JPS5834612A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS5834612A JPS5834612A JP13381781A JP13381781A JPS5834612A JP S5834612 A JPS5834612 A JP S5834612A JP 13381781 A JP13381781 A JP 13381781A JP 13381781 A JP13381781 A JP 13381781A JP S5834612 A JPS5834612 A JP S5834612A
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- electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
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- H03H9/02779—Continuous surface reflective arrays
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波装置に関する。
ｗ性表面波（以後率に表面波と称する）装置はしはしば
圧電基板表面ｉこ少くとも一対の、対問するすだれ状電
極を形成して成り、表Ｎ波の込信、及び受信を周じてフ
ィルタあるいは遅延縁の作用を有する。衣血波鉄直は、
−気繍信シス１ムにおいて、これまで多極多様のものが
知られており、表面波フィルタはその代表例である。表
面波フィルタの性能は前記すだれ状電極を構成する電極
指の対数、周期あるいは長さ等の諸パラメタによりほぼ
決定される。例えば、フィルタの帯域は前記電極指ズ・
ｊ数に逆比例し、中心周波数は前記電極指の周期に逆比
例する。又、フィルタの送・受信用電極としての、繭記
すだれ状磁極の電気的インピーダンスは、しばしば前記
電極指の長さにより決定される。上述のすだれ状電極諸
パラメタの組６合わせにより、表面波フィルタの使用周
波数は数ＭＨｚないし数ＧＨｚ 、比帯域は数１０分の
１パーセント（４）ないし、数４０パーセントの範囲を
占めることが出来る。
圧電基板表面ｉこ少くとも一対の、対問するすだれ状電
極を形成して成り、表Ｎ波の込信、及び受信を周じてフ
ィルタあるいは遅延縁の作用を有する。衣血波鉄直は、
−気繍信シス１ムにおいて、これまで多極多様のものが
知られており、表面波フィルタはその代表例である。表
面波フィルタの性能は前記すだれ状電極を構成する電極
指の対数、周期あるいは長さ等の諸パラメタによりほぼ
決定される。例えば、フィルタの帯域は前記電極指ズ・
ｊ数に逆比例し、中心周波数は前記電極指の周期に逆比
例する。又、フィルタの送・受信用電極としての、繭記
すだれ状磁極の電気的インピーダンスは、しばしば前記
電極指の長さにより決定される。上述のすだれ状電極諸
パラメタの組６合わせにより、表面波フィルタの使用周
波数は数ＭＨｚないし数ＧＨｚ 、比帯域は数１０分の
１パーセント（４）ないし、数４０パーセントの範囲を
占めることが出来る。
近年％表面波フィルタの期待される使用分野の１つとし
て、鍋周波（ＧＨｚ帯）領域での応用がある。本発明は
、７Ｊ）かる高周波領域で有用であるフィルタ、符に比
帯域が０．１ ％程度の狭帯域フィルタに関するもので
ある。Ｇ１−１層帯表面波フィルタは、電極の厳小寸法
がサブミクロンと彼細になる為に電極作製時に発生する
断線。短Ｎ５吟の欠陥？１表而の微細な音響的伝搬損失
原因（■えば汚れ、キズ、突起等）等により、一般に挿
入損失が増大する。特に、前述の様に狭帯域フィルタで
はすだれ状電極の゛シ極指対数が増大するので、上記の
挿入損失が増大する傾向は顕著になる。この様な好まし
くない事情を回避する為に、考案された低損失狭帯域・
高周波表面波フィルタが従来知られている。第１図にか
かる従来公九例の構造概略図を示す。図において、圧電
基板（図示せず）上に形成された送・受１ｇ用すだｎ状
電極１３及び１４は、各々内部インピーダンス１１を有
する高周波電源１２及び負荷インピーダンス１５に接続
