JPS5830181A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5830181A JPS5830181A JP56128377A JP12837781A JPS5830181A JP S5830181 A JPS5830181 A JP S5830181A JP 56128377 A JP56128377 A JP 56128377A JP 12837781 A JP12837781 A JP 12837781A JP S5830181 A JPS5830181 A JP S5830181A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- laser
- laser light
- adjusting circuit
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 16
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/136—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling devices placed within the cavity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、グラファイト焼結型細管を有するイオンレー
ザ装置に関する。
ザ装置に関する。
従来のこの種のイオンレーザ装置は第１図に示すように
、レーザ管１はアノード５とカソード７との間で放電し
、出力ミラー３と全反射ミラー４とで構成される光共振
器によりレーザ発振し、レーザ光ｌｌを出力する。
、レーザ管１はアノード５とカソード７との間で放電し
、出力ミラー３と全反射ミラー４とで構成される光共振
器によりレーザ発振し、レーザ光ｌｌを出力する。
イオンレーザは、イオン化された希ガスのエネルギーレ
ベル間の遷移によってレーザ発振全行なわせるものであ
り、可視域においてワット台の大出力連続発振が得られ
る唯一のガスレーザなので、ラマン分光、ホログラフィ
−など広く用いられている。しかし、希ガスのイオン化
エネルギーが高いため、レーザ細管内に数１０アンペア
におよぶ大電流アーク放電を行なわせる必要があり、こ
のときレーず細管では６〜９ｋｗに達する熱発生がある
。したがって、イオンレーザの細管としては、イオンの
衝撃に耐えることができ、熱分解しにくい材料をえらぶ
必要がある。その几め、中央に穴の設けられたグラファ
イトディスク群６．１０ｔならべ、中央穴の列をもって
レーザ細管とするものが用いられている。さらに６〜９
ｋｗにおよぶ熱をレーザ細管外部に放出させるため、管
外部に冷却水全通すなどして冷却しているが、長時間使
用していると、グラ７アイトデイスク群６．１０の中央
孔８，８′のグラファイトが粉末となってくずれ、中央
孔８の穴径は従々に大きくなり、ついｖｃｖ−ザ光１１
ｔ−ガワスビーム（ＴＥＭｏｏモード）Ｋする友めに必
要な最大径より大きくなり、レーザ光１１はマルチモー
ド（ＴＥＭｔｏ モードなどの混入したモード）になり
、レーザの基本的特性であるコヒーレンジ（可干渉性）
が悪くなるという問題がある。また、グラファイトディ
スク１０はレーザ光１１’ｔガウスビーム（ＴＥＭｏｏ
モード）にするため、モード抑制グラファイトディスク
で、中央孔８をあらかじめ小さめにしておく必要がある
沈め、通常的２０００ 使用してもレーザ光１１をガ
ウスビーム（ＴＢＭｏ ｏモード）Ｋするため、初期に
おいては、レーザ光１１の出力パワーまでをも犠牲にす
るほど中央孔８を小さくしている。
ベル間の遷移によってレーザ発振全行なわせるものであ
り、可視域においてワット台の大出力連続発振が得られ
る唯一のガスレーザなので、ラマン分光、ホログラフィ
−など広く用いられている。しかし、希ガスのイオン化
エネルギーが高いため、レーザ細管内に数１０アンペア
におよぶ大電流アーク放電を行なわせる必要があり、こ
のときレーず細管では６〜９ｋｗに達する熱発生がある
。したがって、イオンレーザの細管としては、イオンの
衝撃に耐えることができ、熱分解しにくい材料をえらぶ
必要がある。その几め、中央に穴の設けられたグラファ
イトディスク群６．１０ｔならべ、中央穴の列をもって
レーザ細管とするものが用いられている。さらに６〜９
ｋｗにおよぶ熱をレーザ細管外部に放出させるため、管
外部に冷却水全通すなどして冷却しているが、長時間使
用していると、グラ７アイトデイスク群６．１０の中央
孔８，８′のグラファイトが粉末となってくずれ、中央
孔８の穴径は従々に大きくなり、ついｖｃｖ−ザ光１１
ｔ−ガワスビーム（ＴＥＭｏｏモード）Ｋする友めに必
要な最大径より大きくなり、レーザ光１１はマルチモー
ド（ＴＥＭｔｏ モードなどの混入したモード）になり
、レーザの基本的特性であるコヒーレンジ（可干渉性）
が悪くなるという問題がある。また、グラファイトディ
スク１０はレーザ光１１’ｔガウスビーム（ＴＥＭｏｏ
モード）にするため、モード抑制グラファイトディスク
で、中央孔８をあらかじめ小さめにしておく必要がある
沈め、通常的２０００ 使用してもレーザ光１１をガ
ウスビーム（ＴＢＭｏ ｏモード）Ｋするため、初期に
おいては、レーザ光１１の出力パワーまでをも犠牲にす
るほど中央孔８を小さくしている。
本発明の目的は、前記欠点を除去し、長期間にわ九って
ガウスビームを得られ、モード抑制グラファイトディス
クの必要ないイオンレーザ装置を提供することにある。
ガウスビームを得られ、モード抑制グラファイトディス
クの必要ないイオンレーザ装置を提供することにある。
本発明によれば、アノードとカソードならびにこれらの
アノードとカソード間にグラファイトディスク群のレー
