JPS5828523B2 - カンゲキソクテイソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は２物体間の間隙、特に放電加工とか電解加工の
加工間隙のような微小間隙の長さ、即ち間隙長を簡単に
して正確に測定する装置に関する。

従来このような間隙長測定に提案されたものは間隙を形
成する物体（電極）の一方を接触するまで実際に動かし
てみて、その移動量に対応するパルスを適宜のパルス変
換装置により発生して、発生パルスをカウントすること
により間隙長を知る方式があるが、この方式では間隙を
そのま＼一定に保持しておいて測定することはできない
し、また移動距離をパルス変換するときに誤差を生じ、
これをカウント積分するからパルス変換装置の精度にも
よるが相当量の誤差を生ずることは避けられない欠点で
ある。

本発明はこの点に鑑みて被測定間隙をそのま＼保持した
状態で、しかも高精度をもって測定できるようにしたも
のである。

即ち第１図のように、ある媒体中に電極を対向した間隙
Ｇを設け、この対向する電極間にスイッチＳを介して電
源電圧■で充電されるコンデンサＣを接続して放電回路
を形成する。

そこで今スイッチＳを閉じて電圧■に充電されたコンデ
ンサＣにより間隙Ｇにパルス電圧を加えて放電を発生す
るときの過渡的現象を観察すると、スイッチＳを閉じて
も直ちに放電は開始せず、最初微弱な電流が流れ、それ
が限界電流密度をもった電流値に達して始めて火花放電
を発生する。

この様子を第２図で示すと、スイッチＳの投入点０から
微弱電流ＩＬが流れ、τ時間後始めて火花放電を発生す
る大電流ｉが流れる。

この放電前駆現象に着目した各種実験結果から次式が提
案されている。

したがってこの（１）式は次のようになる。

Ｃ；定数 即ち、この（２）式によれば、間隙Ｇに放電を発生させ
るとき、間隙媒体の電気型導度Ｋ及び放電発生させる試
験用パルス電圧■がわかれば、放電の遅延時間τを測定
することによって間隙長ｌは容易に測定することができ
る。

本発明はこれを応用したものであって以下実施例の図面
により説明する。

第３図において、１は回転電極、２がその回転モータ、
３はＮＣ送りされる加工テーブルに取付けられた被加工
体で、電極１と対向して放電加工間隙を形成する。

４は加工タンク、５及び６はＮＣ加工送りのパルスモー
タ、７がＮＣ制御装置、８は加工間隙に加工液を供給す
るノズル、９はそのポンプ装置、１０は供給加工液の電
気伝導度を制御するイオン交換樹脂、１１は供給加工液
の電気伝導度を測定する抵抗測定装置、１２は加工間隙
に試験用パルス電圧を印加するとともに加工雫圧を加え
る電源装置である。

１３は間隙の印加電圧測定装置、１４は放電遅延時間の
測定装置で、１５がこれら各測定値により間隙長を算出
する演算装置、１６は測定間隙長の表示器、１７は補正
信号をＮＣ制御装置７に加えて所定の間隙制御を行なわ
せる補正装置である。

なお以上においてイオン交換樹脂１０によって供給加工
液の電気伝導度が変更制御でき、また電源１２によって
間隙に印加する試験用パルス電圧も任意に変更できるよ
うにしである。

しかして今、ＮＣ装置７によってパルスモータ５．６を
駆動制御して被加工体３を送り、回転電極１との間にあ
る間隙を認定する。

そして間隙にはポンプ９作動によって加工液（水）を噴
流供給するが、この供給液の電気伝導度には抵抗測定装
置１１により逐次検出測定される。

そこでこの一定電気伝導度の液が供給された間隙に電源
１２から試験用パルス電圧を印加する。

印加電圧Ｖを測定装置１３で正確に測定され、これら測
定装置１１゜１３測定結果は演算装置１５に供給される
。

一方電圧を印加してから放電が発生するまでの遅延時間
τは測定装置１４で検出測定され、この測定値も演算装
置１５に加わり、これら測定結果にもとずいて演算装置
１５が前記関係式（２）の演算を行って前記電極１と被
加工体３の測定間隙長を算出決定し、１６にそれが表示
される。

次に例えばポンプ９から供給する液のイオン交換樹脂１
０によるイオン交換処理度を変更しながら前記各装置に
よる測定を繰返して行い、その都度間隙長を装置１５，
１６によって演算表示する。

またこれは電源１２から間隙に加える印加電圧を変化さ
せながら複数回間隙長を測定演算してもよく、このよう
な放電条件を変えることによる複数回の測定により、例
えばその平均値を取り出すことによって極めて高精度な
間隙長測定ができるものである。

そして結果が予定した間隙と違っていれば装置１７より
その相違分に応する補正信号をＮＣ装置７に加えて制御
することにより正確な間隙を設定することができる。

かくして設定された間隙を維持して、電極１を回転させ
ながら、またこの電極を一定間隙を維持したま５公転さ
せる等しながら、電源より加工電圧パルスを加えること
により放電加工により予定した高精度の加工を行なえる
。

勿論電解加工する場合でも同様であるが、この種電気加
工では間隙の設定は加工精度の決定的因子となるもので
、これを前記のように測定して高精度に設定することに
より著しく高精度の加工を可能ならしめることができる
。

なお加工の途中に間隙の測定及び設定のサイクルを設け
ることにより全加工を全て高精度をもって仕上げること
ができる。

なお実施例回路において、電圧測定装置１３は電源１２
に収納して特別独立して設けなくてもよい。

また演算装置１５は演算機能を有しない計算表の如きも
のであってもよい。

以上は本発明を一実施例によって説明したが、間隙長測
定のために間隙に供給する媒体として液体に限らず、気
体を供給することもでき、被測定間隙はその間隙を回定
維持させたま＼非接触で測定でき、また間隙長は供給媒
体の流体の電気伝導度、放電用の印加電圧を選択するこ
とによって小さく数μから大きくは数のもの広範囲に亘
って高精度をもって測定することができる。

即ち供給流体の電気伝導度及び試験用の印加電圧は任意
に変更できるようにしであるから測定間隙の広狭に応じ
た値に設定制御することにより容易に間隙長の測定をす
ることができる。

なお被測定間隙は前記実施例の電気加工間隙に限らず、
各種スリット間隙、その他の間隙測定に利用でき便利で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明する回路図、第２図はその
一部の作動状態説明図、第３図は本発明の一実施例装置
の構成国である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 被測定間隙に放電媒体の流体を供給する装置と、放
   電発生させる試験用パルス電圧を印加する装置と、前記
   供給流体の電気伝導度を測定する装置と、前記間隙に試
   験用パルス電圧を印加してから放電が発生するまでの遅
   延時間を測定する装置と、更に前記各装置から供給流体
   の電気伝導度にと放電遅延時間τと試験用パルス電圧■
   とを信号入力して式τ＝Ｃｘ−”ｘＶ ”（Ｃは定数）
   よりｌを算出する演算装置とを設けたことを特徴とする
   間隙測定装置。