JPS5834062U - 半導体装置検査装置 - Google Patents
半導体装置検査装置Info
- Publication number
- JPS5834062U JPS5834062U JP12979681U JP12979681U JPS5834062U JP S5834062 U JPS5834062 U JP S5834062U JP 12979681 U JP12979681 U JP 12979681U JP 12979681 U JP12979681 U JP 12979681U JP S5834062 U JPS5834062 U JP S5834062U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- ejection port
- semiconductor device
- measuring mechanism
- defective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ink Jet (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の検査装置の要部の断面図、第２図は本考
案装置の構成を示すブロック図、第３図は本考案装置の
主要部の断面図であって、１０はテスタ、１７はマーカ
ヘッド、２０はインク室、２１は圧電振動板、を夫々示
している。
案装置の構成を示すブロック図、第３図は本考案装置の
主要部の断面図であって、１０はテスタ、１７はマーカ
ヘッド、２０はインク室、２１は圧電振動板、を夫々示
している。
Claims (1)
- 半導体チップの良否を測定する測定機構と、該測定機構
で不良品であると測定した時に出力されるマーキング信
号に依ってマークインクを噴出するマーカヘッドを備是
、該マーカヘッドはマークインクに依って満されたイン
ク室と、該インク室の一壁面に設けられた圧電振動板と
、インク室に穿たれたインク噴出口と、から成り、イン
ク噴出口を半導体チップに近接対向せしめた状態で、上
記圧電振動板に上記測定機構からの出力信号を印加して
インク噴出口からマークインクを噴出せしめて不良品チ
ップにのみ不良品マークを付ける事を特徴とした半導体
装置検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12979681U JPS5834062U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 半導体装置検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12979681U JPS5834062U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 半導体装置検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834062U true JPS5834062U (ja) | 1983-03-05 |
Family
ID=29923458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12979681U Pending JPS5834062U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 半導体装置検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834062U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5193129A (ja) * | 1975-02-13 | 1976-08-16 |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP12979681U patent/JPS5834062U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5193129A (ja) * | 1975-02-13 | 1976-08-16 |
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