JPS582374A - 気相光化学反応方法 - Google Patents
気相光化学反応方法Info
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- JPS582374A JPS582374A JP10177881A JP10177881A JPS582374A JP S582374 A JPS582374 A JP S582374A JP 10177881 A JP10177881 A JP 10177881A JP 10177881 A JP10177881 A JP 10177881A JP S582374 A JPS582374 A JP S582374A
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
気相光化学反応の増感用ガスとして最も一般的に用いら
れているのは、水銀蒸気である。しがし水銀蒸気が光化
学反応容器内がら外部に排出される場合に、有害ガス及
び有害物として公害の原因となる場合がある。
れているのは、水銀蒸気である。しがし水銀蒸気が光化
学反応容器内がら外部に排出される場合に、有害ガス及
び有害物として公害の原因となる場合がある。
また、気相光化学反応の増感用ガスとして、従来、水銀
以外のものとして用いられていた低級炭化水素（メタン
、エタン等）、アセトン等は、気相光化学反応が一般に
低圧中で行なわれるため、気相光化学反応炉を減圧する
ための真空ポンプの油中に上記低級炭化水素やアセトン
が含有されるため、これら増感剤が例え極めて小量真空
ポンプ油に含まれたとしても、真空ポンプ油の劣化が著
しいという欠点がある。
以外のものとして用いられていた低級炭化水素（メタン
、エタン等）、アセトン等は、気相光化学反応が一般に
低圧中で行なわれるため、気相光化学反応炉を減圧する
ための真空ポンプの油中に上記低級炭化水素やアセトン
が含有されるため、これら増感剤が例え極めて小量真空
ポンプ油に含まれたとしても、真空ポンプ油の劣化が著
しいという欠点がある。
本発明は、これら従来の気相光化学反応増感剤の欠点を
なくした増感剤を提供することにあり、その目的は、無
公害で且つ真空ポンプ油の劣化の少ない気相光化学反応
増感剤を提供することにある。
なくした増感剤を提供することにあり、その目的は、無
公害で且つ真空ポンプ油の劣化の少ない気相光化学反応
増感剤を提供することにある。
上記目的を達成するための本発明の基本的な構成は、気
相光化学反応の増感用ガスとして、水銀、低級炭化水素
化合物、アセトン等のガス体を除くジアジド、７レオン
等のガス体とすることを特徴とする。
相光化学反応の増感用ガスとして、水銀、低級炭化水素
化合物、アセトン等のガス体を除くジアジド、７レオン
等のガス体とすることを特徴とする。
以下、実用例をもとに、本発明を説明する。
表 １
表１は、本発明の一例として用いたジアジド光感光剤の
種類とその感光特性等を示したもので、これらの増感剤
を融点以上に加熱することにより簡単にガス状増感剤と
して供することができる。
種類とその感光特性等を示したもので、これらの増感剤
を融点以上に加熱することにより簡単にガス状増感剤と
して供することができる。
上記増感剤以外のその他のガス状増感剤として、ＯＨＦ
β、ＯＦｓ等のフレオン・ガス自体も増感作用を有して
いる。
β、ＯＦｓ等のフレオン・ガス自体も増感作用を有して
いる。
これらジアジドやフレオン・ガス等はいずれも公害が少
なく、且つ真空ポンプ油中に入っても真空ポンプ油の劣
化が少ないという効果がある。
なく、且つ真空ポンプ油中に入っても真空ポンプ油の劣
化が少ないという効果がある。
上記発明は、水銀、低級炭化水素化合物、アセトン等の
ガス体の増感剤以外の有害なガス状増感剤は含まれるも
のではない。
ガス体の増感剤以外の有害なガス状増感剤は含まれるも
のではない。
以 上
出願人 株式会社諏訪精工舎
代理人 弁理士 最上 務
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 気相光化学反・応の増感用ガスとして、水銀、低級
炭化水素化合物、アセトン等のガス体を除く化合物のガ
ス体とすることを特徴とする気相光化学反応増感剤。 ２、 気相光化学反応の増感用ガスとして、ジアジドの
ガス化体を用いることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の気相光化学反応増感剤。 ３ 気相光化学反応の増感用ガスとして滓化炭素（７レ
オン）系ガスを用いることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の気相光化学反応増感剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10177881A JPS582374A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 気相光化学反応方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10177881A JPS582374A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 気相光化学反応方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS582374A true JPS582374A (ja) | 1983-01-07 |
| JPS6411711B2 JPS6411711B2 (ja) | 1989-02-27 |
Family
ID=14309651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10177881A Granted JPS582374A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 気相光化学反応方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582374A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01301865A (ja) * | 1988-05-30 | 1989-12-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜成長方法および薄膜成長装置 |
-
1981
- 1981-06-29 JP JP10177881A patent/JPS582374A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01301865A (ja) * | 1988-05-30 | 1989-12-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 薄膜成長方法および薄膜成長装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6411711B2 (ja) | 1989-02-27 |
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