ザ細管を有するレーザ管と、全反射ミラーと、出力ξラ
ーとを具備するイオンレーザ装置において、出力ξラー
と前記グラファイトディスク群との間に縦軸および横軸
に移動できるアパーチャーを備えたことを特徴とするイ
オンレーザ装置が得られる。
アノードとカソード間にグラファイトディスク群のレー
ザ細管を有するレーザ管と、全反射ミラーと、出力ξラ
ーとを具備するイオンレーザ装置において、出力ξラー
と前記グラファイトディスク群との間に縦軸および横軸
に移動できるアパーチャーを備えたことを特徴とするイ
オンレーザ装置が得られる。
以下、第２図の一実施例につ−て本発明の詳細な説明す
る。
る。
レーザ管１はアノード５とカソード７との間で放電し、
出力ミラー３とアパーチャ１５と全反射ミラー４とで構
成される光共振器によりレーザ発振し、レーザ光１１を
出力する。そして、レーザ光１１からビームスブリック
１２により１部のレーザ光１３ｔ−取り出し、光検出器
１４に入射する、光検出器１４の出力信号をアパーチャ
内径調節回路１６．アパーチャ縦軸調節回路１７、アパ
ーチャ横軸調節回路１８とに供給する。そこで、レーザ
光１１のｌｌｌ５のレーザ光１３が最大になるよう、ア
パーチャ縦軸調節回路１７および、アパーチャ横軸調節
回路１８により、アパーチャ１５の位置ｔ−調節する。
出力ミラー３とアパーチャ１５と全反射ミラー４とで構
成される光共振器によりレーザ発振し、レーザ光１１を
出力する。そして、レーザ光１１からビームスブリック
１２により１部のレーザ光１３ｔ−取り出し、光検出器
１４に入射する、光検出器１４の出力信号をアパーチャ
内径調節回路１６．アパーチャ縦軸調節回路１７、アパ
ーチャ横軸調節回路１８とに供給する。そこで、レーザ
光１１のｌｌｌ５のレーザ光１３が最大になるよう、ア
パーチャ縦軸調節回路１７および、アパーチャ横軸調節
回路１８により、アパーチャ１５の位置ｔ−調節する。
次にレーザ光１１がガウスビーム（ＴＥＭｏｏモード）
になる限界までアパーチャ内径調節回路１６により、ア
パーチャ１５の内径を小さくする。スイッチ１９を閉じ
ると光検出器１４の出力信号が一定になるようアパーチ
ャ内径調節回路１６が動作する。従ってモード抑制グラ
ファイトディスク１０の中央孔８とグラファイトディス
ク群６の中央孔８′は同じ内径で良く、レーザ光１１の
出力パワーを犠牲にしなくてすむ。またグラファイトデ
ィスク群６．１０の中央孔８．８′がイオン衡撃によっ
て粉末状になってくずれレーザ細管が太めになり、レー
ザ活性領域での利得が低下し、レーザ光１１の出力パワ
ーが低下してきた場合にも、前記アパーチャ１５の内径
をガウスビーム（ＴＥＭｏ ｏモード）を維持できる限
界まで大きくできるので、レーザ光１１の出力パワーを
一定に保つことができる。よって長期間にわたって出力
パワーの安定なガウスビームを保持できる。
になる限界までアパーチャ内径調節回路１６により、ア
パーチャ１５の内径を小さくする。スイッチ１９を閉じ
ると光検出器１４の出力信号が一定になるようアパーチ
ャ内径調節回路１６が動作する。従ってモード抑制グラ
ファイトディスク１０の中央孔８とグラファイトディス
ク群６の中央孔８′は同じ内径で良く、レーザ光１１の
出力パワーを犠牲にしなくてすむ。またグラファイトデ
ィスク群６．１０の中央孔８．８′がイオン衡撃によっ
て粉末状になってくずれレーザ細管が太めになり、レー
ザ活性領域での利得が低下し、レーザ光１１の出力パワ
ーが低下してきた場合にも、前記アパーチャ１５の内径
をガウスビーム（ＴＥＭｏ ｏモード）を維持できる限
界まで大きくできるので、レーザ光１１の出力パワーを
一定に保つことができる。よって長期間にわたって出力
パワーの安定なガウスビームを保持できる。
第１図は従来のイオンレーザ装置を示す断面図、第２図
は本発明の一実施例を示す構成略図である。 １・・・・・・レーザ管、２，２’・・・・・・光学窓
、３・・・・・・出力ミラー、４・・・・・・全反射ミ
ラー、５・・・・・・アノード、６・・・・・・グラフ
ァイトディスク群、７・・・・・・カソード、８．８’
・・・・・・中央孔、９・・・・・・リターンパス、１
０・・・・・・モード抑制グラ７アイトデイスク、１１
゜１３・・・・・・レーザ光、１２・・・・・・ビーム
スプリ、り、１４・・・・・・光検出器、１５・・・・
・・アパーチャ、１６・・・・・・アパーチャ内径調節
回路、１７・・・・・・アパーチャ縦軸調節回路、１８
・・・・・・アパーチャ横軸調節回路、１９・・・・・
・スイッチ。
は本発明の一実施例を示す構成略図である。 １・・・・・・レーザ管、２，２’・・・・・・光学窓
、３・・・・・・出力ミラー、４・・・・・・全反射ミ
ラー、５・・・・・・アノード、６・・・・・・グラフ
ァイトディスク群、７・・・・・・カソード、８．８’
・・・・・・中央孔、９・・・・・・リターンパス、１
０・・・・・・モード抑制グラ７アイトデイスク、１１
゜１３・・・・・・レーザ光、１２・・・・・・ビーム
スプリ、り、１４・・・・・・光検出器、１５・・・・
・・アパーチャ、１６・・・・・・アパーチャ内径調節
回路、１７・・・・・・アパーチャ縦軸調節回路、１８
・・・・・・アパーチャ横軸調節回路、１９・・・・・
・スイッチ。
Claims (1)
- アノードとカソード間にグラファイトディスク群よりな
るレーザ細管を有するイオンレーザ装置において、レー
ザ共振器用ンラーと前記グラファイトディスク群との間
に縦軸および横軸に移動できるアパーチャーを具備し、
レーザ共振器用ミラーの外部にレーザ出力の一部をとり
出すビームスプリ、りと、レーザ出力の一部全検出する
光検出器と、光検出器の出力信号により、前記アパーチ
ャーを縦軸および横軸に移動させるためのアバ゛−チャ