されている。前記すだれ状電極」３及び１４の電極指は
、線幅が表面波の波長の略々−に等しい所謂シングル電
極（メはソリッド電極とも称される）である。かかる電
極構造では、前記電極指の対数が増大すると（例えば、
数ｉｏｏ対以上）、各々のすだれ状電極１３及び１４は
電気・音響変換器であると同時に、表面波共振器として
の性質が強く現われてくる。一般に、前記電極ＩＮ端部
は電極の有無に基き、表面波に対して質量付加効果もし
くは圧電反作用を介して音響インピーダンスの不連続部
となるので表面波の反射を誘起するがすだれ状°−極が
前記シングル電極で構成される場合には、各電極Ｉ￥ｉ
熾部で発生した反射表面波は同相で重なり合う。Ｗ、１
図に示した多対すだれ状電極１３及び１４がそれ自身共
振器の性質を帯びるのは、かかる２理由によるものであ
る。従って、前記２個の共振器１３及び１４を互いに接
近せしめ旦つ間隔１６を１９ｒ望の値にＸ足すると複合
共振器が得られる。ここに、わび記所望の間隔とは２個
のすだれ状・Ｉ４極１３及び１４間を伝搬する表面波か
多重反射により定在波を形成す６条件を満足する様な間
隔である０かか６慣造のフィルタは、上述の理由番こよ
り共振特性を有するのですだれ状電極の対数で次まる帯
域よりも狭帯域になり、同時に低損失が得られる。第１
図の公知例が特に高周波において低損失ｆ乙に有利なの
は以上の様な理由によるものである。
て、鍋周波（ＧＨｚ帯）領域での応用がある。本発明は
、７Ｊ）かる高周波領域で有用であるフィルタ、符に比
帯域が０．１ ％程度の狭帯域フィルタに関するもので
ある。Ｇ１−１層帯表面波フィルタは、電極の厳小寸法
がサブミクロンと彼細になる為に電極作製時に発生する
断線。短Ｎ５吟の欠陥？１表而の微細な音響的伝搬損失
原因（■えば汚れ、キズ、突起等）等により、一般に挿
入損失が増大する。特に、前述の様に狭帯域フィルタで
はすだれ状電極の゛シ極指対数が増大するので、上記の
挿入損失が増大する傾向は顕著になる。この様な好まし
くない事情を回避する為に、考案された低損失狭帯域・
高周波表面波フィルタが従来知られている。第１図にか
かる従来公九例の構造概略図を示す。図において、圧電
基板（図示せず）上に形成された送・受１ｇ用すだｎ状
電極１３及び１４は、各々内部インピーダンス１１を有
する高周波電源１２及び負荷インピーダンス１５に接続
されている。前記すだれ状電極」３及び１４の電極指は
、線幅が表面波の波長の略々−に等しい所謂シングル電
極（メはソリッド電極とも称される）である。かかる電
極構造では、前記電極指の対数が増大すると（例えば、
数ｉｏｏ対以上）、各々のすだれ状電極１３及び１４は
電気・音響変換器であると同時に、表面波共振器として
の性質が強く現われてくる。一般に、前記電極ＩＮ端部
は電極の有無に基き、表面波に対して質量付加効果もし
くは圧電反作用を介して音響インピーダンスの不連続部
となるので表面波の反射を誘起するがすだれ状°−極が
前記シングル電極で構成される場合には、各電極Ｉ￥ｉ
熾部で発生した反射表面波は同相で重なり合う。Ｗ、１
図に示した多対すだれ状電極１３及び１４がそれ自身共
振器の性質を帯びるのは、かかる２理由によるものであ
る。従って、前記２個の共振器１３及び１４を互いに接
近せしめ旦つ間隔１６を１９ｒ望の値にＸ足すると複合
共振器が得られる。ここに、わび記所望の間隔とは２個
のすだれ状・Ｉ４極１３及び１４間を伝搬する表面波か
多重反射により定在波を形成す６条件を満足する様な間
隔である０かか６慣造のフィルタは、上述の理由番こよ
り共振特性を有するのですだれ状電極の対数で次まる帯
域よりも狭帯域になり、同時に低損失が得られる。第１
図の公知例が特に高周波において低損失ｆ乙に有利なの
は以上の様な理由によるものである。
ところで、第１図の公知例における欠点は送受両すだれ
状１極１３及び１４を互む）に接近させイａばならない
為、込・受画電極間の電―的結合により、フィルタ帯域
・外減衰が劣化する事である。
状１極１３及び１４を互む）に接近させイａばならない
為、込・受画電極間の電―的結合により、フィルタ帯域
・外減衰が劣化する事である。
この傾向は高周波（飼えばＧＨｚ帝）になΦ程顧著とな
