JPS5829437U - レ−ザ印字装置 - Google Patents
レ−ザ印字装置Info
- Publication number
- JPS5829437U JPS5829437U JP12400381U JP12400381U JPS5829437U JP S5829437 U JPS5829437 U JP S5829437U JP 12400381 U JP12400381 U JP 12400381U JP 12400381 U JP12400381 U JP 12400381U JP S5829437 U JPS5829437 U JP S5829437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- laser
- laser printing
- printing device
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案のレーザ印字装置の概略図である。
１はウェハ、２はウェハ固定テーブル、３は集塵機構、
４は集塵機構部ガラス板、５は集塵機、６．６′は集光
レンズ、７． ７’はスキャン光学部、８，８′はエレ
ーザ光線である。 −８
４は集塵機構部ガラス板、５は集塵機、６．６′は集光
レンズ、７． ７’はスキャン光学部、８，８′はエレ
ーザ光線である。 −８
Claims (1)
- レーザ発振装置と、このレーザ発振装置からのレーザ光
を二次元に振る集光光学系を被加工物の表面側と裏面側
に配置し、前記レーザ光を被加工物に集光照射して、被
加工物面にドツト状に溶融加工を行い、そのドツトの連
係により文字を表現するレーザ印字装置において、前記
被加工物と前記表面側集光光学系の間に溶融飛散物を集
塵する集塵機構を設け、前記被加工物の表面に溶融飛散
物が付着するのを防止するようにしたことを特徴とする
レーザ印字装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12400381U JPS5829437U (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | レ−ザ印字装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12400381U JPS5829437U (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | レ−ザ印字装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5829437U true JPS5829437U (ja) | 1983-02-25 |
Family
ID=29917891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12400381U Pending JPS5829437U (ja) | 1981-08-21 | 1981-08-21 | レ−ザ印字装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5829437U (ja) |
-
1981
- 1981-08-21 JP JP12400381U patent/JPS5829437U/ja active Pending
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