JPS5832671B2 - 電子線量の計測方法 - Google Patents
電子線量の計測方法Info
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- JPS5832671B2 JPS5832671B2 JP568378A JP568378A JPS5832671B2 JP S5832671 B2 JPS5832671 B2 JP S5832671B2 JP 568378 A JP568378 A JP 568378A JP 568378 A JP568378 A JP 568378A JP S5832671 B2 JPS5832671 B2 JP S5832671B2
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- HYBBIBNJHNGZAN-UHFFFAOYSA-N furfural Chemical compound O=CC1=CC=CO1 HYBBIBNJHNGZAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 15
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 claims description 8
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- AFBPFSWMIHJQDM-UHFFFAOYSA-N N-methylaniline Chemical compound CNC1=CC=CC=C1 AFBPFSWMIHJQDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 5
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 4
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 4
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- XJCVRTZCHMZPBD-UHFFFAOYSA-N 3-nitroaniline Chemical compound NC1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1 XJCVRTZCHMZPBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000013064 chemical raw material Substances 0.000 description 1
- 238000004737 colorimetric analysis Methods 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- VMPITZXILSNTON-UHFFFAOYSA-N o-anisidine Chemical compound COC1=CC=CC=C1N VMPITZXILSNTON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 varanitroaniline Chemical compound 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子線量の計測方法に関するものである。
電子線は、真空間、テレビジョン受像機のブラウン管あ
るいは電子顕微鏡等の多くのエレクトロニクス機器にお
いて真空中で発生する１００分の１オンダストロング程
度の波長を有する電子流である。
るいは電子顕微鏡等の多くのエレクトロニクス機器にお
いて真空中で発生する１００分の１オンダストロング程
度の波長を有する電子流である。
近年、この電子線を利用して、エレクトロニクス工業に
おいて超大規模集積回路（超ＬＳＩ）のパターンを形成
させる試みがあるが、このような分野等において電子線
量の計測が必要となっている。
おいて超大規模集積回路（超ＬＳＩ）のパターンを形成
させる試みがあるが、このような分野等において電子線
量の計測が必要となっている。
なぜなら電子線感材に対するその照射量は画像レジスト
形成の重要な要因であるからである。
形成の重要な要因であるからである。
そこで、現在は、電子線量を荷電粒子に伴なう電流をフ
ァラデイカツブ又はケージ（Ｆａｒａｄａｙｃａｐ又は
ｃａｇｅ ）により、電気的に測定する方法によって計
測している。
ァラデイカツブ又はケージ（Ｆａｒａｄａｙｃａｐ又は
ｃａｇｅ ）により、電気的に測定する方法によって計
測している。
ところがファラデイカツブを使用するには正確な高感度
電流計、例えばマイクロ・マイクロアンメーター等を必
要とする。
電流計、例えばマイクロ・マイクロアンメーター等を必
要とする。
従って、電子線量を容易かつ簡便に、そして安価に計測
できる計測方法の確立が望まれている。
できる計測方法の確立が望まれている。
そこで、本発明者らは上記方法の確立について鋭意検討
した結果、特定の組成物の基板を使用することにより、
それが可能であるとの事実を見出すに到った。
した結果、特定の組成物の基板を使用することにより、
それが可能であるとの事実を見出すに到った。
従って、本発明の目的は電子線量を容易かつ簡単に測定
する方法を提供することにある。
する方法を提供することにある。
この目的は、電子線放射源から発生する電子線の放射量
を計測するに際し、電子線が放射されて通る通路に、フ
ルフラール、芳香族アミン及び含ハロゲン高分子化合物
