸化マグネシウム、酸化イツトリ
    ウム、酸化ジルコニウム、酸化ノ・フ= ウA、ランタ
    ニド希土類酸化物及びその混合物から選択される特許請
    求の範囲第1項記載の工具。 19)金属酸化物が酸化イツ) IJウム或〜・は酸化
    /%フニウムである特許請求の範囲第1項記載の工具。 20)二酸化珪素及び金属酸化物が2相マ) リツクス
    の約1〜25重量襲の範囲の合計量におX、1て存在す
    る特許請求の範囲第1項記載の工具。
JP58086732A 1982-05-20 1983-05-19 コ−テイング付き複合窒化珪素切削工具 Pending JPS58211862A (ja)

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