JPS5826439A - 電子線装置の対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子線装置の対物レンズ、特に電子顕微鏡をは
じめとする各種電子線装置の対物レンズに種々の機能を
与え、いくつかの用途に対応できるようにする技術に関
するものである。

電子線装置の性能を決める要因としては各種の要素が考
慮されるが、このような要素の一つとして電子線装置ａ
が互いに異なった各種の用途に応じられることが挙げら
れる。例えば電子線装置として高性能透過型電子顕微鏡
についてみると、当該電子顕微鏡には次のような各種機
能が要求されている。

（１）試料傾斜なしで超高分解能が得られること（分解
能が２Ａ程度で、球面収差係数が０５翻程度まで小さく
できる）。

（２）試料傾斜が３００で高分解能が得られること（分
解能が２．５Ａ程度で、球面収差係数が１．５１１１Ｉ
ｉ程度まで小さくできる）。

（３）試料傾斜が６０°で高分解能が得られること（分
解能が３．ＯＡ程度で、球面収差係数が３．０動程度ま
で小さくできる）。

（４）極微細照射電子線の径がＩＯＡ以内であること。

（５）極微細照射電子線を用いて高分解能二次電子線像
（分解能１５λ〜３ｏｆｆｌ）が？ＡＩられ、さらに高
分解能ＳＴＥＭ像（分解ｆｉｌ　１５　Ｘ程度）が得ら
ねるこ吉。ま／こ、２００Ａ領域でのＸ線分析が可ｆｉ
トであり、さらに：ｔＯλ領域での市、子線回折像が得
られるこ古。

（Ｇ１極微細照射軍、子線？用いて■萌１（試料（５龍
Ｘ　３（ｌ　ｍ　Ｘ　５　ＭＩＫの方形片）の二次市子
像が得られ、またＸ線分析が可能であること。

他方、従来の届゛５子顕（ｉに鏡においては、」二記の
様な各ｆｌＩ′！機能の全てを一台で満ＪＩ３させるこ
とはできなかった。例えば、−，１−記賭機能のうち、
第（１）項の機能を満足するためには、対物レンズの球
面収差係数をＱ、５ｉｘ以内であることが条件となり、
そのためには、対物レンズの磁極片の極間１１かを２〜
３ｎに縮小する必１捻がある。このような狭い間隙の中
では、試料の傾斜が大幅に制限されてしまったり、大き
な試＄１が入らない等の問題が起って来る。そこで従来
においては、上記各項目のうちの一項［１又は二、三項
目の機能と有する磁極片を電子顕微鏡とけ別体にアタッ
チメントとして用意しておき、磁極片を取換えることに
よってそれぞれ異なったモードの観察を行っていた。し
かし、上に挙げた（１）乃至（６）項のモードの全てを
観察するためには少なくとも４回の磁極片取換えが必要
（上記（４）、（５）、（６）項は１個の磁極片で対応
し得る）であり、操作が極めて繁雑であった。特に、電
子顕微鏡において磁極片を取換えようとすると、その度
毎に、電子顕微鏡内部の真空を破り、鏡筒を分解又は局
部的に分解しなければならないのに対し、電子顕ｗＩ鏡
の試１１を中心とする部分は、試料ステージ、対物絞り
、冷却トラップ、軸合せ用コイル、走査用コイル、Ｘ線
分析用の検出器、反射電子検出器、二次電子検出器等が
複雑に、しかも狭い空間の中に集積１７てあり、磁・極
片の交換作業？至僅Ｆなものにしている。したがって、
こねまでのところ、電子顕ＷＩ鏡の使用音実態調査に基
づくと、上記磁極片の交換をなし得ている使用者は数パ
ーセントに止まっており、他の使用者は単機能の電子顕
微鏡で我慢するとか、或は電子顕微鏡を二台以１；購入
するとかによって対処していた。

しかし、前者による場合は、使用者のニーズが電子顕微
鏡によって完全には満Ｊ【４さねないため、充分な試料
観察が行えないという不都合が生じ、又後者の場合は、
釘済的に大きな負世分使１１４者に強いることになると
いう不具合がルしていた。

