JPS5829870B2 - 漏洩試験装置 - Google Patents
漏洩試験装置Info
- Publication number
- JPS5829870B2 JPS5829870B2 JP52108428A JP10842877A JPS5829870B2 JP S5829870 B2 JPS5829870 B2 JP S5829870B2 JP 52108428 A JP52108428 A JP 52108428A JP 10842877 A JP10842877 A JP 10842877A JP S5829870 B2 JPS5829870 B2 JP S5829870B2
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- JP
- Japan
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- filament
- output
- abnormality detection
- amplifier
- leak test
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガス漏洩試験装置に関し、ヘリウムリークデテ
クタを用いて被検査体から漏れて来る微量のガスを検出
、定量して表示器（メータという）に表示できるように
したものである。
クタを用いて被検査体から漏れて来る微量のガスを検出
、定量して表示器（メータという）に表示できるように
したものである。
この種の漏洩試験装置としては例えば第１図に示す如く
、被試験体１に真空配管２を介して質量分析形漏洩試験
機を用いたヘリウムリークデテクタ３が接続されている
。
、被試験体１に真空配管２を介して質量分析形漏洩試験
機を用いたヘリウムリークデテクタ３が接続されている
。
ここで被試験体１ば、リークテスト方法として真空法を
用いる場合は被検査体そのものを用い、これに対してペ
ルジャー法を用いる場合はヘリウムガスを充填した被検
査体を試験用真空容器に収納したものを用いる。
用いる場合は被検査体そのものを用い、これに対してペ
ルジャー法を用いる場合はヘリウムガスを充填した被検
査体を試験用真空容器に収納したものを用いる。
ヘリウムリークデテクタ３はメータ４を有し、被試験体
１からヘリウムガスが漏出するとそのリーク量は第２図
に示す如く、Ｏレベルからリーク量に応じた値Ｈ１だけ
増加する。
１からヘリウムガスが漏出するとそのリーク量は第２図
に示す如く、Ｏレベルからリーク量に応じた値Ｈ１だけ
増加する。
このようにメータ４は漏れがないときＯを示し、被検査
体の漏れが大きい程メータ４の振れが大きくなるように
なされ、従って通常はメータ４が振れない場合には被検
査体の漏れは無いか又は検出できない程小さい漏れしか
ないと判断している。
体の漏れが大きい程メータ４の振れが大きくなるように
なされ、従って通常はメータ４が振れない場合には被検
査体の漏れは無いか又は検出できない程小さい漏れしか
ないと判断している。
ヘリウムデテクタ３は第３図に示す如く、リークガスの
検出素子として質量分析管１１を有する分析回路１２を
用いている。
検出素子として質量分析管１１を有する分析回路１２を
用いている。
分析管１１は電源１３によって加熱される熱電子放出用
フィラメント１４と、これに対向するアノード１５とを
具え、フィラメント１４から放出される熱電子を偏向電
極（図示せず）によって電子ビームに生成させ、この電
子ビームによってプローブガスのイオン化を行うことに
よって質量分析を行うようになされている。
フィラメント１４と、これに対向するアノード１５とを
具え、フィラメント１４から放出される熱電子を偏向電
極（図示せず）によって電子ビームに生成させ、この電
子ビームによってプローブガスのイオン化を行うことに
よって質量分析を行うようになされている。
しかるに従来の質量分析管１１に１いては、熱電子流、
従ってアノード電流を一定に制御するためにアノード電
流の流れるループ内にアノード電流検出用の抵抗１６を
設け、その両端電圧の変動分を増幅器１７によって検出
増幅し、その出力によってフィラメント１４及び電源１
３間に介挿されたフィラメント電流制御回路１８（例え
ばトランジスタを可変抵抗素子として有するものを適用
し得る）を制御し、かくしてフィラメント温度を制御す