とからなる組成物の基板を存在させるという方法を採用
することによって達成される。
を計測するに際し、電子線が放射されて通る通路に、フ
ルフラール、芳香族アミン及び含ハロゲン高分子化合物
とからなる組成物の基板を存在させるという方法を採用
することによって達成される。
以下、具体的に本発明法に使用される組成物及び本発明
法について述べる。
法について述べる。
まず、本発明法に使用される組成物をつくる。
この組成物は、フルフラール、芳香族アミン及び含ハロ
ゲン高分子化合物を少なくとも含有する組成物である。
ゲン高分子化合物を少なくとも含有する組成物である。
本発明に係る組成物に用いられるフルフラールは、工業
的に安価で入手が容易な化学工業原料であり、これをそ
のまま用いることができる。
的に安価で入手が容易な化学工業原料であり、これをそ
のまま用いることができる。
また芳香族アミンは次の一般式（１）または（Ｉｆ）で
表わされる。
表わされる。
ここで、Ｘ、Ｙは置換基であり、例えばアルキル基、ア
シル基、アルコキシル基、アミノ基、シアノ基、ニトロ
基、ハロゲン原子等である。
シル基、アルコキシル基、アミノ基、シアノ基、ニトロ
基、ハロゲン原子等である。
ｍ。ｎはＯから４の整数であり、ｍ＋ｎ≦５である。
この中で、特に有用なる芳香族アミンとしては、メタニ
トロアニリン、オルトメトキシアニリン、バラニトロア
ニリン、Ｎ−メチルアニリン、メタメチル−Ｎ−メチル
アニリン等であイ、。
トロアニリン、オルトメトキシアニリン、バラニトロア
ニリン、Ｎ−メチルアニリン、メタメチル−Ｎ−メチル
アニリン等であイ、。
これらの置換体を選択することにより、照射線量に対す
る感度を変化させることができる。
る感度を変化させることができる。
本発明に用いられる含ハロゲン高分子化合物は、フルフ
ラールと芳香族アミンの反応物を十分に分散させ、計測
用基板としての基材に塗膜させるための結合剤の役割を
果し、かつ電子線照射によりハロゲン原子を解離する含
ハロゲン高分子化合物であればよい。
ラールと芳香族アミンの反応物を十分に分散させ、計測
用基板としての基材に塗膜させるための結合剤の役割を
果し、かつ電子線照射によりハロゲン原子を解離する含
ハロゲン高分子化合物であればよい。
そのような化合物としては例えば、ポリ塩化ビニル、ポ
リ塩化ビニリデン等が適している。
リ塩化ビニリデン等が適している。
本発明の組成物は、次のようにして製造される。
まず前記のフルフラールと芳香族アミンをモル比で例え
ば１：２の割合で混合して着色前駆体を生成させる。
ば１：２の割合で混合して着色前駆体を生成させる。
一方、含ハロゲン高分子化合物を１％から２０％の濃度
で溶媒に溶解させる。
で溶媒に溶解させる。
溶媒としては、例えばシクロヘキサノン、メチルエチル
ケトン、トルエン、キシレン、クロルベンゼン、塩化メ
チレン、テトラヒドロフラン等が使用される。
ケトン、トルエン、キシレン、クロルベンゼン、塩化メ
チレン、テトラヒドロフラン等が使用される。
前記の着色前駆体を含ハロゲン高分子化合物の溶液と重
量比で１＝２から１：１００．好ましくは１：１から１
＝５０の範囲で混合し、最終的には、フルフラールと芳
香族アミンのモル比１：２の反応物１重量部に対して含
ハロゲン高分子化合物が１〜２０重量部の割合で含まれ
る組成物とする。
量比で１＝２から１：１００．好ましくは１：１から１
＝５０の範囲で混合し、最終的には、フルフラールと芳
香族アミンのモル比１：２の反応物１重量部に対して含
ハロゲン高分子化合物が１〜２０重量部の割合で含まれ
る組成物とする。
こうしてできた組成物は、乾燥して膜状物として、ある
いは基材の上に塗膜した基板（以下単に基板と称する）
として使用される。
いは基材の上に塗膜した基板（以下単に基板と称する）
として使用される。
基材としてはガラス、プラスチック板、金属板、紙等が
考えられ、電子線照射の条件に応じて種種選択すること
ができる。
考えられ、電子線照射の条件に応じて種種選択すること
ができる。
次に、上記組成物の基板を使用して、電子線量を計測す
る。
る。
即ち、前記基板を任意の大きさに切りとって、これを電
子線が通過する通路に、存在させる。
子線が通過する通路に、存在させる。
すると、電子線の放射量に応じて、前記基板が照射を受
け、照射を受けた基板が一定の濃度に着色してゆく。
け、照射を受けた基板が一定の濃度に着色してゆく。
この着色してゆく程度、即ち、着色度は目視で可能であ
り、別途に用意した照射量と濃度との標準板との比較に
より、定量的に大よその照射量が判定される。
り、別途に用意した照射量と濃度との標準板との比較に
より、定量的に大よその照射量が判定される。
さらに定量的に正確に求めるためには、着色した断片を
分光光度計あるいは濃度計等を用いて、その発色波長の
吸光度を測定し、検量針とから正確な照射電気量を求め
ればよい。
分光光度計あるいは濃度計等を用いて、その発色波長の
吸光度を測定し、検量針とから正確な照射電気量を求め
ればよい。
照射量は組成物の一定濃度において、基材の性質、組成
物の膜厚等により僅かに依存するが、適した条件を選ぶ
ことにより、±１０％以内の誤差での測定が可能である
。
物の膜厚等により僅かに依存するが、適した条件を選ぶ
ことにより、±１０％以内の誤差での測定が可能である
。
本発明は電子線量を計測するために特定の機器を必ずし
も必要とせずに、化学的材料の着色変化に基づき、目視
で容易に測定できる比色法が採れ、簡便である。
も必要とせずに、化学的材料の着色変化に基づき、目視
で容易に測定できる比色法が採れ、簡便である。
本発明の組成物は、いずれも入手が可能で安価な原料か
ら成り、その取り扱いは明所で行なうことができかつ特
