JPS58215899A - 静電形電気音響変換器用振動板およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、マイクロホンやヘッドオンのスピーカユニ
ット等に用いる靜鑞形電気音響変換用振動板およびその
製造方法に関するものである。

〔発明の技術的背景吉その問題点］ 撮動板を２枚の固定電極の間に設けてなる静電形屯気音
響変換器は、従来から例えばヘッドホン用スピーカユニ
ットとして実用化されていた。

第１図はこれを変換部のみに注目して構成した場合を示
すものである。図示のように、撮動膜１はその片側のフ
レーム２に付着され、振動膜１の両側にはフレーム２お
よびスペーサ３を介して２枚の固定電極４ａ、４ｂがそ
れぞれ対向して配設されている。固定電極４ａ、　４ｂ
はそれぞれ金属板４ａＩ、エレクトレット１１４ａｔお
よび金属板４ｂ８．エレクトレット層４ｂ２によって構
成されている。なお図中５はケースを示している。

第２図は撮動板の部分を抽出して示したもので。

図示のようｌＣ撮動膜１はフレーム２に張設されている
が、フレーム２は振動膜１の片面にのみ設け。

られている。

このようなスピーカユニットにおいて、振動膜１と固定
電極４ａ　、４ｂの間隔はフレーム２およびスペーサ３
によって決定されるので１間隔を精度高く維持できる特
長がある。吉ころが、どのような構成により撮動膜１と
固定電極４ａ、４ｂとの間隙を小さくして感度のよい変
換器を得ようとすると。

新たな問題が起きてくる。

すなわち、撮動膜１と固定電極４ａ、４ｂの間隙を小さ
くしようとすると、フレーム２およびスペーサ３の厚み
をそれに応じて薄く丈る必要があり。

フレーム２を薄くすると機械的強度が低Ｔして組立て時
にフレーム２が反りかえり、次のような欠点が生じてい
た。

（１）撮動膜１が剥がれやすく不良となるだけでなく張
力が変化しやすいので性能が安定せずバラツキが多い。

（２）組立てが難しく特に自動組立てが困難である。

（３）　　フレーム２が反っているので、撮動板の保管
。

運搬時に振動ｌ摸１を傷めやすい。

したがって、このような振動板を用いて振動膜と固定電
極の間隔を小さくするこ乏は困難であった。例えば外径
力（１４ｍｍのマイクロオンに適用しようきすると、フ
レームの厚みは０．５’ｍｍ　：程度にせざるを得す、
このため撮動膜と固定電極の間隙が９．５ｍｍ以上にな
るので、感度が低下するなどの事情から実用化が阻まれ
ていた。

〔発明の目的〕

この発明は上記の事情に基づきなされたもので。

振動膜と固定電極との間隙を小さくするこきができ感度
並びの性能のよいものを容易にしかも低価格で得ること
のできる静心形を気音弾変換器用振動板およびその製造
方法を提供しようとするものである。

〔発明の概要〕

この発明の実情方法は、リング状フレームに撮動膜を張
設して構成するのではなく１合成樹脂膜を挾みその両面
に金属板を付着させた後、エツチング加工によりフレー
ム七なる部分を残してこれらの金属板の一部を両側から
取り去り露出した合成樹脂嘆の部分を振動部として用い
ることを特徴としている。

またこれによって得られた振動板は、金属製の１対のフ
レームの間に１合成樹脂製の振動膜が張力の比較的低い
状態でかつ厚さが略均−に挾持されている点に特徴があ
る。

〔発明の効果〕

この発明の方法によれば１合成樹脂膜の両＋Ｎｉに金属
板を付着させた後エツチング加工によりフレームを形成
するものであるから、電気音響変換器を構成した場合に
振動膜吉固定或極吉の間隙を小さくすることができ、そ
の感度を高めることのできる長Ｊ訴がある。

またこのように間隙が小さいことにより、撮動膜の振動
の際空気の粘性抵抗を利用して特に高域における周波数
特性を改善することができる。

この発明によって得られた撮動板は、１対のフレームの
間に振動板が張力の小さい状ｂｌ　’７Ｘ　シかも厚さ
が略均−の状態で支持されているので、振動膜のスチフ
ネスを小さくすることができこの点から低域特性の改善
を計ることができる。またこの発明の方法は、各工程と
も容易でかつ自動化に適した手段を採用しているので着
岸性に優れ安価に性能のよい振動板を提供できる利点も
ある。