ー移動装置を具備したことを特徴とするイオンレーザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56128377A JPS5830181A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56128377A JPS5830181A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830181A true JPS5830181A (ja) | 1983-02-22 |
Family
ID=14983310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56128377A Pending JPS5830181A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830181A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59134886A (ja) * | 1983-01-20 | 1984-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
-
1981
- 1981-08-17 JP JP56128377A patent/JPS5830181A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59134886A (ja) * | 1983-01-20 | 1984-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4689466A (en) | Laser-beam operated machining apparatus | |
| US3428914A (en) | Gas lasers with plasma tube having variable cross-section and discharge current | |
| TWI766139B (zh) | 深紫外線（ｄｕｖ）光源及相關的放電室及陽極、操作放電室之方法、及用於雷射源中之電極 | |
| JPS5830181A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPS58212189A (ja) | ガスレ−ザ発生装置 | |
| US3878479A (en) | Means for regulating vapor pressure in a metal-vapor laser | |
| JPS59188987A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPS61231783A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPS61231784A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| JPS62145790A (ja) | 短波長放射光システム | |
| JPS6143877B2 (ja) | ||
| JPH0464478B2 (ja) | ||
| Schellhorn et al. | Deep penetration welding using a CO laser with an unstable resonator | |
| JPS59188986A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| Eichler et al. | Laser Transitions in Neutral Atoms | |
| Grachev et al. | 3-kW high-beam-quality CW CO2 laser with line tuning and Q-switched pulsing capabilities | |
| Krasjukov et al. | Investigation of physical processes in atmospheric pressure e-beam CO2 laser | |
| Lando et al. | Pointing stability of copper vapor laser with novel off-axis unstable resonator | |
| Batanov et al. | Millisecond neodymium-glass laser characterized by a high output energy and a high directionality of radiation | |
| JPS63128686A (ja) | イオンレ−ザ管 | |
| Lando et al. | Modified off-axis unstable resonator for copper vapor laser | |
| JPS58188179A (ja) | イオンレ−ザ装置 | |
| Il'ina et al. | Series of carbon dioxide lasers based on the LG-17 model | |
| Abil'siitov et al. | Industrial lasers developed at the Scientific-Research Center for Industrial Lasers of the USSR Academy of Sciences | |
| Domnin et al. | D2O laser for absolute frequency measurements |