JPS5826656U - 多元素同時分析装置に於る試料装置 - Google Patents
多元素同時分析装置に於る試料装置Info
- Publication number
- JPS5826656U JPS5826656U JP11951581U JP11951581U JPS5826656U JP S5826656 U JPS5826656 U JP S5826656U JP 11951581 U JP11951581 U JP 11951581U JP 11951581 U JP11951581 U JP 11951581U JP S5826656 U JPS5826656 U JP S5826656U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- simultaneous analysis
- pallet
- element simultaneous
- analysis device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来用いられていた試料装置を示すための斜面
図、第2図は本考案による試料装置を示すための斜面図
、第3図は要部を示す断面図、第4図は多元素同時分析
装置を示す断面図である。 10・・・XYステージ、11・・・試料、12・・・
パレット、15・・・ホルダ、16・・・標準サンプル
、16A・・・試料室、17・・・シャッタ、1B・・
・予備試料室、19・・・開口部、20・・・電子銃、
21.22・・・分光器、23・・・試料交換部材、2
4・・・蓋部である。
図、第2図は本考案による試料装置を示すための斜面図
、第3図は要部を示す断面図、第4図は多元素同時分析
装置を示す断面図である。 10・・・XYステージ、11・・・試料、12・・・
パレット、15・・・ホルダ、16・・・標準サンプル
、16A・・・試料室、17・・・シャッタ、1B・・
・予備試料室、19・・・開口部、20・・・電子銃、
21.22・・・分光器、23・・・試料交換部材、2
4・・・蓋部である。
Claims (1)
- 電子銃から照射された電子線を試料に照射し、この試料
からの螢光X線を検出するものにおいて、断面がほぼU
字型をなすパレット内に設けられた゛ 鉄部と、この
パレット内に設けられ複数の標準サンプルを有するホル
ダとを備え、パレットの移動のみで試料と標準サンプル
を同時に交換可能な構成にしたことを特徴とする多元素
同時分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11951581U JPS5826656U (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | 多元素同時分析装置に於る試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11951581U JPS5826656U (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | 多元素同時分析装置に於る試料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5826656U true JPS5826656U (ja) | 1983-02-21 |
Family
ID=29913574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11951581U Pending JPS5826656U (ja) | 1981-08-12 | 1981-08-12 | 多元素同時分析装置に於る試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5826656U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04120365U (ja) * | 1991-04-15 | 1992-10-28 | 理学電機工業株式会社 | X線分析用の校正装置 |
-
1981
- 1981-08-12 JP JP11951581U patent/JPS5826656U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04120365U (ja) * | 1991-04-15 | 1992-10-28 | 理学電機工業株式会社 | X線分析用の校正装置 |
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