〔発明の実施例〕

以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。

・′菖３図（ａ）において１１は振動体となる合成樹脂
膜であり、その両側にフレームとなる金［板１２ａ、　
１２ｂが配置されている。これらを合成樹脂膜１工の融
点付近まで加熱するとともに両側より加圧することによ
り同図ｔｂ＋に示すように合成樹脂膜１１の両面に金属
板１２ａ、１２ｂを付着させる。

第３図（Ｃ１に示すようにフレームとして残す部分の表
面をレジストＩｆｆ　１３ａ　＊１３ｂで蔽い、この状
態でエツチングを行なうと、同図（ｄ）に示すようにレ
ジストＩ＃１３ａ　、１３ｂでマスクされなかった金層
板１２ａ。

１２ｂの部・分は腐蝕されてフレーム１２ａ′および１
２ｂ′峨 フ）（形成さ＼るとともに振動部１１′となる合成樹脂
膜１１が露出する。そこで、第１図（ｅ）に示すように
レジスト層ｉａａ、　１３ｂを取り除き、さらに外形を
適宜の形状に切１＠すれば、同図ｆｆ）に示すような振
動板を得ることができる。必要があれば、第１図（ｅ）
またはげ）の段階で合成樹脂１漢１の片面もしくは両面
に導電処理をほどこす。

第１図ｆｇｌはかくして得られた振動板の平面図を示丈
ものであり、＠４図はその斜１児図を示している。

このようにして撮動板を作ると、合成樹脂＋１１４１１
の両面に金属板１２ａ、１２ｂを付着させる時に合成樹
脂ｔｅ工１の張力が決まり、これにより結果として１辰
動板のスチフネスが決定される。会）戊樹脂嘆１１と金
属板１２ａ　、１２ｂの結合は１合成樹脂１漢の両側に
金属板１２ａ、１２ｂを添わして配置し加熱、加圧する
だけでよいので、合成樹脂膜１１に殆んど張力を加える
ことなく付着させるこ七ができる。したがって、この方
法によればスチフネスの極めて小さい撮動板を容易に得
るこ七ができる。

またこの方法は合成樹脂１漢１１および金属板１２ａ。

１２ｂヲ用い、エツチングによりフレーム１２ａ；　１
２ｂ’および合成４＃脂模１１の振動部１１′を形成Ｃ
るものであり、エツチングは金属板１２ａ、１２ｂのみ
を対象として行なりＣいるので厚さの均一な撮動部１１
’を容易に得られる特長がある。

したがって、前述したスチフネスの小さなものを容易に
得られる点と相まって、製造が容易であり、しかも感１
（並びに性能の優れた振動板を得ることができる。

さらに、この方法は１合成樹脂１摸１１に金属板１２ａ
、１２ｂを付着ｒる工程、金属板１２ａ、１２ｂの一部
をエツチングにより取り除く工程に加え、プレスにより
切断する工程のいずれもが大数生産に適しＣいるので、
減産性に優れ、製造価格の低減を計ることができる。

第５図はこの発明によって得られた振動板を用いて静′
は型プツシープル′１気音響変換器を構成した場合を示
している。図において、１４ａは金属板１４ａ＋＋　エ
レクトレットＩａ　１４ａ、よりなる固定電極。

１４ｂは金属板１４ｂ、、エレクトレット層１４ｂ２よ
りなる固定電極、１５はケースを示している。なお他の
部分は第３図および第４図と同一であるから。

対応する部分に同一符号を付し説明を省略する。

このような電気音響変換器においては１合成樹脂膜１１
を挾持するフレーム１２ａ’、　１２ｂ’の厚さを薄く
することができるので、振動部１１′と固定電極１４ａ
１４ｂの間隙を小さくすることができろ。したがって（
気を４１変鴎器の感度を高めることができるだけでなく
、振動部１１’と固定′電極１４ａ、１４ｂの間の空気
層の厚さが薄いことにより撮動部１１′の変位にともな
いこの部分の空気の粘性抵抗により、特に高域の共振点
で生じる周波数特性上のピークを抑制し特性を向上し得
る効果がある。

