JPS5829573B2 - 質量分析計の試料導入装置 - Google Patents
質量分析計の試料導入装置Info
- Publication number
- JPS5829573B2 JPS5829573B2 JP54116177A JP11617779A JPS5829573B2 JP S5829573 B2 JPS5829573 B2 JP S5829573B2 JP 54116177 A JP54116177 A JP 54116177A JP 11617779 A JP11617779 A JP 11617779A JP S5829573 B2 JPS5829573 B2 JP S5829573B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample introduction
- probe
- ion source
- source chamber
- sample
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0459—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components for solid samples
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0468—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components with means for heating or cooling the sample
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は直接試料導入形イオン源を有する質量分析装置
に係り、特に、その試料導入装置の改良に関するもので
ある。
に係り、特に、その試料導入装置の改良に関するもので
ある。
直接試料導入形イオン源は、イオン源室内にコイル状に
捲回した小形のヒータを設け、試料導入プローブの先端
の凹所に収容した液体又は固体試料をヒータ内に挿入し
て加熱し、直接イオン化して質量分析するものである。
捲回した小形のヒータを設け、試料導入プローブの先端
の凹所に収容した液体又は固体試料をヒータ内に挿入し
て加熱し、直接イオン化して質量分析するものである。
この試料導入プローブに試料を収容するときはイオン源
室から試料導入プローブを予備排気室に引出して行うが
、その時はイオン源室の入口をゲートバルブで閉塞しイ
オン源室内の真空度を低下させないようにしている。
室から試料導入プローブを予備排気室に引出して行うが
、その時はイオン源室の入口をゲートバルブで閉塞しイ
オン源室内の真空度を低下させないようにしている。
また、試料を収容した試料導入プローブはゲートバルブ
を開いてイオン源室内に挿入している。
を開いてイオン源室内に挿入している。
このような試料分析時のゲートバルブの開閉動作はすべ
て手動によって行っていたので、試料導入プローブがイ
オン源室に挿入されている時に誤ってゲートバルブを前
進させて試料導入プローブを彎曲させ、その後の使用を
不可能にするという問題点があった。
て手動によって行っていたので、試料導入プローブがイ
オン源室に挿入されている時に誤ってゲートバルブを前
進させて試料導入プローブを彎曲させ、その後の使用を
不可能にするという問題点があった。
本発明は試料導入プローブを損傷することのない質量分
析計の試料導入装置を提供することを目的とし、その特
徴とするところは、試料導入プローブの位置を検出する
プローブ位置検出手段と、試料導入プローブかイオン源
室内に挿入されているときはゲートバルブを開いた状態
に維持させるバルブ位置制御回路とを設けて構成したこ
とにある。
析計の試料導入装置を提供することを目的とし、その特
徴とするところは、試料導入プローブの位置を検出する
プローブ位置検出手段と、試料導入プローブかイオン源
室内に挿入されているときはゲートバルブを開いた状態
に維持させるバルブ位置制御回路とを設けて構成したこ
とにある。
第１図は本発明の一実施例である試料導入装置の断面図
であり、第２図は第１図Ｑ）試料保持部の拡大断面図で
ある。
であり、第２図は第１図Ｑ）試料保持部の拡大断面図で
ある。
第１図は試料導入プローブ３がイオン源室１内に挿入さ
れた状態を示し、先端の試料保持部２は第２図に示すご
とくイオン源１内に設けたコイル状のヒータ１１内に挿
入され加熱される。
れた状態を示し、先端の試料保持部２は第２図に示すご
とくイオン源１内に設けたコイル状のヒータ１１内に挿
入され加熱される。
試料導入プローブ３には２箇所に溝４ａ 、４ｂが設け
られ、試料導入プローブ３を案内するケース１５にはマ
イクロスイッチ５ａ。
られ、試料導入プローブ３を案内するケース１５にはマ
イクロスイッチ５ａ。
５ｂか溝４ａ、４ｂに対応した位置に設置されている。
即ち、図のごとく試料導入プローブ３がイオン源室１内