さらに捷ｆｔ：　、従来の電子顕微鏡について磁極間隙
と試料ステージ等の付属部品との間の１３５１係をみる
と、試料ステージを導入するための空間を確保するため
に磁極間隙の寸法は所定量」二の値に設定する必要があ
った。即ち従来の如く固定型の対物レンズを有する′電
子顕微鏡において、試料横導入型のものでは、磁極間距
離を３ミリメートル以上に設定する必要があった。何故
なら、試料自体はメツシュと含めても０１〜０３ミリメ
ートル程度で極めて薄いのに苅して、これを支える試料
ステージの枠は成る程度の支持剛性を確保するために２
ミリメートル程度の厚さに作られているのが普通であり
、したがって試料を観察位置へ導入するためには、磁極
間隙は試ネ」ステージの厚みより大きな寸法に設定する
必要があるからである。

これに対して、電子顕微鏡では、対物レンズ磁極片の穴
径、間隙が小さい程対物レンズの収差を小さくできる。

この他にも磁気飽和を防ぐとか、形状パラメータの選択
をするとか、磁気材１１′１として充分飽和磁束密度の
高い物を使用する等の条件も必要であるが、上記のよう
な小さな穴径、及び磁狗ｉ間隙は高解像力対物レンズを
得る上で重要な条件の一つである。

ところが、上記のように従来の電子顕微鏡では磁極間距
離を３ミリメートルより小さくすることが出来ず、穴径
と磁極間距離との関係から高解像度を得るようにするこ
とは一定の制限があった。

本発明は、上記の様な各問題点に鑑みなされたもので、
その目的は、電子顕微鏡とはじめとする各種電子線装置
に、上下側磁極片のうち少なくとも一方を軸方向即ち」
−下方向に可動に構成しｒｅ　＊ｔ　％、＋レンズを１
δ１供することにより、一台の装置でいくつかの磁極聞
距離を作り得るようにし、こｔｌ、によってん（：別挿
入時にしｌ’　６＞？：極片間隙を広げ、試料観察１１
４ｊには磁極片間距離を狭くすることにより高解像度の
ｆ；４’　ｋ得られるようにするのに加え、各種モード
の試料観察を・’ｉｊ［能に１−１、電子顕微鏡の機能
向−トを図ることである。

特に本発明は、ｔｔ’、、子顕微鏡等の対物レンズにお
いて、磁極片を、当該磁極片に比較的大きな力が加わっ
ても、この磁極片をしっかり固定しながら１−下動させ
イ（するＦＩ＋／＋造とし、電子顕微彼等の精度？一定
以」−に維持し１１−っその機能を拡大せしめることを
目的とする。

更にまた、本発明は、試料ステージに所定の改良を加え
ることにより、上記試料ステージに対して可動磁極片が
」−下移動する１３、磁極片と試料ステージ本体とが干
渉等を起さないように図ることを目的とする。

本発明の実施例全添付の図面を参照してＮＹ細第１図乃
至第４図は、本発明の一実施例を示す図である。この実
施例に係る電子線装置の対物レンズは、上下方向に所定
の間隙５０と形成する一方、この間隙５０に交わる光軸
に沿った電子線紅路５，６と形成し、又磁極片間距離す
るための腔１２　、３０を形成した継鉄１と、間隙５０
をはさんで」二下側にぞ１＋ぞれ対称に配置固定された
上側磁極コイル２及び下側磁極コイル３と、間１餘５０
内Ｋ　：Ｉｓいて中心軸に位置合わせする七共に、」；
下方向に所定のギャップを形成して配置した上側＋Ｒ４
Ｍ？片７及び下側磁極片３１と、これらの」二側磁極片
７及び下側磁極片３１間のギャップ内に配置された試第
１ステージｎ及び絞り２４とか「〕成る。綜ｖ：、１は
、当該継鉄１に開設した腔１２　、３６の内部にＪ：　
（Ｌｌｌ磁極片７及び下側磁極片３１を挿入固定できる
保、一部が分割可能になって４６す、この実施例に、ｔ
３いては、継鉄１の上半側中央部が腔１２に緊密に嵌入
し得る中央継鉄４によって構成されている。そして、継
鉄１は磁極コイル２．３と共に対物レンズのレンズ本体
を構成している。