また、この撮動板は１４図に示すように振動部１１′の
両面にフレーム１２ａ’、１２ｂ’があることにより保
護され、調造工程における運・殿や保管の際に振動部１
１′を傷めることが少ない。また振動板には表裏がない
ので＋　ｔｔ気副響変換器の組立てに際して表裏を違え
るというようなミスを防ぐことができる。また同様の理
由で、自動組立に適しく辰動板の製造につき前述した点
と相まって曖産化を一層助長することができる。

さらに、靜成形電気鋒響変換器を小形化する場合、振動
板の直径が必然的に小さくなるので、振動部の張力を緩
くしないと’１３気叶響変換器の低域特性が悪くなりが
ちであるが、この発明による撮動板は前述したように振
動部の張力の小さいものを得られるので、低域特性のよ
い小型のべ気仔響変換器を容易に実現できる利点もある
。

なお、この発明は上記実施例に限定されるものではなく
要旨を変更しない範囲において種々変形して実施ｒるこ
とができる。

例えば上記実施例においては１対の金属板を合成樹脂膜
に付着するのに、加熱、加圧による手段を用いているが
、これは同等の他の手段によってもよく、簡易なものと
して接着剤による付着を用いることもできる。

また、上記実施例では主として円形撮動板の場合につい
て述べたが、これは池の形状を採用しても差し支えなく
１例えば性能向上のために不規則な多角形とすることも
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の振動板を用いた靜′＋１形プッシュプル
鑞気音響変換器の一例の断面図、・、套２図は従来の撮
動板の一例の斜視図、第３図はこの発明の製造方法の一
実施態様を示す説明図、第４図はこれによって得られた
振動板の斜視図、第５図はこの撮動板を用いて構成した
静電形プッシュプル電気音響変換器の断面用である。 １・・・ｍ　、＠　ＩＩＩ　　　　　　２・・・フレー
ム３・・・スペーサ　　　４ａ　、　４ｂ・・・固定電
極４ａ、　４ｂ、　　・・・金属板　　４８！＊４ｂ！
　　・・・エレクトレット層５・・・ケース １１・・・合成樹脂８Ｍｔ２ａ　、ｔｚｂ・・・金属板
１１′・・・４騒動部　　　　１２ａ’、１２ｂ’・・
・フレーム１３ａ、　１３ｂ・・・レジスト層　１４ａ
、　１４ｂ・・・固定電極”ａ＋　ｐ　１４ｂ、　　、
、、金属板　１４ａｔ　ｇ　ｉ、ｉｂ、　”＋　エレク
トレット層１５・・・ケース 外１名てｉ−２早士１ 第１図　　　　　　（ａ） （Ｃ） 第２図 第３図 ド

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）合成樹脂膜を挾みその両面に金属板を付着させる
   工程と、これらの金属板の一部をフレームとなる部分を
   残してエツチング加工により両側から前記合成樹脂膜が
   露出するまでそれぞれ取りさる工程とを含み、前記合成
   樹脂膜の露出した部分を振動部とすることを特徴とする
   静電形成気音舞変換器用振動板の製造方法。
2. （２）　　合成樹脂膜の溶融点付近まで加熱し加圧する
   ことにより前記合成樹脂膜の両面に金属板を付着させる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の静電形電
   気音響変換器用撮動板の製造方法。
3. （３）　　接着により合成樹脂膜の両面に金属板を付着
   させることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の静
   電形電気音響変換器用振動板の製造方法。
4. （４）　　合成樹脂膜として熱可塑性のものを用いたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項のい
   ずれかに記載した静電形電気音響変換器用振動板の製造
   方法。
5. （５）　　金属製の１対の支持用フレームと、これらの
   フレームの間に挾持された合成樹脂膜よりなる振動部と
   を備え、この振動部は張力の比較的低い状態で支持され
   かつ厚さが略均−に形成されていることを特徴とする静
   電形電気音響変換器用振動板。