JPS5821809U - 平面度観測装置 - Google Patents

平面度観測装置

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Publication number
JPS5821809U
JPS5821809U JP11524381U JP11524381U JPS5821809U JP S5821809 U JPS5821809 U JP S5821809U JP 11524381 U JP11524381 U JP 11524381U JP 11524381 U JP11524381 U JP 11524381U JP S5821809 U JPS5821809 U JP S5821809U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
polygon mirror
rotating polygon
observation device
flatness
Prior art date
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Pending
Application number
JP11524381U
Other languages
English (en)
Inventor
隆夫 森本
寿夫 渡部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP11524381U priority Critical patent/JPS5821809U/ja
Publication of JPS5821809U publication Critical patent/JPS5821809U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す光学系統図、第２図
はこの考案の装置による測定例を示すものであり、第２
図ａは被測定面の一例を示す斜視図、第２１１Ｑｂはこ
の被測定面により得られる観測光の平面図である。 １・・・レーザ、２・・・第一の回転多面鏡、３・・・
第一の回転多面鏡の回転軸、６・・・第二の回転多面鏡
、７・・・第二の回転多面鏡の回転軸、ト・・平行スリ
ット（光切断器）、９・・・第一の結像レンズ（レンズ
系）、１１・・・第二の結像レンズ（レンズ系）、１３
・・・被測定面、１７・・・写真フィルム（観測面）、
１８・・・拡散板（観測面）。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）指向性を有する光を第一の回転多面鏡に照射して
    反射光を直線化し、該直線化した光を前記第一の回転多
    面鏡の回転軸に対し直交した回転軸を有する第二の回転
    多面鏡に照射して反射光、を面の光とし、該面の光を光
    切断器を介して複数の帯状の光に変換し、該帯状の光の
    幅および間隔を変えるレンズ系を配設し、該レンズ系を
    通過した帯状の光の光路に対して被測定面を垂直に配設
    し、該被測定面で反射した光を観測面に投影して図形化
    を図ったことを特徴とする平面度観測装置。
  2. （２）指向性を有する光はレーザ光であることを特徴と
    する実用新案登録請求の範囲第１項記載の平面度観測装
    置。
JP11524381U 1981-08-04 1981-08-04 平面度観測装置 Pending JPS5821809U (ja)

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JP11524381U JPS5821809U (ja) 1981-08-04 1981-08-04 平面度観測装置

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JP11524381U JPS5821809U (ja) 1981-08-04 1981-08-04 平面度観測装置

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Publication Number Publication Date
JPS5821809U true JPS5821809U (ja) 1983-02-10

Family

ID=29909510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11524381U Pending JPS5821809U (ja) 1981-08-04 1981-08-04 平面度観測装置

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