」；側磁極片７は、中央継鉄４の下側において、継鉄１
の腔１２内に嵌入すしぬられ、当該継鉄１に一体的に取
付固定された」二側磁極外円ｉ筒８と、この」二側磁極
外部筒８内に摺動可能に支持された」二側磁極内部筒９
と、」二側磁極内部筒９を上側磁極外部Ｉ￥？ｉ８に対
して摺動操作する駆動機構とを有する可動型の磁極片か
ら成る。」−側磁極外部筒８−１中心部において先端か
ら基端にかけて軸方向に延びる貫通孔１０が形成された
、略截頭円錐体の筒体から成９、継鉄１に形成された腔
１２内に圧入等の方法で嵌入されている。」二側磁極外
部筒８を腔１２内に嵌入すＺ〕には、ＩＰ８１ノの周壁
に沿って切欠溝１３を形成し、この切欠溝１３内に超弾
性合金を成形して成るリング状のカラー１４を装填し、
このカラー１４内に上側磁極外部筒８を押し込むことに
よって取付ける。これにより、上側磁極外部筒８と腔１
２との間のはめ合いの隙間を、」二側磁線外部筒８の外
周に沿つて均一にすることができる。そしてまた、上側
磁極外部筒８に開設置−た貫通孔１０には、先端部分が
やや先細りになる様、テーパ部８ａが設けられている。

一方、」二側゛磁極内部筒９は、その中心部において軸
方向に延びる孔１１が形成され、截頭円錐形状、即ちテ
ーパ伏の頭部９ａと、この頭部９ａに連続した胴体部と
から成り、胴体部において、」−側磁極外部筒８の貫通
孔１０内で緊密に接合しなから摺動できる。この」二側
磁極内部筒９の胴ｆ（り部基端の外周にはネジ部９ａが
形成され、また底面にはガイド穴１９が穿設されている
。そして、上側磁極内部筒９の胴体部先端付近には、上
記」二側磁極外部筒８の貫通孔１０にほぼ完全に補合し
て上側磁極内部筒９の中心軸合わせ、即ち上側磁極片７
の芯出しを行うようになっている。

才た、上側磁極外部筒８内には、内側面に」二記ネジ部
９ＣＫ螺合するネジ２２が形成されたクラウンギア１７
が配置してあり、このクラウンギア１７は、ベース部材
１５に回転可能に取付けられ、■１つＩ−側位’；　、
ｌｉｊ！ｉ　ｌノ目ｊｌｌ　ｆｌ’万９に係合している
。このクラウンギア１７け一土に１外周部分にラック構
７１ｉのギアｔ＃’ｔ　２１をイｆしている。これに対
して、継鉄１の外側から内側へ向けて、シール部４４３
０によりシールされ、回転可能に支持された駆動棒１８
が延設さねて封り、その先ｍｉｊにｄギア歯２１に噛合
するピニオン２０が形成されている。こうして、駆動棒
１８とクラウンギア１７とは、駆動ＩＩ　１８を同転さ
せてこの回転をクラウンギア１７に伝え、クラウンギア
１７のオシ２２を介して」−側磁極内部筒９をト下動ン
Ｎせる駆動機構を構成している。ペース部利１５には、
−に側磁極内部筒９に穿設したガイド穴１９に嵌入する
ガイドピン１Ｇが固定数句けされ、クラウンギア１７の
回転によって１−側磁極内部筒９がｌ’Ｈ−ｉｌ転しな
いよう支持している。

他方、下側磁極片３１は、間１ｔ’ａ　５０の下側に当
る継鉄１の中央部に１３いて、継鉄１に形成した腔３６
内に１合？人固定した下側磁極外部筒３２と、この下側
磁極外部筒３２内に摺動可能に支持された下側磁イ１０
２内部筒３３と、下側磁極内部筒３３を下側磁り、」−
記磁極片７と同梯、一つの可動型の磁極片を構成してい
る。

下側磁極外））１；筒３２は、頂部径寸法りを有し、中
心部を貫通して延びる貫通孔３４が形成された、略截頭
円α［体状の筒体から成り、継鉄１に形成された腔３６
内に圧入等の方法で嵌入されている。

下側磁極外部筒３２をｊ察３６内に嵌入するには、腔３
６の周壁に沿って切欠ｉ′ＩＪｊ　３７全形成し、この
切欠面３７内に超弾性合金を成形して成るリング状のカ
ラー３８を装頬−（シ、このカラー３８内に下側磁極外
部筒３２ヲ・押し込むことによって取付ける。これによ
り、下［Ｉ磁極外部筒３２と腔３６との間のはめ合いの
隙間を、下側磁極外部筒８の外周に沿って均一にするこ
とができる。

