JPS5836808B2 - 撮像管の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は撮像管の製造方法、特に撮像管ターゲットの信
号取り出し電極の製造方法に関し、詳細には３電極方式
、位相分離方式あるいは周波数分離方式など単一形撮像
管などに適用して好適に信号電流（以下信号と称する）
を取り出す信号取り出し電極の製造方法に関するもので
ある。

第１図ａ，ｂは従来より用いられている位相分離方式単
一形撮像管の面板構体の一例を示す要部断面図、要部平
面図である。

これらの図において、１は例えば透明ガラス板などによ
って形成された透光性面板であり、この面板１の所定位
置には面板１に近い膨張係数を有する金属線２ａ，２ｂ
が貫通配置され、信号取り出し端子の一部が形成されて
いる。

この場合、この金属線２ａ ，２ｂは面板１の表裏面に
その端面が露出して配置されている。

またこの面板１の表面にはＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青
）に区分された光学フィルタ３が被着形成され、さらに
その上面には透明接着剤４を介して薄板ガラス５が配置
されている。

そして、この薄板ガラス５の表面には、ストライプ状に
形成された透明導電膜（以下ネサ膜と称する）６が上記
光学フィルタ３内のＲ，Ｇ，Ｂのそれぞれのストライプ
に対向して被着形成され、さらにその表面には光導電膜
７が被着形成されている。

また上記金属線２ａ，２ｂはネサ膜６に金属塊からなる
結合端子８ａ ，ｓｂを介して電気的に接続されており
、この場合、上記結合端子８ａ ，ａｂは薄板ガラス５
、透明接着剤４の所定位置、つまり金属線２ａ，２ｂと
一致する位置に穿孔部を設け、この穿孔部にＩｎ金属塊
を圧着して埋め込むことによってネサ膜６と金属線２ａ
，２ｂとを電気的に接続させて信号取り出し電極が構成
されている。

ここで、上記結合端子８ａ ，ｓｂと金属線２ａ，２ｂ
とを電気的に接続させる加工方法としては、薄板ガラス
５上に光学電膜７を形成する以前にネサ膜６を形成させ
た薄板ガラス５表面に光硬化性樹脂を塗布乾燥させて所
定のマスクを介して露光し、金属線２ａ，２ｂと対応部
分を光不透過させ、溶媒で処理することによって光硬化
樹脂の未露光部分を溶化させ、薄板ガラス５の所定位置
つまり結合端子８ａ ，８ｂを形成する部分に所定の径
を有する孔を形成し、選択的にその位置を露出させる。

さらに化学的処理によって露出した薄板ガラス５および
透明接着剤４を選択的に除去させることによって金属線
２ａ ，２ｂに到する深さの穿孔を形成する。

次にこの薄板ガラス５の表面上に残っている光硬化性樹
脂を除去した後、上記穿孔部にＩｎ金属を強大な力で圧
着、埋め込むことによってネサ膜６と金属線２ａ ，２
ｂとを電気的に接続させていた。

しかしながら、上記構成による面板構体において、面板
１に信号取り出し電極を形成するのに、透光性面板１に
ガラス加工法により金属線２ａ，２ｂを埋設して貫通配
置されるため、その作業工程を大幅に複雑化させ、生産
性を著しく低下させていた。

また薄板ガラス５を穿孔するのに化学エッチング法を用
いているため、その作業性を大幅に低下させていた。

さらには薄板ガラス５の穿孔部にＩｎ金属塊を強大な力
で圧着、埋め込ませているため、この圧着時に薄板ガラ
ス５が破損する恐れが多く、また密着性が乏しく、穿孔
部における気密保持性において信頼性を著しく低下させ
ていた。

したがって本発明の目的は上記の欠点を除去し、気密保
持性を向上させるとともに、生産工程を簡易化させ、か
つ生産コストを安価にさせた撮像管の製造方法を提供す
ることにある。

以下図面を用いて本発明による撮像管の製造方法につい
て詳細に説明する。

第２図は本発明による撮像管、特にその信号取り出し電
極を備えた面板構体の一例を示す要部断面図であり、第
１図ａ，ｂと同記号は同一要素となるのでその説明は省
略する。

同図において、面板１の所定位置には穿孔部１ａが貫通
して形成され、さらにこの面板１上面に配設された透明
接着剤４、薄板ガラス５およびネサ膜６には上記穿孔部
１ａに連続する貫通穿孔部９が形成されている。

そして、この穿孔部１ａ，９内にはＰｂ−Ｓｎを主成分
とし、Ｚｎ ，Ｓｂ，Ａｌ，Ｔｉ ，Ｓｉ ，Ｃｕなど
が添加された多元系の特殊組成を有する金属ハンダ１０
例えばセラソルザ（商品名）が充填固化され、ネサ膜６
にその端部を電気的に接続して信号取り出し電極１１が
構成されている。