る。この欠点を補った公知例の構造概略図を第２図に示
す（圧電基板は雀略しである）。図において、込 受画
丁だれ状電極２３及び２５の間（こ、ンールド用平面接
地電極２４が設けられて０る。ンールド幼果を増す為に
は込・受画−ｆだれ状′−極２３及び２５の間隔２７が
大さい方が好ましい。一方、本公矧例においても前述の
様な複合共振器となる為に、間隔２７カ横たすべき条件
ｔよ１ｒ１」様である。かかる素性は、すだれ状’ｔｔ
極２３又６ま２５の電極指部と前記平面電極２４を含む
間隔２７の値域における、各々の正確７，１′表■波伝
賊速良、従って正確な表面波ｅ艮が求められた時番こ、
はじめて実現されるのである０ところか、すだｎ法１億
指で覆われた基板表面と、大りμ分乎面電極指で楓０れ
た基板表闇では、前記表−波伝鍜述１Ｊ敵密には巣なる
。しη）も、その差は表面波課長に対するｍ極膜厚、従
って表向波周波数に依存する。
る。この欠点を補った公知例の構造概略図を第２図に示
す（圧電基板は雀略しである）。図において、込 受画
丁だれ状電極２３及び２５の間（こ、ンールド用平面接
地電極２４が設けられて０る。ンールド幼果を増す為に
は込・受画−ｆだれ状′−極２３及び２５の間隔２７が
大さい方が好ましい。一方、本公矧例においても前述の
様な複合共振器となる為に、間隔２７カ横たすべき条件
ｔよ１ｒ１」様である。かかる素性は、すだれ状’ｔｔ
極２３又６ま２５の電極指部と前記平面電極２４を含む
間隔２７の値域における、各々の正確７，１′表■波伝
賊速良、従って正確な表面波ｅ艮が求められた時番こ、
はじめて実現されるのである０ところか、すだｎ法１億
指で覆われた基板表面と、大りμ分乎面電極指で楓０れ
た基板表闇では、前記表−波伝鍜述１Ｊ敵密には巣なる
。しη）も、その差は表面波課長に対するｍ極膜厚、従
って表向波周波数に依存する。
従って、削口上間隔２７の設計方法としては、予め何ら
かの方法で、前記すだれ状゛―電極指部び前Ｈ上平面電
極を含む間隔領域２７での各々の正確な表面波伝搬速匿
を求めた上で、両伝搬速度差番こ基（所望の補正距離を
其出し、この値を考慮した前記複合共掘器成立＊件を導
出するといつ手続を行う。
かの方法で、前記すだれ状゛―電極指部び前Ｈ上平面電
極を含む間隔領域２７での各々の正確な表面波伝搬速匿
を求めた上で、両伝搬速度差番こ基（所望の補正距離を
其出し、この値を考慮した前記複合共掘器成立＊件を導
出するといつ手続を行う。
力）か６設ｉｆ手ｊｌは、前記補正距離を導出せねばな
らない点に煩雑さを伴う。しかも口ｉＪ述の如く、使用
周波数が異ると前記補正距離を変えなければならないと
いつ新たな煩わしさが〃ｌわ６０以上の様に従来例にお
いては、速・受容すだれ状＃ｔ＋ｊＡの間隔の最適設計
（ｈに、煩雑さが伴うとＧ）う欠点が存在していた０ 本発明の目的は、従来の欠点を除去した新しく１ｇ造の
弾性表向ｇＬ装置を提供するものであるＯ本発明によれ
ば、圧ｉｔ基板弐面に少くとも２個のすだれ状電極を備
えてい６表面波装置ｌこおＧ）て、８σ記各々のすたれ
状電極の間隙しに＊ｉＪ記すだれ状′１憔を＃ｌＩ成す
６電極指の周期的配列と、廿豐的１こ同等の周期的配列
を有する接地１を他を備えている一Ｊｋを特徴とする表
面波装置が得られる。
らない点に煩雑さを伴う。しかも口ｉＪ述の如く、使用
周波数が異ると前記補正距離を変えなければならないと
いつ新たな煩わしさが〃ｌわ６０以上の様に従来例にお
いては、速・受容すだれ状＃ｔ＋ｊＡの間隔の最適設計
（ｈに、煩雑さが伴うとＧ）う欠点が存在していた０ 本発明の目的は、従来の欠点を除去した新しく１ｇ造の
弾性表向ｇＬ装置を提供するものであるＯ本発明によれ
ば、圧ｉｔ基板弐面に少くとも２個のすだれ状電極を備
えてい６表面波装置ｌこおＧ）て、８σ記各々のすたれ
状電極の間隙しに＊ｉＪ記すだれ状′１憔を＃ｌＩ成す
６電極指の周期的配列と、廿豐的１こ同等の周期的配列
を有する接地１を他を備えている一Ｊｋを特徴とする表
面波装置が得られる。
次に図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第３図は、不発明夾施例の構造概略図である。
