JPS5828546B2 - 半導体素子の自動選別装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は被測定素子を測定項目、測定条件、判定値にし
たがって測定し、その測定結果と判定値とを比較して良
否を判別する半導体素子の自動選別装置に係り、特に自
動選別装置を稼動しながら所定の測定回数毎に良否が既
知のモニター用素子を測定し、判定結果が正しいか否か
を判断することができる半導体素子の自動選別装置に関
するものである。

近年、半導体素子における品質要求水準はますます厳し
くなりつつある。

そして、品質レベルの中で初期故障と言われるものは、
特に自動選別装置の性能に依存するところが大きい。

従来の一般的な自動選別装置の構成を第１図に示し説明
すると、図において、１は被測定素子が接続される測子
部、２は測定条件、判定値を与えて測定する測定回路で
、これらは各ブロックに電源を供給する電源部８と共に
測定部を構成している。

３は測定結果と判定値とを比較して被測定素子の良否を
判別する比較回路、４は比較回路３によって得られた良
否の判別結果を項目別に記憶する記憶回路、５は記憶回
路４に記憶された項目別の良否判別結果を組み合わせて
１つの分類信号をつくる分類回路、６は分類回路５によ
ってつくられた分類信号により所定のケースへ被測定素
子を分類させるべくモータを制御、駆動するモータ制御
・駆動部、７は装置全体の動作を制御する制御部、９は
分類別に計数する計数部、１０は分類された素子を収納
する収納部、１１は被測定素子を搬送供給する供給部で
ある。

つぎにこの装置の動作を順を追って説明する。

まず、供給部１１より測子部１に被測定素子が供給され
ると、制御部７より適当なタイミングで測定開始信号が
送出され、１番目の測定項目の測定が始まる。

すなわち、測子部１、測定回路２および電源部８で測定
項目、測定条件、測定値にしたがった測定部が構成され
、測定回路２の出力が比較回路３に入り、ここで比較、
良否判別される。

この結果が記憶回路４で記憶された後、１項目の測定が
終了し、制御部７からの制御信号により制御されて次の
項目の測定に移る。

そして、同様の経路で次々に所定の項目を測定し、すべ
ての項目の測定が終了すると、記憶回路４に記憶された
全項目の良否結果情報が分類回路５に入り、各項目の良
否結果を組み合わせて１つの分類信号を出し、この分類
信号はそれぞれ計数部９およびモータ制御・駆動部６に
入る。

計数部９は分類結果にしたがい計数し、また、モータ制
御・駆動部６は分類信号にしたがって所定のケースに素
子を分類させるべくモータを制御、駆動する。

そして、被測定素子は制御部７からの制御信号により制
御されて適当なタイミングで収納部（収納箱）１０に分
類収納される。

しかして、このような自動選別装置において、故障の有
無を診断する方法としては、装置を停止して調査するか
、または異常を発見してから調査するか、あるいはバッ
チ処理で被測定素子を抜取検査し、品質を確認するとい
う方法をとらざるを得なかった。

しかしながら、いずれの方法にしても故障の発見が遅れ
たり、手間がかかるという不都合があり、故障の発見の
遅れから、既に分類された被測定素子の中に誤選別され
た素子が含まれている場合もあり、装置の改修および被
測定素子の品質管理上問題があった。

本発明は以上の点に鑑み、このような問題を解決すると
共にかかる欠点を除去すべくなされたもので、その目的
は装置の稼動率を低下させることなく装置の故障の有無
をチェックし、しかも故障の早期発見、保修時間の短縮
を図ることができ、省力化することができると共に作業
能率を飛躍的に向上することができ、また、誤選別を防
止することができ半導体素子の品質を向上することがで
きる半導体素子の自動選別装置を提供することにある。

以下、図示する実施例によりその構成等を詳細に説明す
る。

第２図は本発明による半導体素子の自動選別装置の一実
施例の構成を示すブロック図である。

第２図において第１図と同一符号のものは相当部分を示
し、１２は良否が既知のモニター用半導体素子が挿入さ
れるソケット、１３は被測定素子が接続される測子部１
と上記モニター用半導体素子が挿入されるソケット１２
とを切換えるためのリレー回路、１４は良否が既知のモ
ニター用半導体素子において項目別の良否を予め論理゛
１“（Ｈレベル）または論理”０″（Ｌレベル）の２値
信号で設定しておくモニター用項目別良否設定回路、１
５はモニター用項目別良否設定回路１４で設定した信号
と、毎回モニター測定時の判定結果とを比較判定するメ
モリー判定回路で、測定項目毎の判定結果が正しいか否
かを判断する機能を備えている。

１６は所定の測定回数毎に出力信号を出すプリセットカ
ウンタ、１７はメモリー判定回路１５の判定結果により
通常の測定を再開する信号あるいは警報信号を出す判断
回路で、メモリー判定回路１５の判定結果にしたがって
”異常なし″の場合はモニターの測定回数を計数するカ
ウンタ１８および所定の測定回数毎に出力信号を出すプ
リセットカウンタ１６に信号を出し、゛異常あり″の場
合はモニターの判定異常時に警報ブザーおよびランプ表
示を行なう警報回路１９に信号を出す機能を備えている
。

つぎにこの第２図に示す実施例の動作を説明する。

まず、通常測定時には、供給部１１より測子部１に供給
された被測定素子は、制御部７からの制御信号により制
御されて各項目の測定を行ない、測定終了時に計数部９
およびプリセットカウンタ１６によって計数される。