に挿入されているときは、マイクロスイッチ５ｂの接片
か溝４ｂに嵌入し、試料導入プローブ３の試料保持部２
が予備排気室１７内にあるときはマイクロスイッチ５ａ
の接片か溝４ａに嵌入するようになる。
に挿入されているときは、マイクロスイッチ５ｂの接片
か溝４ｂに嵌入し、試料導入プローブ３の試料保持部２
が予備排気室１７内にあるときはマイクロスイッチ５ａ
の接片か溝４ａに嵌入するようになる。
なお、試料導入プローブ３はケース１５の環状の凹所に
設置したＱ ＩＪソングを摺動するので、試料導入プロ
ーブ３を全部９出さない限り予備排気室１７の真空は保
持されている。
設置したＱ ＩＪソングを摺動するので、試料導入プロ
ーブ３を全部９出さない限り予備排気室１７の真空は保
持されている。
試料導入プローブ３の溝４ａがマイクロスイッチ５ａの
接片を嵌入させるまで引出されたときは、イオン源室１
のプローブ挿入孔を封止するゲートバルブ７の横移動は
可能となる。
接片を嵌入させるまで引出されたときは、イオン源室１
のプローブ挿入孔を封止するゲートバルブ７の横移動は
可能となる。
ゲートバルブ７のプローブ挿入孔と対向する面には環状
の溝が形成され０１Ｊング８が装着されている。
の溝が形成され０１Ｊング８が装着されている。
また、ゲートバルブ７の支持棒１６は壁に設置したＯリ
ング９を介して大気中に出ているので、支持棒１６を押
せば予備排気室１７の真空度を低下させることなくイオ
ン源室１を封じることが可能となる。
ング９を介して大気中に出ているので、支持棒１６を押
せば予備排気室１７の真空度を低下させることなくイオ
ン源室１を封じることが可能となる。
第３図はバルブ位置制御回路図である。
第１図のごとく試料導入プローブ３がイオン源室１内に
挿入されたときは、マイクロスイッチ５ｂの接片が溝４
ｂに落ち込み、その信号をインバータ１２ｂに伝える。
挿入されたときは、マイクロスイッチ５ｂの接片が溝４
ｂに落ち込み、その信号をインバータ１２ｂに伝える。
インバータ１２ｂは低値信号を発生してフリップフロッ
プ１３をセットする。
プ１３をセットする。
この時、マイクロスイッチ５ａの接片は溝に落ち込んで
いないので、その信号を受けたインバータ１２ａは高値
信号を発生し、フリップフロップ１３に影響を与えるこ
とはない。
いないので、その信号を受けたインバータ１２ａは高値
信号を発生し、フリップフロップ１３に影響を与えるこ
とはない。
したがって、フリップフロップ１３の出力は高値信号と
なってゲートバルブ開閉回路１４に開信号を与えたまま
の状態を維持するので、ゲートバルブ１は第１図の開の
状態となっており、試料導入プローブ３を損傷させるこ
とはない。
なってゲートバルブ開閉回路１４に開信号を与えたまま
の状態を維持するので、ゲートバルブ１は第１図の開の
状態となっており、試料導入プローブ３を損傷させるこ
とはない。
この開状態を解除するには試料導入プローブ３を引出し
てマイクロスイッチ５ａの接片が溝４ａに落ち込むよう
にすれば良い。
てマイクロスイッチ５ａの接片が溝４ａに落ち込むよう
にすれば良い。
このようにすれば、インバータ１２ａ、１２ｂよりは上
記とは反対の信号を出力してフリップフロップ１３をリ
セットするので、ゲートバルブ７は突出してプローブ挿
入孔を閉止する。
記とは反対の信号を出力してフリップフロップ１３をリ
セットするので、ゲートバルブ７は突出してプローブ挿
入孔を閉止する。
このときは試料導入プローブ３は引出され試料保持部２
が予備排気室１７内にあるのでこれを損傷することはな
い。
が予備排気室１７内にあるのでこれを損傷することはな
い。
また、予備排気室１７の真空度は０１Ｊング６によって
保持されている。
保持されている。
以上本実施例の試料導入装置は、試料導入プローブの先
端がイオン源室内にある時はゲートバルブを強制的に開
状態に維持させるように構成することによって、細い試
料導入プローブを損傷させることがないという効果が得
られる。
端がイオン源室内にある時はゲートバルブを強制的に開
状態に維持させるように構成することによって、細い試
料導入プローブを損傷させることがないという効果が得
られる。
本発明の質量分析計の試料導入装置は、試料導入プロー
ブを損傷させることなく試料を直接イオン源室内に挿入
して分析できるという効果をもっている。
ブを損傷させることなく試料を直接イオン源室内に挿入
して分析できるという効果をもっている。
第１図は本発明の一実施例である試料導入装置の断面図
、第２図は第１図の試料保持部の拡大断面図、第３図は
バルブ位置制御回路図である。 １・・・・・・イオン源室、２・・・・・・試料保持部
、３・・・・・・試料導入プローブ、４・・・・・・溝
、５・・・・・・マイクロスイッチ、６，８，９・・・
・・・０リング、１・・・・・・ゲートバルブ、１０・
・・・・・試料、１１・・・・・・ヒータ、１２・・・
・・・インバータ、１３・・・・・・フリップフロップ
、１４・・・・・・ゲートバルブ開閉回路、１５・・・
