JPS5822728B2 - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
- Publication number
- JPS5822728B2 JPS5822728B2 JP50034479A JP3447975A JPS5822728B2 JP S5822728 B2 JPS5822728 B2 JP S5822728B2 JP 50034479 A JP50034479 A JP 50034479A JP 3447975 A JP3447975 A JP 3447975A JP S5822728 B2 JPS5822728 B2 JP S5822728B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- deflector
- light
- lens
- prism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光走査装置に関するものである。
例えば走査形顕微鏡において光走査した被検試料の像を
モニタースコープ上に再生しようとする場合、モニター
スコープを駆動するためには光走査と同期した信号が必
要となる。
モニタースコープ上に再生しようとする場合、モニター
スコープを駆動するためには光走査と同期した信号が必
要となる。
例えば走査光を作るために平面反射鏡を用い、これを振
動させるときは、平面反射鏡を駆動する電気信号から同
期信号を容易に取出すことができる。
動させるときは、平面反射鏡を駆動する電気信号から同
期信号を容易に取出すことができる。
しかし、偏向器として回転多面鏡を用いる場合には、回
転多面鏡を回転させる電気信号から同期信号を取出すこ
とはできない。
転多面鏡を回転させる電気信号から同期信号を取出すこ
とはできない。
そこで本願人は先に出願した特願昭４９−１９８１７０
号において走査光を作る偏向器を１駆動する電気信号か
ら同期信号を取出せないような場合にも、光走査に正確
に同期した信号を取出すことができる方法を提案した。
号において走査光を作る偏向器を１駆動する電気信号か
ら同期信号を取出せないような場合にも、光走査に正確
に同期した信号を取出すことができる方法を提案した。
この方法は、光走査される面あるいはこの光走査面と光
学的に共役な面の端部における走査光の一部を光電素子
に入射させ、光電素子から光走査に同期した信号を発生
させるようにしたもので、第１図にその一例を示す。
学的に共役な面の端部における走査光の一部を光電素子
に入射させ、光電素子から光走査に同期した信号を発生
させるようにしたもので、第１図にその一例を示す。
第１図において光源１はレーザ光のような平行・光ビー
ムを放射する。
ムを放射する。
本例では第１偏向器２として回転多面鏡を用い、これを
回転させることによって光源１からの光ビームを水平方
向に偏向させる。
回転させることによって光源１からの光ビームを水平方
向に偏向させる。
第１の回転多面鏡偏向器２で反射され、偏向された光ビ
ームを等倍アフォーカルレンズ系３゜４を通して第２偏
向器５に入射させ、この第２偏向器５として振動反射鏡
あるいは回転多面鏡を用いこれを振動あるいは回転させ
て入射光ビームを垂直方向に偏向させる。
ームを等倍アフォーカルレンズ系３゜４を通して第２偏
向器５に入射させ、この第２偏向器５として振動反射鏡
あるいは回転多面鏡を用いこれを振動あるいは回転させ
て入射光ビームを垂直方向に偏向させる。
このように等倍アフォーカルレンズ系３，４を介挿する
ことにより、第１１および第２の偏向器を離間させるこ
とができると共に第２偏向器５を小形とすることができ
、更に偏向された光ビームは平行光ビームとなり、しか
も正確に二次元的に偏向されたものとなる。
ことにより、第１１および第２の偏向器を離間させるこ
とができると共に第２偏向器５を小形とすることができ
、更に偏向された光ビームは平行光ビームとなり、しか
も正確に二次元的に偏向されたものとなる。
このように偏向器２及び５により水平及び垂直方向に１
偏向された光ビームはリレーレンズ６を介して走査面７
上に集光され、走査面７を二次元的に走査する。
偏向された光ビームはリレーレンズ６を介して走査面７
上に集光され、走査面７を二次元的に走査する。
この走査面７の端部に三角プリズム８を配置し、図に示
すように、これが走査光９の一部で各走査の度に走査さ
れるようにし、この走査光の一部を三角プリズム８で反
射させ、レンズ１０で集光した後光電素子１１に入射さ
せる。
すように、これが走査光９の一部で各走査の度に走査さ
れるようにし、この走査光の一部を三角プリズム８で反
射させ、レンズ１０で集光した後光電素子１１に入射さ
せる。
したがって光電素子１１からは走査光９が三角プリズム
８を通過する度に信号が発生されることになる。
８を通過する度に信号が発生されることになる。
この信号はパルス状となり、光走査と同期したものとな
るから、走査光９で光走査した物体の像をモニタースコ
ープ上に再生する際の同期信号として使用することがで
きる。
るから、走査光９で光走査した物体の像をモニタースコ
ープ上に再生する際の同期信号として使用することがで
きる。
しかし、この方法では走査面７の端部をオｕ用するもの
であるため、実際に必要な走査部分より広い範囲を走査
する必要が生じ、このように広い走査範囲を必要とする
場合には光学系に負担がか５す、とくにレンズ６を相当
広画角のものとする必要があり、その設計製作が困難と
なる欠点がある。
であるため、実際に必要な走査部分より広い範囲を走査
する必要が生じ、このように広い走査範囲を必要とする
場合には光学系に負担がか５す、とくにレンズ６を相当
広画角のものとする必要があり、その設計製作が困難と
なる欠点がある。
本発明の目的は走査光を作る偏向器を駆動する電気信号
から同期信号を取出せない場合にも光走査に正確に同期
した信号を光学系に負担をかけることなく容易に取出す
ことができるようにした光走査装置を提供せんとするに
ある。
から同期信号を取出せない場合にも光走査に正確に同期
した信号を光学系に負担をかけることなく容易に取出す
ことができるようにした光走査装置を提供せんとするに
ある。
本発明先走装置は第１走査方向を走査するための回転多
面鏡よりなる第１偏向器と、該第１偏向器からの反射光
を、第１走査方向と垂直方向、即ち第２走査方向を走査
するように配置された第２偏向器と、前記第１及び第２
偏向器間に、第１偏向器側から第１及び第２のレンズを
配置した等倍アフォーカルレンズ系と、前記第１と第２
のレンズ間であって、第１のレンズの焦点位置に配置さ
れたプリズムと、光ビームの一部を前記プリズムを介し