このように構戒された信号取り出し電極において、この
信号取り出し電極１１を構成する金属半田１０はネサ膜
６に完全に密着されるとともに、面板１、薄板ガラス５
および貫通穿孔部１ａ，９の側壁等に密着充填されるた
め、真空気密性を確実に保持することができ、外気がリ
ークする事故が皆無となった。

第３図ａ ＝ ｆは本発明による撮像管の製造方法、特
に信号取り出し電極の製造方法の一実施例を示す要部工
程断面図であり、第１図ａ，ｂおよび第２図と同記号は
同一要素となるのでその説明は省略する。

これらの図において、まず同図ａに示したように透光性
面板１の所定位置に超音波加工機を用いた機械法または
弗化水素液（ＨＦ）を用いた化学法等により貫通する穿
孔部１ａを形成する。

次にこの貫通穿孔部１ａを有する面板１を２〜１０％の
酸素を含む窒素または不活性ガス雰囲気中に配置し、同
図ｂに示したようにこの貫通穿孔部１ａ内に超音波振動
を印加しつつ溶融した金属半田１０を注入して充填固化
させる。

この場合、面板１を常温の状態で貫通穿孔部１ａに金属
半田１０を注入、充填することも可能であるが、金属半
田１０が貫通孔部１ａ内壁に完全に密着し易くするため
に金属半田１０の融点近傍の温度まで面板１を加熱する
ことが望ましい。

次に貫通孔部１ａに金属半田１０を充填固化させて信号
取り出し端子を設けた面板１の所定位置に同図Ｃに示し
たようにフォトリングラフイ法を用いて所定形状の光学
フィルタ３を形或する。

次に同図ｄに示したように薄板ガラス５の片面にネサ膜
６を被着形成し、その他面側を上記光学フィルタ３に対
向させて透明接着剤４を用いて接着固化させる。

しかるのち、同図ｄに示したように金属半田１０が充填
固化された上記貫通孔部１ａ部分に対応するネサ膜６の
上面から矢印で示した方向にダイヤモンドドリルまたは
超鋼ドリルを用いて研削し、ネサ膜６、薄板ガラス５、
透明接着剤４を貫通させ、同図ｅに示したように金属半
田１０の端面が露出する深さの貫通穿孔部９を形戒する
。

次に上記ｅの工程を経た面板構体１を脱脂剤および中性
洗剤を用いて十分に洗浄するとともに、貫通孔部９周辺
のネサ膜６に付着した研削屑を特に十分に洗浄した後、
この貫通穿孔部９に溶融金属半田１０を注入して充填す
る。

この場合、この溶融金属半田１０を貫通穿孔部９の底部
で前記工程で貫通穿孔部１ａに充填固化された金属半田
１０の端面露出面に到達するまで充填し、電気的導通が
得られるまで注入充填させるとともに、第４図に平面図
で示したようにネサ膜６の表面において貫通穿孔部９の
直径より若干大きくなる様に盛り上げ、ネサ膜６との接
着面積を拡大させて固化させ、第２図に示したように面
板構体の信号取り出し電極１１を完成する。

このような製造方法によれば、面板１の所定位置に機械
的に貫通穿孔部１ａを設け、この貫通穿孔部に溶融金属
半田１０を充填固化させるため、その作業工程が極めて
簡単となる。

また、薄板ガラス５への穿孔部形成も機械法によって行
なうため、その作業工程が極めて簡単となる。

さらには、面板１の貫通穿孔部１ａおよび接着剤４、薄
板ガラス５、ネサ膜６の貫通穿孔部９に超音波振動を印
加しつつ溶融金属半田１０を注入し、充填固化させるた
め、真空気密性が確実となるとともに薄板ガラス５の破
損の恐れも全くなくなる。

第５図ａ，ｂ，ｃは本発明による撮像管の製造方法、特
に信号取り出し電極の製造方法の他の実施例を示す要部
工程断面図であり、前図と同記号は同一要素となるので
その説明は省略する。

これらの図において、まず同図ａに示したように透光性
面板１の片面の所定位置に超音波加工機を用いた機械法
または弗化水素液（ ＨＦ ）を用いた化学法等により
厚さが２０〜２００μｍ程度の底部１ｂを有する非貫通
穿孔部１ｃを形成する。

次にこの非貫通穿孔部１ｃを有する面板１を２〜１０％
の酸素を含む窒素または不活性ガス雰囲気中に配置し、
同図ｂに示したようにこの非貫通穿孔部１ｃ内に超音波
振動を印加しつつ溶融した金属半田１０を注入して充填
固化させる。