ることによりアノード電流な一定値に保つようになされ
ている。
従ってアノード電流を一定に制御するためにアノード電
流の流れるループ内にアノード電流検出用の抵抗１６を
設け、その両端電圧の変動分を増幅器１７によって検出
増幅し、その出力によってフィラメント１４及び電源１
３間に介挿されたフィラメント電流制御回路１８（例え
ばトランジスタを可変抵抗素子として有するものを適用
し得る）を制御し、かくしてフィラメント温度を制御す
ることによりアノード電流な一定値に保つようになされ
ている。
なお１９は加速用高圧電源である。
ところでかかる構成の分析回路１２において、質量分析
管１１のフィラメント１５が断線したり、又は質量分析
管１１を流れる電子流が小さくなった場合には、質量分
析管１１は分析動作をなし得なくなるか、又は漏洩試験
装置全体として検出感度が著しく低下することになるか
ら、これらの事故をいち早く検出して処置することが望
ましい。
管１１のフィラメント１５が断線したり、又は質量分析
管１１を流れる電子流が小さくなった場合には、質量分
析管１１は分析動作をなし得なくなるか、又は漏洩試験
装置全体として検出感度が著しく低下することになるか
ら、これらの事故をいち早く検出して処置することが望
ましい。
本発明はかかる要望事項を確実に実現しようとするもの
である。
である。
以下第３図との対応部分には同一符号を附して示す図面
について本発明の一例を詳述する。
について本発明の一例を詳述する。
第４図は本発明の第１の実施例を示すもので、この場合
フィラメント電流制御回路１８に与えられる制御信号Ｄ
Ｔがコンパレータ２１に比較検出入力として与えられる
。
フィラメント電流制御回路１８に与えられる制御信号Ｄ
Ｔがコンパレータ２１に比較検出入力として与えられる
。
なおこのコンパレータ２１には警報レベル設定用の基準
電圧信号ＳＥが基準電源２２及び可変抵抗２３でなる基
準電圧発生回路２４から与えられる。
電圧信号ＳＥが基準電源２２及び可変抵抗２３でなる基
準電圧発生回路２４から与えられる。
第４図の構成において、質量分析管１１のフィラメント
１５が消耗しその抵抗値が増加して来ると増幅器１７の
出力電圧ＤＴが減少して行き、これに応じてフィラメン
ト電流制御回路１８がその等価抵抗を減少制御される。
１５が消耗しその抵抗値が増加して来ると増幅器１７の
出力電圧ＤＴが減少して行き、これに応じてフィラメン
ト電流制御回路１８がその等価抵抗を減少制御される。
従ってフィラメント１４へ流れ込む電流は増大し、かく
して質量分析管１１のアノード電流はかかるサーボ動作
によりほぼ一定値に制御される。
して質量分析管１１のアノード電流はかかるサーボ動作
によりほぼ一定値に制御される。
ところが、この状態において、フィラメント１４の消耗
が極端に大となり、上述のループのサーボ動作許容限界
として上限（又は下限）を越えると、以後増幅器１７の
出力ＤＴＩＩ′ｉ可制御範囲の上限値（又は下限値）に
固定される。
が極端に大となり、上述のループのサーボ動作許容限界
として上限（又は下限）を越えると、以後増幅器１７の
出力ＤＴＩＩ′ｉ可制御範囲の上限値（又は下限値）に
固定される。
従ッてこのトキコンパレータ２１の比較出力ＡＲＭは一
定値を維持することになり、かく一定値となったことに
より異常の発生（すなわちフィラメントの消耗によって
アノード電流を一定値に制御できなくなったこと）を判
知し得る。
定値を維持することになり、かく一定値となったことに
より異常の発生（すなわちフィラメントの消耗によって
アノード電流を一定値に制御できなくなったこと）を判
知し得る。
一方フィラメント１４が断線したときは、みかけ上その
抵抗は無限大になるから可制御範囲の限界値を越えるこ
とになる。
抵抗は無限大になるから可制御範囲の限界値を越えるこ
とになる。
従ってコンパレータ２１の出力は異常検出レベルになる
ので、確実にフィラメント１４の断線を検出できる。
ので、確実にフィラメント１４の断線を検出できる。
このように第４図の構成に依れば、フィラメント１４の
消耗ないし断線を確実に検出し得る。
消耗ないし断線を確実に検出し得る。
なおコンパレータ２１の出力側に警報回路を設け、コン
パレータ２１の出力が一定値となったとき警報を発する
ようにしても良い。
パレータ２１の出力が一定値となったとき警報を発する
