JPS582465B2 - 圧力変換器の製造法 - Google Patents
圧力変換器の製造法Info
- Publication number
- JPS582465B2 JPS582465B2 JP52068092A JP6809277A JPS582465B2 JP S582465 B2 JPS582465 B2 JP S582465B2 JP 52068092 A JP52068092 A JP 52068092A JP 6809277 A JP6809277 A JP 6809277A JP S582465 B2 JPS582465 B2 JP S582465B2
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- JP
- Japan
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- pressure transducer
- manufacturing
- insulating organic
- diaphragm
- metal
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属または半導体ひずみゲージ材刺を用いた圧
力変換器の製造法に関するものである。
力変換器の製造法に関するものである。
従来、金属または半導体ひずみゲージを用いた圧力変換
器は第１図に示すように可撓性のある有機物基板３上に
ひずみゲージとなる材刺４を蒸着し、その後ダイアフラ
ム１上に接着剤を片１いて接着して、圧力変換器を形成
していた。
器は第１図に示すように可撓性のある有機物基板３上に
ひずみゲージとなる材刺４を蒸着し、その後ダイアフラ
ム１上に接着剤を片１いて接着して、圧力変換器を形成
していた。
なお２は接着材層、５は電極、６はリード線、７は増幅
器である。
器である。
この様な変換器では接着材層２の厚さむらや、接着材層
２に存在する残留気泡等の影響によりダイアフラムのひ
ずみとひずみゲージの出力が対応せず直線性やバラツキ
が多くなり、実用上多くの問題を生じていた。
２に存在する残留気泡等の影響によりダイアフラムのひ
ずみとひずみゲージの出力が対応せず直線性やバラツキ
が多くなり、実用上多くの問題を生じていた。
本発明はこのような欠点を除去し、量産性のある庄力変
換器の製造法を提案するものである。
換器の製造法を提案するものである。
第２図はこの製造法を用いた一例を示すものである。
まず第２図イに示すようにダイヤフラムとなるべき金属
板１１上にテフロン、ポリイミドなどの絶縁性有機物を
スプレーまたははけ塗り等により５〜５０μｍ程度の厚
さに塗布する。
板１１上にテフロン、ポリイミドなどの絶縁性有機物を
スプレーまたははけ塗り等により５〜５０μｍ程度の厚
さに塗布する。
これを所定の温度で焼付け、絶縁性有機物層１２を形成
する。
する。
次に第２図口に示すようにスパッタリングまたは蒸着に
より、金属またはひずみゲージ材別および電極材料を付
着させてゲージ部１３およひ電極１４を形成する。
より、金属またはひずみゲージ材別および電極材料を付
着させてゲージ部１３およひ電極１４を形成する。
次に第２図ハに示すごとくダイアフラムの形状に適した
適当な大きさに切断し、これを基台１５に溶接または接
着する。
適当な大きさに切断し、これを基台１５に溶接または接
着する。
さらに電極１４にリード線を取付け圧力変換器とする。
この製造法によれば接着剤等を用いないのでダイアフラ
ムとゲージの対応がよく、直線性、バラツキが少ない。
ムとゲージの対応がよく、直線性、バラツキが少ない。
以上の説明から明らかなように本発明によればダイヤフ
ラムのひずみとゲージの出力とを直線的に対応させるこ
とができる。
ラムのひずみとゲージの出力とを直線的に対応させるこ
とができる。
また製造も容易で量産に適している。
第１図は従来の圧力変換器の構成図、第２図イ，口，ハ
は本発明による圧力変換器の製造法を用いた工程図であ
る。 １１・・・・・・金属板、１２・・・・・・絶縁性有機
物層、１３・・・・・・ゲージ部、１４・・・・・・電
極。
は本発明による圧力変換器の製造法を用いた工程図であ
る。 １１・・・・・・金属板、１２・・・・・・絶縁性有機
物層、１３・・・・・・ゲージ部、１４・・・・・・電
極。
Claims (1)
- １ 圧力検出用ダイアフラム上に絶縁性有機物を薄く焼
付け、この焼付けた絶縁性有機物上に金属または半導体
ひずみゲージ材相および電極を蒸着又はスパッタリング
により付着させることを特徴とする圧力変換器の製造法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52068092A JPS582465B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | 圧力変換器の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52068092A JPS582465B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | 圧力変換器の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS542686A JPS542686A (en) | 1979-01-10 |
| JPS582465B2 true JPS582465B2 (ja) | 1983-01-17 |
Family
ID=13363738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52068092A Expired JPS582465B2 (ja) | 1977-06-08 | 1977-06-08 | 圧力変換器の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582465B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4475589A (en) * | 1981-01-21 | 1984-10-09 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Heat exchanger device |
| JPS5815134U (ja) * | 1981-07-22 | 1983-01-29 | 株式会社東芝 | 同時吸排形換気装置 |
| JPS6112371U (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-24 | 株式会社 オリムピツク | 釣竿 |
| JPS61110831A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-29 | Nishida Tekko Kk | 熱交換器付換気装置 |
-
1977
- 1977-06-08 JP JP52068092A patent/JPS582465B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS542686A (en) | 1979-01-10 |
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