JPS5826656U - 多元素同時分析装置に於る試料装置 - Google Patents

多元素同時分析装置に於る試料装置

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JPS5826656U
JPS5826656U JP11951581U JP11951581U JPS5826656U JP S5826656 U JPS5826656 U JP S5826656U JP 11951581 U JP11951581 U JP 11951581U JP 11951581 U JP11951581 U JP 11951581U JP S5826656 U JPS5826656 U JP S5826656U
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JP
Japan
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sample
simultaneous analysis
pallet
element simultaneous
analysis device
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Pending
Application number
JP11951581U
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English (en)
Inventor
渡辺 忠悟
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
新日本製「鉄」株式会社
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来用いられていた試料装置を示すための斜面
図、第2図は本考案による試料装置を示すための斜面図
、第3図は要部を示す断面図、第4図は多元素同時分析
装置を示す断面図である。 10・・・XYステージ、11・・・試料、12・・・
パレット、15・・・ホルダ、16・・・標準サンプル
、16A・・・試料室、17・・・シャッタ、1B・・
・予備試料室、19・・・開口部、20・・・電子銃、
21.22・・・分光器、23・・・試料交換部材、2
4・・・蓋部である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃から照射された電子線を試料に照射し、この試料
    からの螢光X線を検出するものにおいて、断面がほぼU
    字型をなすパレット内に設けられた゛  鉄部と、この
    パレット内に設けられ複数の標準サンプルを有するホル
    ダとを備え、パレットの移動のみで試料と標準サンプル
    を同時に交換可能な構成にしたことを特徴とする多元素
    同時分析装置。
JP11951581U 1981-08-12 1981-08-12 多元素同時分析装置に於る試料装置 Pending JPS5826656U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04120365U (ja) * 1991-04-15 1992-10-28 理学電機工業株式会社 X線分析用の校正装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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