JPS5822242U - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ、　Ｂは、従来の研磨装置の側断面図および平
断面図。第２図、第３図、第４図Ａ、　Ｂは、それぞれ
本考案の実施例の側断面図、平面図およびパフ部の斜視
図。第５図ａ、　　ｂ、　　ｃ、　ｄ、　　ｅは、本考
案の第２の実施例の研磨動作を示す側面図。 １・・・・・・研磨ロール、２・・・・・・板、３・・
・・・・バックアップローラ、４・・・・・・送りロー
ラ、５．５’・・・・・・部分研磨パフ、６．　６’・
・・・・・部分研磨パフシャフト、７．７′・・・・・
・部分バックアップローラ、８・・・・・・部分送りロ
ーラ、９・・・・・・ガイド板、１θ・・・・・・検出
器。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）輪切り状の部分研磨パフを一定ピッチで配列させ
   た部分研磨パフシャフトと、部分研磨パフの幅以上の幅
   を有し、細部分研磨パフと対向した位置に配列した輪切
   り状の部分バックアップローラと、部分研磨パフ及び部
   分バックアップローラの部分のみ開口して、上下対向配
   置させたガイド板とを有することを特徴とする研磨装置
   。
2. （２）前記部分研磨パフシャフトが上下動することを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の研磨装置
   。