一方、下側磁極内部筒３３は、頂部径寸法ｄを有し、中
心部に：ｌ−３いてｌＩｑ］１方向に延びる孔３５が形
成、され、截頭円Ｍ１−形状の頭部３３ａと、この頭部
３３　ａに連続した胴体部とから成り、胴体部において
下側磁極外部筒３２の貫通孔３４内壁に緊密に接合しｔ
ｆがら１習動することができる。この下側磁極内部筒３
３の胴体部基端の外周にυ゛Ｊ、ネ・ジ部３３０が形成
され、また底面にｄ−ガイド穴４３が穿設されている、 そして、こねらの下ｆｌＴｌｌ　ｍ　ＪｆＪｉ、外部筒
３２と下側イ１η極内部筒３３表の間において、ド側磁
４ｉｉｊｉ外ｊ’１−１）　ｆｉ’万３３に開設したじ
ｊ通孔３４には、先！／１ｉｌｉ部がやや先細りになる
様、テーバ部３２ａが設けられている。他方、下側磁極
内ｉ”７１（筒３３の胴体部先端付近には、上記下側イ
υロｉ１１′Ｌ外ト１１（筒３２のテーバ部３２ａに対
応するテーバ）３１ζ３３１）が形成されており、下側
磁極内部筒３３が−１−’　＋１１１１　（♂ヱｌ：Ｉ
ｌｌ外部筒３２内を先端方向に向かって最も進んだとき
、下側磁極内部筒３３が下側磁極外部筒３２の貫通孔３
４にほぼ完全に補合して下側磁極内部筒３３の中心軸合
わせ、即ち下側磁極片３１の芯出しを行うようになって
いる。

また、下側磁極外↑）１１筒３２内には、内側面に上記
ネジ部３３Ｃに４（２合するネジ４６カ４“構成された
クラウンギア４１が配置してあり、このクラウンギア４
１はベース部材３９によって回転可能に数句はられ、下
側磁極内部筒３３に係合している。このクラウンギア４
１けまた、外周部分にラック構造のギア？＋４４５を有
している。これに対して、継鉄１の外部から内部へ向け
て回転可能な駆動棒４２が延設されており、当該駆動棒
４２の先端にはギア歯４５に噛合するビニオン４４が形
成されている。

こうして駆動棒４２とクラウンギア４１とは、駆動（奉
４２を回転させてこの回転をクラウンギア４１に伝え、
クラウンギア４１のネジ４６を介して下側磁極内部筒３
３を上下動させる駆動機構を構成している。ベース部材
３９には、下側磁極内部筒３３に穿設したガイド穴４３
に嵌入するガイドビン４０が固定取付けされ、クラウン
ギア４１の回転によって下側磁極内部筒が回転しないよ
うにしている。

このように構成された上側磁極片７と下側磁極片３１と
の間には、試料ステージｎと、試料から散乱された電子
線を所定の範囲で絞り作動する対物絞り２４とが配設さ
れている。対物絞り２４は、継鉄１の外側から内側へ向
けて延設された絞り支持体すによって支持される。絞り
支持体２５は、先端部で対物絞す２４を支持する一方、
基端部２６は、間隙５０内を高真空に保つため、継鉄１
の外周面にｒ＃’ｉ　２９夕彩成すると共に、この溝２
９内にＯ−リング２８全配置して成るシール部に当接し
て保持さ才■る。捷な、絞り支持体２５のＪ、を端部２
６は、紹′鉄１の１１１１壁に設けたフランジ部１ａに
取付けた調節ねじ２７に当接せしめられ、このＩＷＡ節
ねじ２７を作動させることによって紋り支持体２５の高
さ１１１．１ｄ節をすることができるようになっている
。