ようにしても良い。
第５図は本発明の第２の実施例を示す。
第４図の場合は比較手段としてコンパレータ２１を用い
たがこれに代え、ゼナーダイオード３１及びフォトカプ
ラ３２でなる直列回路を設け、増幅器１７の出力ＤＴを
この直列回路に与えると共に、フォトカプラ３２の出力
を異常検出出力ＡＲＭとして送出する。
たがこれに代え、ゼナーダイオード３１及びフォトカプ
ラ３２でなる直列回路を設け、増幅器１７の出力ＤＴを
この直列回路に与えると共に、フォトカプラ３２の出力
を異常検出出力ＡＲＭとして送出する。
第５図において増幅器１７としてＩＣ構成の演算増幅器
を用い、ゼナーダイオード３１として動作電圧６■のも
のを用いた場合、フィラメント１４が正常に動作してい
るとき増幅器１７の出力ＤＴは４〜５■であり、このと
きゼナーダイオード３１には電流は流れず、従ってフォ
トカプラ３２から異常検出出力ＡＲＭは得られない。
を用い、ゼナーダイオード３１として動作電圧６■のも
のを用いた場合、フィラメント１４が正常に動作してい
るとき増幅器１７の出力ＤＴは４〜５■であり、このと
きゼナーダイオード３１には電流は流れず、従ってフォ
トカプラ３２から異常検出出力ＡＲＭは得られない。
これに対してフィラメント１４の消耗が進んでアノード
電流の一定埴制御ができなくなると、増幅器１７の出力
は１０■１で上昇し、このときゼナーダイオード３１が
導通動作することによりフォトカプラ３２から異常検出
出力ＡＲＭが得られる。
電流の一定埴制御ができなくなると、増幅器１７の出力
は１０■１で上昇し、このときゼナーダイオード３１が
導通動作することによりフォトカプラ３２から異常検出
出力ＡＲＭが得られる。
このように第５図の構成に依れば、フィラメント１４の
消耗により生じた抵抗増大変化に基づくアノード電流の
変化を知ることによりフィラメント１４の断線２はその
予知を簡易な構成をもって確実になし得る。
消耗により生じた抵抗増大変化に基づくアノード電流の
変化を知ることによりフィラメント１４の断線２はその
予知を簡易な構成をもって確実になし得る。
第６図は本発明の第３の実施例でフィラメント電流制御
回路１８による一定値制御をしない場合の例を示す。
回路１８による一定値制御をしない場合の例を示す。
この場合フィラメント１４に対する加熱電源４１を電源
とし、フィラメント１４を一辺とするブリッジ回路４２
を構成する。
とし、フィラメント１４を一辺とするブリッジ回路４２
を構成する。
すなわち電源４１にフィラメント１４及び抵抗４３の直
列回路と、抵抗４４及び４５の直列回路とを並列に接続
し、フィラメント１４及び抵抗４３の接続中点と、抵抗
４４及び４５の接続中点とを差動増幅器構成の検出回路
４６に接続する。
列回路と、抵抗４４及び４５の直列回路とを並列に接続
し、フィラメント１４及び抵抗４３の接続中点と、抵抗
４４及び４５の接続中点とを差動増幅器構成の検出回路
４６に接続する。
第６図の構成において、検出回路４６の出力ＡＲＭはフ
ィラメント１４の抵抗値の変化に応じて変化し、従って
その変化が予定範囲を越えたとき異常の発生を判知し得
る。
ィラメント１４の抵抗値の変化に応じて変化し、従って
その変化が予定範囲を越えたとき異常の発生を判知し得
る。
なお第６図の場合は、ブリッジ回路４２の電源として分
析管１１のフィラメント１４に対する電源４１を共用し
たが、この電源４１とは別個に専用の電源を用意しても
良い。
析管１１のフィラメント１４に対する電源４１を共用し
たが、この電源４１とは別個に専用の電源を用意しても
良い。
第７図は本発明の第４の実施例で第６図の他の例を示す
。
。
この場合は第４図においてフィラメント１４及び電源１
３間のフィラメント電流制御回路１８と、コンパレータ
２１とを省略して増幅器１７の出力ＤＴを直接異常検出
出力として取り出すようになされている。
３間のフィラメント電流制御回路１８と、コンパレータ
２１とを省略して増幅器１７の出力ＤＴを直接異常検出
出力として取り出すようになされている。
第７図の構成に依れば、フィラメント１４が消耗してア
ノード電流が増加したとき増幅器１７の出力が増大する
ことにより、第６図の場合と同様にこの異常を判知し得
、かくするにつき、構成の簡易化を一段と促進し得る。
ノード電流が増加したとき増幅器１７の出力が増大する
ことにより、第６図の場合と同様にこの異常を判知し得