図において、送・受信用多対すだれ状電極３３及び３５
は、谷々内部インピーダンス３１を有する電波３２及び
負荷インピーダンス３６に接続されている（圧゛１基板
は図示せず）。ｆｉＴＩ記すだれ状′１極３３及び３５
の間隙部３７に、すたれ状電極の電極指と同様の周期的
配列から成る接地１１極３４が配置されている。第４図
は、第３図の部分的拡大断面図及び本発明の詳細な説明
する概略図である。４３．４５及び４４は各々前配送・
受信用すだれ状電極及び接地電極の＃ｒＩｆ１図である
。接地電極４４は、すだれ状電極４３及び４５の電極指
が構成する周期的配列と同等の周期的配列力）ら成って
おり、しかも各周期的電極指の位置は、すだれ状電極４
３又は４５の電極指が占める等間隔格子点列上にある。
は、谷々内部インピーダンス３１を有する電波３２及び
負荷インピーダンス３６に接続されている（圧゛１基板
は図示せず）。ｆｉＴＩ記すだれ状′１極３３及び３５
の間隙部３７に、すたれ状電極の電極指と同様の周期的
配列から成る接地１１極３４が配置されている。第４図
は、第３図の部分的拡大断面図及び本発明の詳細な説明
する概略図である。４３．４５及び４４は各々前配送・
受信用すだれ状電極及び接地電極の＃ｒＩｆ１図である
。接地電極４４は、すだれ状電極４３及び４５の電極指
が構成する周期的配列と同等の周期的配列力）ら成って
おり、しかも各周期的電極指の位置は、すだれ状電極４
３又は４５の電極指が占める等間隔格子点列上にある。
このとき前述の＠２図に示す公ｍ例と１４なり、すだれ
状１極４３及び４５の＃ｊＬ極指饋域と、格子吠接ｉ１
！！延憔鐵域４４におけ６罰記衣囲彼の伝搬速度点は無
視できる。これは繭記円禎°域が、同一の周期４Ａ造で
構成されている為、ｕ１１記両碩域を伝搬す６表向波が
受ける周期回な餘讐摂助効果が殆んど等しい為である。
状１極４３及び４５の＃ｊＬ極指饋域と、格子吠接ｉ１
！！延憔鐵域４４におけ６罰記衣囲彼の伝搬速度点は無
視できる。これは繭記円禎°域が、同一の周期４Ａ造で
構成されている為、ｕ１１記両碩域を伝搬す６表向波が
受ける周期回な餘讐摂助効果が殆んど等しい為である。
かかる効果の一層厳密な該ｔＲをす６ならばすＩどれ状
電極４３及び４５と格子状接地電極４４の′＃ＩＩＭ気
的終端末杆は若干異なるが゛、かか６条汗左が衣面尿伝
厳達度に４入る幼果は、５１４２図の半面磁極の一合に
比べると小さい。使って来貢的に、本完明憂こおけΦ表
面波の伝殿運匿は、すだｎ状電極部及び接地−極部の如
何を問わす等しいとばんΦ０この幼果として、第４図の
４１にボす通り、表面波の位相は尋問噛格子点列上に１
ｉｉ７））れたＭＵ紀谷電極指といたる演で贅合さｎて
いるので、不発明の俵＆共振器は効率良く動作する。以
上の効果は、電極膜厚が全１１１Ｌ極にわたり、一様に
変化した一合も不ｉである。従って不発明は、送・受１
６用すだれ状電極４３及び４５の間隔４７の設計に当た
り、第２図の公知間で説明した様７，１′電極間隔匍正
の配ｌば不賛であるという利点を有する。
電極４３及び４５と格子状接地電極４４の′＃ＩＩＭ気
的終端末杆は若干異なるが゛、かか６条汗左が衣面尿伝
厳達度に４入る幼果は、５１４２図の半面磁極の一合に
比べると小さい。使って来貢的に、本完明憂こおけΦ表
面波の伝殿運匿は、すだｎ状電極部及び接地−極部の如
何を問わす等しいとばんΦ０この幼果として、第４図の
４１にボす通り、表面波の位相は尋問噛格子点列上に１
ｉｉ７））れたＭＵ紀谷電極指といたる演で贅合さｎて
いるので、不発明の俵＆共振器は効率良く動作する。以
上の効果は、電極膜厚が全１１１Ｌ極にわたり、一様に
変化した一合も不ｉである。従って不発明は、送・受１
６用すだれ状電極４３及び４５の間隔４７の設計に当た
り、第２図の公知間で説明した様７，１′電極間隔匍正
の配ｌば不賛であるという利点を有する。
尚、第４図の実施例では送・受信用多対電極が各々１個
の場合について説明した。し乃）し本発明の効果が適用
される電極配置は、単に前記実施例の場合にとどまるも
のではない。例えば送信又は受信用多対電極を隣接する
２個の受信又は送１６用多対電極で挾んで仲人損失のは
下を計った、３変換器型多対′１憔榎合共振器において