て受光するように配置された光電素子と、第２偏向器か
ら反射した光を入射させるように配置されたリレーレン
ズとからなることを特徴とする。
面鏡よりなる第１偏向器と、該第１偏向器からの反射光
を、第１走査方向と垂直方向、即ち第２走査方向を走査
するように配置された第２偏向器と、前記第１及び第２
偏向器間に、第１偏向器側から第１及び第２のレンズを
配置した等倍アフォーカルレンズ系と、前記第１と第２
のレンズ間であって、第１のレンズの焦点位置に配置さ
れたプリズムと、光ビームの一部を前記プリズムを介し
て受光するように配置された光電素子と、第２偏向器か
ら反射した光を入射させるように配置されたリレーレン
ズとからなることを特徴とする。
図面につき本発明を説明する。
第２図は本発明による光走査装置の一例を示し、図中第
１図と対応する素子は第１図と同一の符号で示す。
１図と対応する素子は第１図と同一の符号で示す。
本例では同期信号取出し用光電素子１２を必要に応じプ
リズム１３を介して第１偏向器２の後方で光ビームが集
光する位置、即ちレンズ３の焦点に配置する。
リズム１３を介して第１偏向器２の後方で光ビームが集
光する位置、即ちレンズ３の焦点に配置する。
このように配置すると、第１偏向器２で水平方向に偏向
された各光ビーム１４の１部：が光電素子１２に入射す
るので、これに同期した同期信号が得られる。
された各光ビーム１４の１部：が光電素子１２に入射す
るので、これに同期した同期信号が得られる。
したがって、レンズ６は必要な走査範囲のみを満足する
画角があれば充分で、第１図に示す先願の方法のように
レンズ６を不必要に広画角にする必要がない。
画角があれば充分で、第１図に示す先願の方法のように
レンズ６を不必要に広画角にする必要がない。
また、プリズム１３を介して受光素子１２で受光する偏
向器２で偏向された各水平走査光ビーム１４は常に略々
同一位置に発生するため、受光素子１２及びプリズム１
３を第１図の先願の方法に・比べて著しく小さくするこ
とができる。
向器２で偏向された各水平走査光ビーム１４は常に略々
同一位置に発生するため、受光素子１２及びプリズム１
３を第１図の先願の方法に・比べて著しく小さくするこ
とができる。
更に、受光素子１２をレンズ３の焦点に配置するため、
極めてきれいな波形の同期信号が得られると共に、第１
図の先願の方法のようにプリズム８で反射された光を受
光素子１１に集光させるレンズ１０を設ける必要がない
。
極めてきれいな波形の同期信号が得られると共に、第１
図の先願の方法のようにプリズム８で反射された光を受
光素子１１に集光させるレンズ１０を設ける必要がない
。
第１図は特願昭４９−９８１，７０号に記載されている
同期信号取出し方法の一例を示す線図、第２図は本発明
光走査装置の一例を示す線図である。 １・・・・・・光源、２・・・・・・第１偏向器、３，
４・・・・・・等倍アフォーカルレンズ系、５・・・・
・・第２偏向器、７・・・・・・走査面、１２・・・・
・・光電素子、１３・・・・・・三角プリズム、１４・
・・・・・水平走査光ビーム。
同期信号取出し方法の一例を示す線図、第２図は本発明
光走査装置の一例を示す線図である。 １・・・・・・光源、２・・・・・・第１偏向器、３，
４・・・・・・等倍アフォーカルレンズ系、５・・・・
・・第２偏向器、７・・・・・・走査面、１２・・・・
・・光電素子、１３・・・・・・三角プリズム、１４・
・・・・・水平走査光ビーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 第１走査方向を走査するための回転多面鏡よりなる
第１偏向器と、 該第１偏向器からの反射光を、第１走査方向と垂直方向
、即ち第２走査方向を走査するように配置された第２偏
向器と、 前記第１及び第２偏向器間に、第１偏向器側から第１及
び第２のレンズを配置した等倍アフォーカルレンズ系と
、 前記第１と第２のレンズ間であって、第１のレンズの焦
点位置に配置されたプリズムと、光ビームの一部を前記
プリズムを介して受光するように配置された光電素子と
、 第２偏向器から反射した光を入射させるように配置され
たリレーレンズとからなることを特徴とする光走査装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50034479A JPS5822728B2 (ja) | 1975-03-24 | 1975-03-24 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50034479A JPS5822728B2 (ja) | 1975-03-24 | 1975-03-24 | 光走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS51109848A JPS51109848A (en) | 1976-09-29 |
| JPS5822728B2 true JPS5822728B2 (ja) | 1983-05-11 |
Family
ID=12415375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50034479A Expired JPS5822728B2 (ja) | 1975-03-24 | 1975-03-24 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5822728B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0352211A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層セラミックコンデンサ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4940832A (ja) * | 1972-08-25 | 1974-04-17 |
-
1975
- 1975-03-24 JP JP50034479A patent/JPS5822728B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0352211A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層セラミックコンデンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS51109848A (en) | 1976-09-29 |
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