、かくするにつき、構成の簡易化を一段と促進し得る。
第８図は本発明の第５の実施例を示すもので、第４図に
おいて、アノード電流検出用抵抗１６を省略してこれに
代え、フィラメント１４に対する電源回路１３にフィラ
メント電流検出用抵抗５１を設け、その両端電圧をコン
パレータ５２を介して異常検出出力ＡＲＭとして送出す
る。
おいて、アノード電流検出用抵抗１６を省略してこれに
代え、フィラメント１４に対する電源回路１３にフィラ
メント電流検出用抵抗５１を設け、その両端電圧をコン
パレータ５２を介して異常検出出力ＡＲＭとして送出す
る。
第８図の構成においてフィラメント１４の消耗によりそ
の抵抗が激増すれば、コンパレータ５２から異常検出出
力ＡＲＭを検出し得、かくしてフィラメント１４の断線
の予知と、断線の検出とを確実になし得る。
の抵抗が激増すれば、コンパレータ５２から異常検出出
力ＡＲＭを検出し得、かくしてフィラメント１４の断線
の予知と、断線の検出とを確実になし得る。
な１第８図において、抵抗５１及びコンパレータ５２に
代えて第９図に示す如く異常検出用リレー５３を設ける
ようにしても良い。
代えて第９図に示す如く異常検出用リレー５３を設ける
ようにしても良い。
この場合フィラメント１４の断線の検出を極めて簡易な
構成をもって実現できる。
構成をもって実現できる。
なお断線の予知をするにはリレー５３としてその感動電
流を必要に応じて所定のものに選定すれば良い。
流を必要に応じて所定のものに選定すれば良い。
第４図及び第５図の実施例の場合フィラメント電流制御
回路１８としてトランジスタの等価抵抗を利用するよう
にしたものを用いたが、これに代え５ＣＲ１）ライアツ
ク等の半導体素子による位相制御方式を用いたものや、
過飽和リアクトルによる電流制御方式を用いたものなど
、種々のものを適用し得る。
回路１８としてトランジスタの等価抵抗を利用するよう
にしたものを用いたが、これに代え５ＣＲ１）ライアツ
ク等の半導体素子による位相制御方式を用いたものや、
過飽和リアクトルによる電流制御方式を用いたものなど
、種々のものを適用し得る。
また上述においては熱電子放出手段としてフィラメント
から直接熱電子放出をさせるようにした直熱型のものを
用いたが、これに代えフィラメントによってカソードを
加熱する傍熱型のものを用いても良い。
から直接熱電子放出をさせるようにした直熱型のものを
用いたが、これに代えフィラメントによってカソードを
加熱する傍熱型のものを用いても良い。
第１図及び第２図は本発明を適用し得る漏洩試験装置の
概要を示すブロック図及び信号波形図、第３図はその従
来の分析回路を示す接続図、第４図は本発明に依る漏洩
試験装置の一例を示す接続図、第５図ないし第９図は本
発明の他の例を示す接続図である。 １・・・・−・被試験体、２・・・・・・真空配管、３
・・・・・・ヘリウムリークデテクタ、４・・・・・・
メータ、１１・・・・・・質量分析管、１２・・・・・
・分析回路、１３．４１・・・・・・電源、１４−−−
−−フィラメント、１５・・・・・・アノード、１６・
・・・・・アノード電流検出用抵抗、１７・・・・・・
増幅器、１８・・・・・・フィラメント電流制御回路、
２１゜５２・・・・・・コンパレータ、２４・・・・・
・基準電圧発生回路、３１・・・・・・ゼナーダイオー
ド、３２・・・・・・フォトカブラ、４２・・・・・・
ブリッジ回路、４６・・・・・・検出回路、５１・・・
・・・フィラメント電流検出用抵抗、５３・・・・・・
異常検出用リレー。
概要を示すブロック図及び信号波形図、第３図はその従
来の分析回路を示す接続図、第４図は本発明に依る漏洩
試験装置の一例を示す接続図、第５図ないし第９図は本
発明の他の例を示す接続図である。 １・・・・−・被試験体、２・・・・・・真空配管、３
・・・・・・ヘリウムリークデテクタ、４・・・・・・
メータ、１１・・・・・・質量分析管、１２・・・・・
・分析回路、１３．４１・・・・・・電源、１４−−−
−−フィラメント、１５・・・・・・アノード、１６・
・・・・・アノード電流検出用抵抗、１７・・・・・・
増幅器、１８・・・・・・フィラメント電流制御回路、
２１゜５２・・・・・・コンパレータ、２４・・・・・
・基準電圧発生回路、３１・・・・・・ゼナーダイオー
ド、３２・・・・・・フォトカブラ、４２・・・・・・
ブリッジ回路、４６・・・・・・検出回路、５１・・・