次に同図Ｃに示したように上記非貫通穿孔部１ｃを形威
しない面板１の他面側の所定位置にフオｌ− ＩＪソグ
ラフイ法によりストライプ状の光学フィルタ３を被着形
成した後、第３図ｄに示したネサ膜６を形成した薄板ガ
ラス５の接着工程に移行し、以下前述と同様の方法にし
たがって第２図に示したように面板構体の信号取り出し
電極１１を完成する。

このような製造方法においても前述と全く同様の効果が
得られる。

なお、上記第３図ｅの研削作業工程において、貫通穿孔
部９周辺の切削屑の飛散を防止させかつ除去するために
第６図に要部断面構戒図で示したように小型ドリル１２
に真空パッキング１３を介して集塵容器１４を装置し、
その排気口１４ａを高速回転排気系１５に連結させ、小
型ドリル１２および高速回転排気系１５をスイッチ１６
により作動させることによって、集塵容器１４内は急速
に減圧され、ダイヤモンドドリル１γの先端部分の集塵
口（空気吸込口）１４ｂ周辺の空気１８を急速にしかも
犬量に吹い込ませるとともに、薄板ガラス５および透明
接着剤４等を穿孔する切削屑を同時に集塵容器１４内に
収容させ、面板１構体は全く汚れることなく穿孔目的を
果すことができる。

また上記実施例による位相分離方式の単一形撮像管では
、その面板にインデックス信号および映像信号取り出し
電極として２個所に、３電極方式の単一撮像管としては
各色映像信号を取り出す必要から３個所に信号取り出し
電極を設けなければならないが、いずれも前述の手段に
よって容易にその目的を果すことができる。

以上説明したように本発明による撮像管の製造方法によ
れば、撮像管の真空気密性が確実となり、品質および信
頼性を向上させるとともに、生産性を大幅に向上させて
生産コストを低下させるなどの極めて優れた効果が得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは従来の位相分離方式単一形撮像管の面板
構体の一例を示す要部断面図、要部平面図、第２図は本
発明製造方法による撮像管特にその信号取り出し電極を
備れた面板構体の一例を示す要部断面図、第３図ａ ＝
ｆは本発明による撮像管特に信号取り出し電極の製造
方法の一実施例を示す要部工程断面図、第４図はその要
部平面図、第５図ａ ”−’ ｃは本発明による撮像管
特に信号取り出し電極の製造方法の他の実施例を示す要
部工程断面図、第６図は本発明に係わる製造方法に用い
る集塵装置の一例を示す要部断面構成図である。 １・・・・・・面板、１ａ・・・・・・貫通穿孔部、１
ｂ・・・・・・底部、１ｃ・・・・・・非貫通穿孔部、
２ａ ， ２ｂ・・・・・・金属線、３・・・・・・光
学フィルタ、４・・・・・・接着剤、５・・・・・・薄
板ガラス、６・・・・・・透明導電膜（ネサ膜）、γ・
・・・・・光導電膜、８ａ ， ａｂ・・・・・・結合
端子、９・・・・・・貫通穿孔部、１０・・・・・・金
属半田、１１・・・・・・信号取り出し電極、１２・・
・・・・小型ドリル、１３・・・・・・真空パッキング
、１４・・・・・・集塵容器、１４ａ・・・・・・排気
口、１４ｂ・・・・・・集塵口、１５・・・・・・高速
回転排気系、１６・・・・・・スイッチ、１γ・・・・
・・ダイヤモンドドリル、１８・・・・・・空気。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 面板と、前記面板の内面に被着形或された透明導電
   膜とを少なくとも有する撮像管において前記面板の所定
   位置に第１の穿孔を形成する工程と前記第１の穿孔に超
   音波振動を印加しつつ溶融金属半田を充填して固化させ
   る工程と、前記面板の所定位置に光学フィルタを被着形
   成する工程と、前記面板上の光学フィルタ面にガラス層
   を介して透明導電膜を密着配置する工程と、前記第１の
   穿孔に対応する前記透明導電膜上から前記第１の穿孔方
   向へ研削して前記第１の穿孔に連続する第２の穿孔を形
   成する工程と、前記第２のに超音波振動を印加しつつ金
   属半田を注入充填し前記第１の穿孔に充填固化された金
   属半田と電気的に接続させる工程とを備えたことを特徴
   とする撮像管の製造方法。 ２ 前記第１の穿孔は貫通穿孔または非貫通穿孔とした
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の製造方法
   。 ３ 前記第１の穿孔に溶融金属半田を注入するとき、そ
   の穿孔を有する面板全体を２〜１０％の酸素を含む窒素
   、不活性ガスまたはその混合物雰囲気中に配置するかま
   たはその穿孔周辺部に窒素、不活性ガスまたはその混合
   物を吹き付けたことを特徴とする特徴請求の範囲第１項
   記載の撮像管の製造方法。