別の処理工程を必要とせず簡便であり、その測定結果は
迅速に求められ、任意の照射面積における照射線量の計
測が容易にできる等の長所を有している。
ら成り、その取り扱いは明所で行なうことができかつ特
別の処理工程を必要とせず簡便であり、その測定結果は
迅速に求められ、任意の照射面積における照射線量の計
測が容易にできる等の長所を有している。
次に、実施例によって本発明の詳細な説明する。
実施例 １
フルフラール７１とＮ−メチルアニリン１５２とを混合
して反応させる。
して反応させる。
この反応物ＩＰｒをシクロヘキサノン１００ｍ１に溶解
し、さらにポリ塩化ビニル粉末１Ｍ’を溶解させた溶液
を調製する。
し、さらにポリ塩化ビニル粉末１Ｍ’を溶解させた溶液
を調製する。
この溶液の一部をガラス乾板上に塗り、溶媒を十分に乾
燥させ、電子線量計測用基板として使用できる。
燥させ、電子線量計測用基板として使用できる。
電子線照射面におかれた基板は電子線照射と共に黄色か
ら赤橙色に照射線量の増加に伴なって変化してゆく。
ら赤橙色に照射線量の増加に伴なって変化してゆく。
加速電圧６０ ｋｖでの照射量と測定波長５００ｎｍで
の吸光度の関係を第１図の直線（検量線）ａによって示
す。
の吸光度の関係を第１図の直線（検量線）ａによって示
す。
実施例 ２
フルフラール７１とメタニトロアニリン２０Ｓ’を混合
し反応させる。
し反応させる。
この反応物１ｆｒをシクロヘキサノン溶解し、実施例１
と同様にしてガラス乾板に塗布し、電子線量計測用基板
として使用する。
と同様にしてガラス乾板に塗布し、電子線量計測用基板
として使用する。
加速電圧６０ ｋｖにおける検量線は実施例１と同様に
して求められ、第１図の直線すによって示す。
して求められ、第１図の直線すによって示す。
測定波長は５４２ ｎｍである。実施例 ３
フルフラール７グとメタメチル−Ｎ−メチルアニリン１
７．７ ？との反応物を実施例１と同様にして計測用基
板として作製したものの、電子線量と吸光度の検量線を
第１図の直線Ｃによって示す。
７．７ ？との反応物を実施例１と同様にして計測用基
板として作製したものの、電子線量と吸光度の検量線を
第１図の直線Ｃによって示す。
測定波長は５００ ｎｍである。
実施例 ４
フルフラール７グとＮ−メチルアニリン１５？との反応
物を実施例１と同様にして、計測用基板として作製した
ものを、加速電圧２０ ｋｖでの電子線照射した場合の
電子線量と５００ ｎｍにおける吸光度との検量線を第
２図に示す。
物を実施例１と同様にして、計測用基板として作製した
ものを、加速電圧２０ ｋｖでの電子線照射した場合の
電子線量と５００ ｎｍにおける吸光度との検量線を第
２図に示す。
第１図は実施例１〜３における照射電気量と吸光度との
関係を示すグラフである。 第２図は実施例４における前記同様のグラフである。
関係を示すグラフである。 第２図は実施例４における前記同様のグラフである。
Claims (1)
- １ 電子線放射源から発生する電子線の放射量を計測す
るに際し電子線が放射されて通る通路に、フルフラール
、芳香族アミン及び含ハロゲン高分子化合物とからなる
組成物の基板を存在させることを特徴とする電子線量の
計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP568378A JPS5832671B2 (ja) | 1978-01-21 | 1978-01-21 | 電子線量の計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP568378A JPS5832671B2 (ja) | 1978-01-21 | 1978-01-21 | 電子線量の計測方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5499486A JPS5499486A (en) | 1979-08-06 |
| JPS5832671B2 true JPS5832671B2 (ja) | 1983-07-14 |
Family
ID=11617885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP568378A Expired JPS5832671B2 (ja) | 1978-01-21 | 1978-01-21 | 電子線量の計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5832671B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6341241U (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-17 | ||
| JPS63115346U (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-25 |
-
1978
- 1978-01-21 JP JP568378A patent/JPS5832671B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6341241U (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-17 | ||
| JPS63115346U (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5499486A (en) | 1979-08-06 |
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