また、−１−州政１：：ｊＩ片７２二下１１［１１磁極
片３１との間において、Ｉ−＋１１１１磁極外部官ｉ′
＋８と下側磁４ｉ！ｉ外ざ１−箭３２との間にはシト磁
イメ１体材料から出来た１９４離片４７が介装してあり
、上側磁極外部筒８と下側磁極外部筒３２とを一体構ｚ
１＋にしている。このため、土工両側の磁極外部筒８，
３２け、互いの中心軸を一旦整合させＪｌげ、その後は
中心軸がずれることはなくなり、電子経路５，６と連続
して正確な電子＋ｌ１ｌｈ道を作る。また、」−下側磁
４１１Ｊλ片７．３１間に加わったり・や大な吸引力分
、」−下側磁極外部筒８，３２の嵌合固定部と共にこの
隔離片４７で支持することができる。もちろん、上に述
べた駆動棒１Ｂ　、　４２及び絞シ支持体２５が隔離片
４７を貫通して延びることができるよう、隔離片４７に
は所定の部所に孔が開設しである。

なお、」二の説明では、上側磁極片７及び下側磁極片３
１のいずれについても、磁極外部筒８゜３２と磁極内部
筒９，３３との組合わせによるｒ＋７動磁極片となって
いるが、試Ａ：］ステージ２３に対する磁極の変動は、
上側磁極片７又は上側磁極片３１のいずれかを可動にす
れば行うことができる。

したがって、−上側磁極片７又は下側磁極片３１のうち
いずれか一方のみを可動型とし、他方を固定型構造にし
てもよい。！また、上側磁極片７及び下側磁極片３１け
、それぞれ独立した駆動機構に連結されて独自に可動操
作するようになっているが、上側又は下側磁極片７，３
１の可動部分、即ち磁極内部筒９，３３のうちいずれか
一方の磁極内部筒のみを駆動機構によって作動出来るよ
うにし、他方については、隔離片４７によって上下側磁
極外部筒８，３２を一体的に連結したのと同様に、−］
−記一方の磁極内部筒に固定連結１７、当該一方の磁極
内部筒が駆動機構の作動により摺動するとき、一定の磁
極間ギャップを保ちながら一緒に摺動辻動するようにし
てもよい。

−１−記のようにス・ｊ物しンズの磁ＪｉＩＩｉ片７，
３１を可動型にし、磁４ＩＩ）ｉ間隙を変えたり、ｉｌ
（料に対する磁極片の位１１Ｔを変えたりすることがで
きるようになったことに鑑み付属部品には磁極片の移動
にＺ・Ｉ応できる様改良されている。例えば試料ステー
ジ２３０１、磁極片が試料のごく近く寸で移動すること
が出来るように構成されている。即ち試料ステージ２３
は、第２図に示すように、試料を充分な支持力で支えら
れる様、２〜３ミリメートルの淳味を有する枠体５１と
、この枠体５１に支持され、はぼ中央部に試別５３を設
置している試料載ｆｉｆＪ板５２とから成る。枠体５１
は、内部をくり抜き概矩形状のフレーム構造を有し、そ
の内周に沿って濯５４が形成されている。試料載置板５
２け、この上にｒＩ′いた試料５３及びメツシュ全含め
ても０．１〜０．３ミリメートルの極めて薄い板から成
り、枠体５１の溝５４にスライド挿入することにより試
別５３をセットする様になっている。

したがって試別５３を枠体５１内に設ｉｎシた後におい
ては、試料５３部分の厚さは枠体５１の厚さの約１とな
り、試別５３面は枠体５１の一般面から一段０ 下った場所に位置する。

このように試料５３と最小の磁極片間隔で観察しようと
すれば、」二記磁極片間隔は０５ミリメートル程度まで
狭めることが出来、高分解能観察像が得られるにもかか
わらず、従来においては、対物レンズの磁極片が固定さ
れていたため、試別ステージｎの枠体５１が磁極片間隙
に充分挿入し得る３〜・１ミリメートルの寸法が最小の
対物レンズ磁極間隙とされていた。本発明においては、
可動磁極片７，３１と上記試別ステージｎとの活用によ
り、上記従来の対物レンズよりも小さな磁極片間隙を形
成することができる。即ち、先ず試料を対物レンズ磁極
間に挿入するには、第３図に示すように、可動磁極片で
ある１−側磁極片７か又は下側磁４ｉｌｌλ片３１を作
動させてＶ１磁極１１４１を所定寸法以−１−広げる。

