JPS5826235A - 温度測定装置 - Google Patents

温度測定装置

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JPS5826235A
JPS5826235A JP57125221A JP12522182A JPS5826235A JP S5826235 A JPS5826235 A JP S5826235A JP 57125221 A JP57125221 A JP 57125221A JP 12522182 A JP12522182 A JP 12522182A JP S5826235 A JPS5826235 A JP S5826235A
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JP57125221A
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ミシエル・エドウア−ル・ギユロ−ム
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • G01K1/02—Means for indicating or recording specially adapted for thermometers
    • G01K1/024—Means for indicating or recording specially adapted for thermometers for remote indication
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • G01K5/48—Measuring temperature based on the expansion or contraction of a material the material being a solid
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は回折格子を使用しての温度測定方法およびその
装置に関する。特に本発明はイオン化された媒体内に浸
漬された材料の温度の測定に関するイオン移植、層の沈
澱、焼鈍等の処理中の半導体基層の温度の測定は上記基
層が浸漬される媒体の特殊な性質に起因して困難な問題
である。特に、いかなる機械的または電気的接触も防止
されねばならない。だがこの種の基層の表面の温度は常
時且つ注意深く検査されねばならない、非常に重要な製
造の媒介変数である。
今までは、このような条件でこの検査または制御を行う
ための満足な装置は提案されていない。
本発明はいかなる機械的な接触もすることなく材料の温
度を測定することを可能ならしめる方法と装置を提案す
ることでこの欠陥を回避する。この目的で本発明は光学
的装置、特に回折格子の使用をすすめる。格子により光
のビームが回折させられる条件は格子の間隔に依存して
いる。この格子が測定されるべき温度まで上げられた場
合、その間隔はこの温度の関数であり且つこの回折の条
件自体はこの温度に左右されるようになる。したがって
、回折格子の位置の測定は測定されるべき温度に個々に
対応している。
本発明は特に、回折格子が測定されるべき温度まで加熱
され、単色光のビームが格子上へ導かれ且つ上記格子で
回折させられ且つ上記温度の関数である回折させられた
ビームの角位置が測定されるようにされて成る温度測定
方法に関する。
本発明はまた、上記の方法を実施するための温。
度測定装習で、測定されるべき温度まで加熱される回折
格子と、ビームを上記格子に導かれる単色光のビーム源
と、回折させられたビームの角位置を測定するための装
置とを含んで成る装置にも関する。
以下添付図面について本発明を詳述する。
第１図に例示されている設備は真空処理ハウジング１４
内に位置決めされているベース板１２により担持された
基層１０を含んでいる。処理装置が図示されていないが
実際において真空沈澱物のためのるつぼ、イオン移植装
置等を含んでいる。
本発明によれば、基層１０の表面の温度の測定のため、
上記基層上に回折格子２０が配置されているがこの格子
はビーム源２２からの単色放射線ビーム２１で照射され
る。回折させられたビーム２３は光学装置２４により集
光され且つ上記ビームの角位置が測定される。入射ビー
ム２１と回折させられたビーム２３は透明窓２５を介し
てハウジング１４を通り抜ける。
とうぜんながら、基層１０を構成している材料が適当で
あれば、基層１０上に回折格子２０を直接食刻すること
が可能である。たとえばこのことはケイ素基層に関して
もあてはまる。
この格子の温度はこの格子を形成する材料の膨張係数と
与えられた温度における格子の間隔とが判っている場合
は計算によりあるいは前の温度の補正により、回折させ
られたビームの角位置を基に決定されることができる。
一変化によれば、この測定は、付加的格子で、温度を一
定の値（思いのままに調整可能である）に維持され且つ
間隔を測・定用格子の間隔に接近した格子を使用するこ
とで、差別的性質を与えられる。この差別的変種によれ
ば、測定用格子の出口において、単一の回折させられた
ビームが２つの回折させられたビームで、互いに反対に
された次数を有する（ｎを１に等しいかあるいは１より
大きい整数にされた場合それぞれ十〇および一〇）２つ
のビームにより置き替えられ且つ上記付加的格子が上記
２つのビームの通路に位置決めされている。上記付加的
格子により回折させられたビームの中の次数−〇および
十〇のビームは上記２つ５− の格子が同じであれば、互いに平行であるという特殊な
特色を有している。かくして特殊な通路に関して、２つ
の格子での回折に起因した変差は大きさ相等しく且つ相
反する符号を有する。この測定格子が自身の温度に対す
る変更に起因してその間隔の変化を受けた場合、この装
置の２つの出力ビームは互いに平行であることをやめ且
つそれぞれの角変化は２つの格子の相互間の温度変化の
表示である。
この差別的変種は付加的格子３０を示している第２図か
ら第４図までに例示されている。第２図において２つの
格子は透過で作用している第３図には測定用格子２０は
反射で作用しまた基準格子２０は透過で作用している。
第４図において２つの格子はビームスプリッタ３２に起
因して反射で作用している。
添付図面において、回折の次数ｎ−±１で作用が行われ
ていると仮定されている。したがって格子２０は２３◆
および２３−で示されている２つのビームを生成する。
ビーム（２３”）は基準格６一 子３０に打当り、かくして２つの回折させられたビーム
を生成するがその中の次数（−１）のビームのみが用い
られる。そのビームは（２３÷）−と呼ばれる。同様に
ビーム（２３−１）は格子３０に打当った後に２つの回
折させられたビームを生成するがその中の次数（＋１）
のもののみ、すなわち（２３−）十のみ用いられる。前
に引用された理由で２つの格子が同じ条件であればビー
ム（２３◆）−と（２３−）十とは互いに平行である。
それがそうではなければ、それ等の角度の変化の測定で
測定格子の温度に関する情報が得られる。
実際においてビーム源２２はレーザーたとえば６３２８
Ａで作動するネオン−ヘリウムがスレーザーであってよ
い。測定装置２４は望遠鏡であってよい。格子は振幅格
子または位相格子であってよい。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明にしたがった装置の概略線図、第２図は
透過で作用している２つの格子を有する一変種の概略立
面図、第３図は反射で作用している測定用格子と、透過
で作用している基準格子とを有する一変種の同様な略図
、第４図は反射で作用している２つの格子を有する一変
種の同様な略図である。 １０・・・基層、１２・・・ベース板、１４・・・真空
処理ハウジング、２０・・・回折格子、２１・・・入射
ビーム、２３・・・回折させられたビーム、２４・・・
光学装置、２５・・・窓、３０・・・さらに他の格子。 代理人　浅　　村　　皓 外４名 、−Ｃ’Ｊ ０寸