も、各電極の間に本発明の構造を通用するｉｔま可會ヒ
である。
の場合について説明した。し乃）し本発明の効果が適用
される電極配置は、単に前記実施例の場合にとどまるも
のではない。例えば送信又は受信用多対電極を隣接する
２個の受信又は送１６用多対電極で挾んで仲人損失のは
下を計った、３変換器型多対′１憔榎合共振器において
も、各電極の間に本発明の構造を通用するｉｔま可會ヒ
である。
便って、本発明の特許の横側は単に前記実施例にとどま
らず、前述の曽許請求の範囲にボす全ての表面波装置に
及ぶ。
らず、前述の曽許請求の範囲にボす全ての表面波装置に
及ぶ。
第１図及び第２図は、従来の公知クリにおける傳這礒績
因、第３図は不発明笑施例の構造概略図、第４図は第３
図の部分的拡大断面図及び本発明の詳細な説明する概略
図である。尚、図におし）で、１３．１４，２３，２５
，３３，３５は送信又は受信用すだｎ状電惚、２４は平
面接地砥恍、３４は格子状接地゛電極である。
因、第３図は不発明笑施例の構造概略図、第４図は第３
図の部分的拡大断面図及び本発明の詳細な説明する概略
図である。尚、図におし）で、１３．１４，２３，２５
，３３，３５は送信又は受信用すだｎ状電惚、２４は平
面接地砥恍、３４は格子状接地゛電極である。
Claims (1)
- 圧−基板表ｕＡ番こ少くとも２個のすだれ状−極を１層
え°Ｃい◇弾８：表囲阪装ににおいて、日［ｉ己谷々す
Ｔたれ状岨憔の間原部にＭｔｆ記すだれ状磁極を梼槙す
る。億指の周期的配列と音曽的に同勢の周期的配列２１
゛する接地−極を備えている事そ特徴と９−る芹性表面
波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13381781A JPS5834612A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13381781A JPS5834612A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834612A true JPS5834612A (ja) | 1983-03-01 |
Family
ID=15113730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13381781A Pending JPS5834612A (ja) | 1981-08-25 | 1981-08-25 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834612A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6066117U (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-10 | 日本電気株式会社 | 弾性表面波装置 |
| JPS61171211A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-08-01 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 音波により作動する電気フイルタ |
-
1981
- 1981-08-25 JP JP13381781A patent/JPS5834612A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6066117U (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-10 | 日本電気株式会社 | 弾性表面波装置 |
| JPS61171211A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-08-01 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 音波により作動する電気フイルタ |
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