・・・フィラメント電流検出用抵抗、５３・・・・・・
異常検出用リレー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 熱電子放出用フィラメントとこれに対向するアノー
ドとの間に電子ビームを生成し、この電子ビームによっ
てプローブガスのイオン化を行う質量分析管を具えたガ
ス漏洩試験装置において、上記質量分析管のフィラメン
トの消耗の進行に応じてその抵抗が変化することを利用
して当該抵抗変化を表わす出力を得る異常検出回路を具
えたことを特徴とするガス漏洩試験装置。 ２ 第１項特許請求の範囲において、上記異常検出回路
はアノード電流検出用抵抗と、その両端電圧に相当する
出力を発生する増幅器とを具え、上記増幅器の出力に基
づいて異常検出出力を得るようにしてなるガス漏洩試験
装置。 ３ 第２、特許請求の範囲において、上記増幅器の出力
を基準値と比較して予定の限界値を越えたとき異常検出
出力を発生する比較手段を具えてなるガス漏洩試験装置
。 ４ 第１項特許請求の範囲において、上記異常検出回路
は上記フィラメントをτ辺に含んでなるブリッジ回路で
構成されているガス漏洩試験装置。 ５ 第１項特許請求の範囲において、上記異常検出回路
はフィラメント電流検出用抵抗と、その両端電圧に相当
する出力を発生する増幅器とを具え、上記増幅器の出力
に基づいて異常検出出力を得るようにしてなるガス漏洩
試験装置。 ６ 第５項特許請求の範囲において、上記増幅器の出力
を基準値と比較して予定の限界値を越えたとき異常検出
出力を発生する比較手段を具えてなるガス漏洩試験装置
。 ７ 第１項特許請求の範囲において、上記異常検出回路
は上記フィラメントに直列に接続された異常検出用リレ
ーでなるガス漏洩試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52108428A JPS5829870B2 (ja) | 1977-09-09 | 1977-09-09 | 漏洩試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52108428A JPS5829870B2 (ja) | 1977-09-09 | 1977-09-09 | 漏洩試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5441793A JPS5441793A (en) | 1979-04-03 |
| JPS5829870B2 true JPS5829870B2 (ja) | 1983-06-25 |
Family
ID=14484513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52108428A Expired JPS5829870B2 (ja) | 1977-09-09 | 1977-09-09 | 漏洩試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5829870B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59143062U (ja) * | 1983-03-12 | 1984-09-25 | ソニー株式会社 | 集合プリント配線基板 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58135007A (ja) * | 1982-02-06 | 1983-08-11 | Mizushima Gomme Kogyo Yohin Kk | コンベヤベルトの縦裂補修装置 |
-
1977
- 1977-09-09 JP JP52108428A patent/JPS5829870B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59143062U (ja) * | 1983-03-12 | 1984-09-25 | ソニー株式会社 | 集合プリント配線基板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5441793A (en) | 1979-04-03 |
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