第３図における作動状態では、下側磁極内部筒３３を下
方へと移動させて磁極片間隙を広げ、この磁極片間隙内
に試才」ステージ２３を挿入した後、」二記下叫磁ｈ１
１：内部筒３３を−１一方へ移動させ、第４図に示すよ
うに、試料ステージ２３の四部５５内に下（ＩＩＩＩ磁
極内部筒３３の頭部と挿入しｍ、ｊ極片が試料５３に極
めで近１ｉシた位置に来る様にすることができる。した
がって、試料観察時における磁極間隙を従来に比べて小
さくすることができる。とりわ０、」−述した下側磁極
片３１に１３ける磁極の」−下操作を上側磁極片７につ
いても行い、試料挿入時はいずれの磁極片７，３１につ
いても磁極内部筒９，３３を後退位置に壕でずらせて磁
極間隙を広げ、試料観察時Ｋｌま、双方の磁極内部筒９
，３３を前進させいずれの頭部をも試料ステージ２３の
四部５５内に挿入して試料５３に極めて近接した位置に
来る様にすることにより、磁極ＬＬＵ　ｆｆａを１ミリ
メートル以下にして観察することができる。このときは
、上側磁極片Ｉと下側磁極片３１との間において、可動
部分である磁極内部筒９，３３が最も前進したときの磁
極間隙が１ミリメートル以下になるように設ｄ１値を決
めておく。ぞして、かかる観察手段を実行することによ
り、磁極間隙長に対する従来の観念の大きく破ることが
出来、超高分解能力を有する対物レンズと得ることがで
きる。そして磁極間隙を小さく出来ることにより、コイ
ルに流す励磁電流を低く抑えても強力な励磁力が？：Ｊ
られ、経済的な使用が可能になる。

以」−説明したように、本発明によれば、対物レンズの
磁極片のうち少なくとも一方を上下移動可能に構成し、
また試料ステージを所定の剛性を有する枠体とこの枠体
に係止させた薄板状の試料載置板とで構成し、試料観察
時において、必要に応じて可動磁極片の頭部を枠体と試
料載置板との間に形成された門部内に挿入可能としたた
め、磁極間隙長を従来における磁極よりも遥かに小さく
することが可能となり、高分解能の対物レンズにするこ
とが出来る。

なお」二記実施例においては、例えば生物試料等の観察
に用いる電子顕微鏡を例に挙げて説明して来たが、必ず
しもこのような装置にのみ適用されるものでなく、試料
の厚さが枠体よりも薄い値に設定しうるいかなる場合に
も適用することが出来、特に、半導体のウエノ１−と走
査型電子顕微鏡で観察する場合にも応用することが出来
、いずれも対物レンズの分解能を飛躍的に向−１ニさせ
ることができる。

また、第１図からも明らかなように、磁極片間には付属
部品として試料ステージの外に絞りが挿入され、また図
には示されていないが、試料ステージや絞り以外にも、
冷却ファンや試料からの反射電子検出器等の各種付属部
品が装填される。そして、これらの付属部品に関しても
試料ステージについて上に述べたと同様な事態が発生す
るから、対物レンズ磁極片の上下動を活用して付属品主
要部と付属品枠体との寸法差を吸収することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る電子線装置の対物レ
ンズの構造を示す断面図である。 第２図は、本発明の実施例において用いる付属部品の一
例である試料ステージの構成を示す斜視図である。 第３図は、本発明の実施例における試料ステージ挿入作
業状態を示す断面図である。 第４図は、本発明の実施例における試料観察作業状態と
示す断面図である。 １・・・継鉄　　　　　２，３・・・磁極コイル７・・
・上側磁極片　　ｎ・・・試料ステージ２４・・・絞り

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レンズ本体部と、このレンズ本体部に数個けられ、１−
   下方向に所シ；！のギャップを１１′ｔいて対向してい
   る一対の磁極片と、これらの磁極片間のギャップ内に挿
   入１Ｆ能な付属部品とを有する対物レンズに：Ｌ；いて
   、前記一対の磁極片のうち少なくとも一方を、上下方向
   に移動可能に構成する一方、イ・１属部品を、磁極片の
   頭部が嵌入して付属品主要部に近接出来るように構成し
   、前記付属品挿入時には可動磁極片を作動させて磁極間
   ギャップを拡大させ、像観察時には磁極間ギャップを狭
   小化させ得るようにしたことを特徴とする電子線装＋ｔ
   ’ｔの対物レンズ。