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）　温度の測定方法において、回折格子が測定され
    るべき温度まで加熱され、単色光のビームがこの格子へ
    導かれ且つ上記格子にて回折させられ、上記温度の関数
    である回折させられたビームの角位置が測定されて成る
    方法。 （２、特許請求の範囲第１項記載の方法において、前記
    格子が、測定されるべき表面温度を有する物体の表面上
    に配置されて成る方法。 （３）　温度を測定するための装置において、測定され
    るべき温度まで加熱される回折格子と、ビームを前記格
    子上へ導かれる単色光ビーム源と、回折させられたビー
    ムの角位置を測定するための装■とを含んで成る装置。 （４）　特許請求の範囲第３項記載の装置において、逆
    の次数子ｎおよび−ｎ　　（ｎは１に等しいかまたは１
    以上の整数）に対応した第１の格子により回折させられ
    た２つのビームの通路上に配置された付加的な回折格子
    を含み、上記°２つの格子は同様な間隔を有し、前記の
    付加的な格子が基準温度まで上げられ、前記測定装置が
    前記付加的格子により回折させられて、それぞれ−〇と
    十〇である逆の次数を有する２つのビームを受信するよ
    うに位置決めされ、前記装置が前記２つのビームの相互
    間の角度数を測定することが可能にされて成る装置。
JP57125221A 1981-07-21 1982-07-20 温度測定装置 Granted JPS5826235A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8114176 1981-07-21
FR8114176A FR2510254A1 (fr) 1981-07-21 1981-07-21 Procede et dispositif de mesure de temperature utilisant un reseau de diffraction

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5826235A true JPS5826235A (ja) 1983-02-16
JPH0251132B2 JPH0251132B2 (ja) 1990-11-06

Family

ID=9260719

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JP57125221A Granted JPS5826235A (ja) 1981-07-21 1982-07-20 温度測定装置

Country Status (5)

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US (1) US4525066A (ja)
JP (1) JPS5826235A (ja)
DE (1) DE3227297A1 (ja)
FR (1) FR2510254A1 (ja)
GB (1) GB2102569B (ja)

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Publication number Publication date
DE3227297A1 (de) 1983-02-10
GB2102569A (en) 1983-02-02
JPH0251132B2 (ja) 1990-11-06
FR2510254A1 (fr) 1983-01-28
US4525066A (en) 1985-06-25
FR2510254B1 (ja) 1984-04-06
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