ここで、プリセットカウンタ１６を予め所定の回数に設
定しておくと、設定された回数毎に出力信号が出る。

この信号はモータ制御・駆動部６に入り、モータを停止
せしめることにより被測定素子の測定は停止する。

これと同時にプリセットカウンタ１６の出力信号によっ
てリレー回路１３は制御され、リレーを駆動してソケッ
ト１２と比較回路２を接続する。

また、このプリセットカウンタ１６の出力信号により制
御部７は制御され、制御部７から測定開始信号が送出さ
れ、ソケット１２に挿入されたモニター用半導体素子が
測定される。

ここで、モニター用半導体素子の測定は、従来の自動選
別装置における方法と同様に、モニター素子用のソケッ
ト１２、リレー回路１３、測定回路２および電源部８で
測定部が構成され、測定回路２の出力を入力とする比較
回路３により比較され、その良否が判定される。

そして、その結果が記憶回路４に記憶され、１項目の測
定が終了する。

つぎに、制御部７からの制御信号により制御され、次の
測定項目に移り、前述した１項目と同様の経路を通って
測定、比較、良否判定された後記憶回路４に記憶される
。

同様にして最後の測定項目までの結果が記憶回路４に記
憶されると、制御部７からの制御信号によって制御され
てメモリー判定回路１５に記憶回路４よりの判定結果の
情報が入り、モニター用項目別良否設定回路１４に予め
設定された項目別の良否信号と判定結果情報がすべて一
致しているかどうかを比較する。

そして、すべての項目で判定内容が正しければ、判断回
路１７よりプリセットカウンタ１６およびカウンタ１８
に信号が入り、モニターの測定回数を計数するカウンタ
１８が動作すると共に、プリセットカウンタ１６の出力
信号が変化し、リレー回路１３を制御して被測定素子が
接続された測子部１側に接続を切換えると共に、モータ
を動作させ、通常の測定に戻る。

一方、メモリー判定回路１５において、メモリー内容に
異常な項目が１つ以上あれば、判断回路１７より警報回
路１９に信号が出て異常表示を行なうと同時に警報ブザ
ーを鳴動して警報を発報する。

ここで、モニターによる故障診断の頻度は、プリセット
カウンタ１６を希望する値に設定しておくことによって
任意に選択することができる。

以上本発明を良否が既知のモニター用半導体素子を所定
の測定回数毎に測定し、半導体素子の良否を判別する場
合を例にとって説明したが、上記の説明で明らかなよう
に、半導体素子を良否判別するすべての自動選別装置に
適用することができる。

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、自動
選別装置を稼動させながら、同時に自動的に装置の異常
の有無を診断することができるため、装置の稼動率を低
下させることなく装置の故障の有無をチェックし、しか
も故障の早期発見、保修時間の短縮を図ることができ、
省力化することができると共に作業能率を飛躍的に向上
することができるので、実用上の効果は極めて犬である
。

また、誤選別を防止することができ半導体素子の品質を
向上することができるという点においても極めて有効で
ある。

以上のように、本発明によれば、従来のこの種の方法に
比して多大の効果があり、半導体素子の自動選別装置と
しては独自のものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の半導体素子の自動選別装置の一例を示す
ブロック図、第２図は本発明による半導体素子の自動選
別装置の一実施例を示すブロック図である。 １・・・・測子部、２・・・・測定回路、３・・・・比
較回路、４・・・・記憶回路、５・・・・分類回路、６
・・・・計数部、１２・・・・モニター用ソケット、１
３・・・・リレー回路、１４・・・・モニター用項目別
良否設定回路、１５・・・・メモリー判定回路、１６・
・・・プリセットカウンタ、１７・・・・判断回路、１
８・・・・カウンタ、１９・・・・警報回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 被測定素子を測定項目、測定条件、測定値にしたが
   って測定し、その測定結果と判定値とを比較して良否を
   判別する半導体素子の自動選別装置において、前記被測
   定素子と良否が既知のモニター用素子とを切換える切換
   手段と、この切換手段と該切換手段の出力を入力とし測
   定条件、判定値を与えて測定する測定回路および電源部
   とからなり前記被測定素子またはモニター用素子に測定
   条件および判定値を与えて測定する測定部と、この測定
   部からの測定結果と判定値とを比較して良否を判別する
   比較部と、この比較部からの良否の判断結果を項目別に
   記憶する記憶部と、この記憶部に記憶された項目毎の良
   否判断結果を組み合わせて１つの分類信号をつくる分類
   部と、前記モニター素子の項目別の良否を予め論理゛１
   “または論理゛０“の２値信号で設定したモニター用項
   目別良否設定部と、この項目別良否設定部の出力と前記
   記憶部の出力を入力とし測定項目毎の判定結果が正しい
   か否かを判断する判定部と、前記分類部の出力を入力と
   し所定の測定回数毎に出力信号を出すプリセットカウン
   タと、前記判定部の結果により通常の測定を再開する信
   号または警報信号を出力する判断部と、この判断部の出
   力を入力としモニターの測定回数を計数するカウンタと
   を備え、前記プリセットカウンタの出力によって前記切
   換手段と分類部および判定部を制御せしめ、判定結果が
   正しいか否かを判断し得るようにしたことを特徴とする
   半導体素子の自動選別装置。