・・・ケース、１６・・・・・・支持棒、１１・・・・
・・予備排気室。
、第２図は第１図の試料保持部の拡大断面図、第３図は
バルブ位置制御回路図である。 １・・・・・・イオン源室、２・・・・・・試料保持部
、３・・・・・・試料導入プローブ、４・・・・・・溝
、５・・・・・・マイクロスイッチ、６，８，９・・・
・・・０リング、１・・・・・・ゲートバルブ、１０・
・・・・・試料、１１・・・・・・ヒータ、１２・・・
・・・インバータ、１３・・・・・・フリップフロップ
、１４・・・・・・ゲートバルブ開閉回路、１５・・・
・・・ケース、１６・・・・・・支持棒、１１・・・・
・・予備排気室。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 直接試料導入形イオン源室と、この直接試料導入形
イオン源室に挿入する試料導入プローブと、この試料導
入プローブを引出したときに上記直接試料導入形イオン
源室と上記試料導入プローブの予備排気室との間を封止
するゲートバルブとを備えた質量分析計の試料導入装置
において、上記試料導入プローブの位置を検出するプロ
ーブ位置検出手段と、上記試料導入プローブが上記イオ
ン源室に挿入されているときは上記ゲートバルブを開い
た状態に維持させるバルブ位置制御回路とを設けて構成
したことを特徴とする質量分析計の試料導入装置。 ２ 上記プローブ位置検出手段が、上記試料導入プロー
ブの異なる位置に設けた一対の溝と、それに嵌入する接
片を有する一対のマイクロスイッチである特許請求の範
囲第１項記載の質量分析計の試料導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54116177A JPS5829573B2 (ja) | 1979-09-12 | 1979-09-12 | 質量分析計の試料導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54116177A JPS5829573B2 (ja) | 1979-09-12 | 1979-09-12 | 質量分析計の試料導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5641664A JPS5641664A (en) | 1981-04-18 |
| JPS5829573B2 true JPS5829573B2 (ja) | 1983-06-23 |
Family
ID=14680694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54116177A Expired JPS5829573B2 (ja) | 1979-09-12 | 1979-09-12 | 質量分析計の試料導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5829573B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5825741U (ja) * | 1981-08-15 | 1983-02-18 | 関東自動車工業株式会社 | ヘツドレストの格納装置 |
| JPS6052155U (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | プレス工業株式会社 | 自動車の屋根上の物品収納庫 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6099772U (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | 日本電子株式会社 | 直接試料導入装置 |
| JP7460443B2 (ja) * | 2020-05-14 | 2024-04-02 | 日本プラスト株式会社 | 風向調整装置 |
| CN114664638B (zh) * | 2022-03-31 | 2024-11-08 | 宁波大学 | 一种带富集功能的离子源 |
-
1979
- 1979-09-12 JP JP54116177A patent/JPS5829573B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5825741U (ja) * | 1981-08-15 | 1983-02-18 | 関東自動車工業株式会社 | ヘツドレストの格納装置 |
| JPS6052155U (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | プレス工業株式会社 | 自動車の屋根上の物品収納庫 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5641664A (en) | 1981-04-18 |
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